紧急停止装置及方法制造方法及图纸

技术编号:18782476 阅读:39 留言:0更新日期:2018-08-29 06:31
本发明专利技术提供一种紧急停止装置及一种以拉动或推按金属丝的方式使设备在工作空间内的期望位置处快速停止的紧急停止方法,所述紧急停止装置包括:开关单元,装设在工作空间中,电连接到设备,且能够通过拉动进行操作;以及所述金属丝,设置在所述工作空间中以施加拉力,且所述金属丝的至少一个侧以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。

【技术实现步骤摘要】
紧急停止装置及方法
本专利技术涉及一种紧急停止装置及方法、一种能够使设备在工作空间中的期望位置处快速停止的紧急停止装置及方法。
技术介绍
用于制造半导体或显示元件的工艺中的每一者是在被设置成为对应工艺的进展提供最优条件的工艺设备中的每一者中执行。工艺设备的机制复杂且装设及操作昂贵。此外,工艺设备为停止操作而进行的调控工艺相当复杂。因此,此种工艺设备本质上包括用于紧急停止所述工艺设备的操作的紧急停止开关。紧急停止开关可以简单且直观的结构装设在设备的主体中以使所述紧急停止开关尽可能快速地进行操作。举例来说,以下专利文献1涉及一种紧急停止单元,所述紧急停止单元包括用于停止整个路线的开关及用于停止各别元件的开关以使工人可根据情况来操作所述开关。此外,专利文献2涉及一种紧急断开(emergencyoff,EMO)开关,所述EMO开关被配置成在其中多个推按按钮中的所有推按按钮被按压的状态中停止半导体制造装置的操作,由此防止工人出现错误操作。此外,专利文献3涉及一种紧急断开单元,所述紧急断开单元包括按钮盖以防止按钮被工人意外地按压。然而,当工人的位置远离工艺设备的主体时,存在其中必须紧急停止所述工艺设备的操作的情况。根据专利文献1、2及3,当工人的位置远离工艺设备的主体时,紧急停止所述工艺设备的操作是不可能的。以下专利文献4涉及一种紧急断开系统,所述紧急断开系统包括能够产生无线信号以停止工艺设备的操作的便携式EMO开关。根据专利文献4,在紧急情况中,工人可通过在任意位置处按压便携式EMO开关来停止工艺设备的操作。然而,专利文献4中所公开的紧急断开系统具有以下不便:工人必须直接携带便携式EMO开关,且此外,工人应谨慎小心以免在所述工人调控工艺设备或携带所述便携式EMO开关的同时按压到所述便携式EMO开关。(现有技术文献)(专利文献)(专利文献1)KR20-0464758Y1(专利文献2)KR10-2006-0012465A(专利文献3)KR10-2006-0108978A(专利文献4)KR10-2011-0038787A
技术实现思路
本专利技术公开的实施例提供一种能够在不另外装设开关单元的条件下使设备在工作空间中的所有位置处快速停止的紧急停止装置及方法。本专利技术公开的实施例还提供一种能够通过工人来快速地且轻易地调控的紧急停止装置及方法。本专利技术公开的实施例还提供一种能够在紧急情况中通过工人来直观地调控的紧急停止装置及方法。根据示例性实施例,一种紧急停止装置包括:开关单元,装设在工作空间中,电连接到设备,且能够通过拉动进行操作;以及金属丝,设置在所述工作空间中以施加拉力,且所述金属丝的至少一个侧以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。所述开关单元可设有多个且彼此间隔开,且所述金属丝可连接在所述开关单元之间。所述紧急停止装置还可包括虚拟单元,所述虚拟单元装设在所述工作空间中且与所述开关单元间隔开,且所述金属丝的另一侧以能够拆卸方式安装在所述虚拟单元上。所述紧急停止装置还可包括安全弹簧,所述安全弹簧被安装成连接在所述虚拟单元与所述金属丝之间。所述紧急停止装置还可包括装设在所述工作空间中的引导单元,其中所述金属丝可被设置成穿过所述引导单元,且所述金属丝的至少一个端部可以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。所述引导单元可设有多个,使得所述多个引导单元沿工人的移动路线装设、或者围绕所述工人能够在其中移动的整个空间装设,且所述金属丝可与所述引导单元中的至少一个引导单元接触以支撑所述至少一个引导单元。所述紧急停止装置还可包括连接单元,所述连接单元被安装成连接在所述金属丝与所述开关单元之间且能够在安装方向上调节所述连接单元的长度,其中所述金属丝可通过所述连接单元以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。所述开关单元可包括:开关本体,电连接到所述设备;停止开关,以能够伸展方式安装在所述开关本体上以通过所述拉动来接通所述开关本体;以及金属丝钩,设置在所述停止开关的端部上。所述开关单元可包括:恢复开关,以能够伸展方式安装在所述开关本体上以通过按压来断开(tumoff)所述开关本体;以及操作显示部件,安装在所述开关本体上以显示所述停止开关的被拉动状态,其中当通过所述金属丝以高于参考力的力拉动所述停止开关时,所述开关本体可被接通(tumon),且当按压所述恢复开关时,所述开关本体可被断开。所述设备可设有多个,且所述开关本体可对其中集合有所述多个设备的一个群组进行一体控制。所述设备可设有多个,所述开关本体可设有多个以对应于所述设备的数目,且所述开关本体中的每一者可各别地控制一个设备或者控制所述多个设备的群组。所述引导单元可包括环,所述环设置在所述开关单元的装设高度处且提供供所述金属丝穿过的通道,且所述金属丝可被设置成穿过所述环的所述通道。根据另一示例性实施例,一种用于停止装设在工作空间中的设备的紧急停止方法包括:提供开关本体及金属丝,所述开关本体电连接到所述设备,所述金属丝设置在所述工作空间中以施加拉力,且所述金属丝的一个端部连接到所述开关本体;操作所述设备;以及通过使用所述金属丝操作所述开关本体来停止所述设备。在所述开关本体的一个侧上可安装有停止开关,且所述金属丝可连接到所述停止开关,其中所述停止所述设备可包括:拉动或推按所述金属丝来拉动所述停止开关;当以高于参考力的力来拉动所述停止开关时,接通所述开关本体;以及从所述开关本体向所述设备输出停止信号。所述设备可设有多个,且所述停止所述设备可包括通过使用一条金属丝操作一个开关本体来停止所有所述多个设备。所述设备可设有多个,所述开关本体可设有多个以对应于所述设备的数目,且所述金属丝可设有多个以分别连接到所述开关本体,其中所述停止所述设备可包括通过使用相应的所述金属丝选择性地操作所述开关本体来各别地停止所述多个设备或停止所述多个设备的群组,或者通过使用相应的所述金属丝操作所有所述开关本体来停止所有所述多个设备。在所述开关本体的另一侧上可安装有恢复开关,其中在所述停止所述设备之后,所述紧急停止方法还可包括:按压所述恢复开关以断开所述开关本体;以及从所述开关本体向所述设备输出恢复信号。附图说明通过结合附图阅读以下说明,可更详细地理解示例性实施例,在附图中:图1是示出根据示例性实施例的其中紧急停止装置装设在工作空间中的状态的示意图。图2是根据示例性实施例的开关单元的示意图。图3(a)和图3(b)是根据示例性实施例的连接单元的示意图。图4是根据示例性实施例的引导单元的示意图。图5是示出根据示例性实施例的其中紧急停止装置进行操作的状态的实例的示意图。图6是示出根据经修改实施例的其中紧急停止装置装设在工作空间中的状态的示意图。符号的说明1:点2:动作10:工作空间100:开关单元110:开关本体120:停止开关121:金属丝钩130:操作显示部件131:显示屏幕132:参考线133:操作销140:恢复开关150:支撑面板200:连接单元210:钩本体220:固定螺母230:金属丝耦合工具231:螺母部件232:固持部件233:金属丝支撑件234:固定螺栓300:金属丝400:引导单元410:支架420、510:环421:头部件430:螺母500:虚拟单元600:安全弹簧A:设备具体实施方式在下文中,将参照附图详细阐述具体实施本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种紧急停止装置,其特征在于,包括:开关单元,装设在工作空间中,电连接到设备,且能够通过拉动进行操作;以及金属丝,设置在所述工作空间中以施加拉力,且所述金属丝的至少一个侧以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。

【技术特征摘要】
2017.02.21 KR 10-2017-00231171.一种紧急停止装置,其特征在于,包括:开关单元,装设在工作空间中,电连接到设备,且能够通过拉动进行操作;以及金属丝,设置在所述工作空间中以施加拉力,且所述金属丝的至少一个侧以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。2.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,所述开关单元设有多个且彼此间隔开,且所述金属丝连接在所述开关单元之间。3.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,还包括虚拟单元,所述虚拟单元装设在所述工作空间中且与所述开关单元间隔开,且所述金属丝的另一侧以能够拆卸方式安装在所述虚拟单元上。4.根据权利要求3所述的紧急停止装置,其特征在于,还包括安全弹簧,所述安全弹簧被安装成连接在所述虚拟单元与所述金属丝之间。5.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,还包括装设在所述工作空间中的引导单元,其中所述金属丝被设置成穿过所述引导单元,且所述金属丝的至少一个端部以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。6.根据权利要求5所述的紧急停止装置,其特征在于,所述引导单元设有多个,使得多个所述引导单元沿工人的移动路线装设或者围绕所述工人能够在其中移动的整个空间装设,且所述金属丝与所述引导单元中的至少一个引导单元接触以支撑所述至少一个引导单元。7.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,还包括连接单元,所述连接单元被安装成连接在所述金属丝与所述开关单元之间且能够在安装方向上调节所述连接单元的长度,其中所述金属丝通过所述连接单元以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。8.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,所述开关单元包括:开关本体,电连接到所述设备;停止开关,以能够伸展方式安装在所述开关本体上以通过所述拉动来接通所述开关本体;以及金属丝钩,设置在所述停止开关的端部上。9.根据权利要求8所述的紧急停止装置,其特征在于,所述开关单元包括:恢复开关,以能够伸展方式安装在所述开关本体上以通过按压来断开所述开关本体;以及操作显示部件,安装在所述开关本体上以显示所述停止开关的被拉动状态,其中当通过所述金属丝以高于参考力的力拉动所述停...

【专利技术属性】
技术研发人员:金光寿崔钟权尹贤植白珠赫
申请(专利权)人:AP系统股份有限公司
类型:发明
国别省市:韩国,KR

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