金刚线截断机对线装置及使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及硅片加工技术领域，公开了一种金刚线截断机对线装置及使用方法。该金刚线截断机对线装置包括机架框体、设于机架框体下部的硅棒放置台、设于机架框体上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪、随红外投影仪同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端，所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。当红外投影仪发出的红外线与硅锭上需要截断的划线重合时，控制器通过直线位移传感器测量划线所在位置，控制对应金刚线切割头与硅棒划线对齐，并进行切割。本发明专利技术的金刚线截断机对线装置自动化程度高，对线精度高，降低了工人操作劳动强度。

【技术实现步骤摘要】
金刚线截断机对线装置及使用方法
本专利技术涉及硅片加工
，特别是涉及一种金刚线截断机对线装置及使用方法。
技术介绍
制造硅片前，由于被加工硅棒的两端(头、尾料)杂质含量较多，不能满足硅片制造的需求，所以必须先进行截断加工，目前通常采用在硅棒上划线，然后金刚线截断机大多是靠硅棒升降或钢线升降到一定位置后，通过肉眼查看硅棒的画线部分与钢线是否垂直来进行对线，明显存在精度问题，导致截断时与画线偏差较大，自动化程度低，费时费力，加工效率低。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种精度较高、自动化程度较高且效率高的金刚线截断机对线装置。为解决上述技术问题，本专利技术所采取的技术方案提供了一种金刚线截断机对线装置，包括机架框体、设于机架框体下部的硅棒放置台、设于机架框体上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪、随红外投影仪同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端，所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。进一步地，所述直线位移传感器为光栅尺，所述光栅尺包括标尺光栅和栅读数头。进一步地，所述硅棒放置台下方设置有滑轨，所述硅棒放置台借助于滑轨沿所述滑轨长度方向移动，所述滑轨长度方向与所述红外投影仪移动方向垂直。进一步地，所述硅棒放置台上设置有驱动硅棒放置台沿所述滑轨长度方向前后移动的结构。进一步地，所述红外投影仪借助于驱动机构移动。进一步地，所述驱动机构包括微型电机和丝杠螺母机构。进一步地，所述驱动机构包括微型电机和齿轮齿条机构。进一步地，所述红外投影仪通过直线位移传感器连接驱动机构。进一步地，所述驱动机构连接在机架框体上部的横梁上，所述机架框体还包括水平底板和两侧的竖梁，所述横梁的两端与竖梁滑动连接且设置限位机构，所述硅棒放置台设于水平底板上。该金刚线截断机对线装置的应用方法，包括以下步骤：1)根据需要切割硅棒数量，设置相应链接数量的切割头数；2)调整第一切割头及红外投影仪位置，使红外投影仪发出的红外线与第一硅棒划线重合，确定该位置为基准点；3)启动驱动装置驱动红外投影仪缓慢移动，寻找除第一硅棒以外其它硅棒上划线位置；4)当检测到红外线投影与硅棒上划线重合时，人工操作端发送信号给直线位移传感器，直线位移传感器再将此时的位置信息发送给金刚线截断机控制主机；5)红外投影仪继续缓慢移动，通过直线位移传感器和人工操作端，依次将检测到的所有硅棒上的划线位置发送给金刚线截断机控制主机；6)金刚线截断机的控制主机控制相应金刚线切割头与对应硅棒划线对齐；7)控制相应金刚线切割头进行切割。采用上述技术方案所产生的有益效果在于：1、实现了金刚线截断机对线装置与金刚线截断机的联动控制，切割过程无需二次对线，提高了工作效率；2、实现了红外线自动对线，可同时实现多个硅棒划线的对线工作，并进行切割，进一步提高工作效率，节省了人力物力；3、实现机器对线更加精准，精确度高避免了硅棒的浪费。附图说明图1是本专利技术实施例提供的金刚线截断机对线装置的结构示意图；图2是本专利技术又一实施例提供的金刚线截断机对线装置的结构示意图；其中：1、机架框体，11、水平底板，12、横梁，121、滑块，13、竖梁，2、光栅尺，21、标尺光栅，22、光栅读数头3、红外投影仪，31、微型电机，32、丝杠螺母机构，321、丝杠，322、螺母，33、轴承座，34、齿轮齿条结构，341、小齿轮，342、齿条，343、齿轮箱4、硅棒，5、硅棒放置台，51、气缸，52、滑轨。具体实施方式为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。在本专利技术的描述中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术而不是要求本专利技术必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。需要说明的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。进一步地，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。请一并参阅图1和图2，现对本专利技术提供的金刚线截断机对线装置及其应用方法进行说明。本专利技术实施例提供了一种金刚线截断机对线装置，包括机架框体1、设于机架框体1下部的硅棒放置台5、设于机架框体1上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪3，随红外投影仪3同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端，所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。本实施例工作过程如下：红外投影仪3可沿硅棒排布方向水平移动，并发出红外线，当红外线与硅棒上地划线重合时，人工操作端按下控制主机上地按钮向直线位移传感器发出信号，直线位移传感器接收到信号后作出反应，将此时自己的位移信息发送给金刚线截断机控制主机，主机记录下此时地位置信息，并控制对应金刚线切割头移动到相应位置，准备切割。随着红外投影仪3地移动，红外线依次跟多个硅棒上划线对齐，每对齐一次，直线位移传感器发送信号，直线位移传感器作出反应，金刚线截断机控制相应金刚线切割头移动到与硅棒划线对齐地位置，准备切割。本实施例的有益效果在于本实施例中机架框体1上安装有直线位移传感器，通过直线位移传感器，可以将检测到的硅棒4上的划线位置发送给金刚线截断机控制主机，控制主机根据此位置信息调整金刚线切割头的位置，实现自动对准切割，无需二次对线，自动化程度高，降低了工人劳动强度，提高了对线准确度。本实施例中的直线位移传感器可以是光栅尺、直线式感应同步器或电子尺等可以测量物体直线位移，并将测量的位移转化为电子信号的元器件。优选的，如图1所示，本实施例中的直线位移传感器优选为光栅尺2，光栅尺包括标尺光栅21和栅读数头22。由于本专利技术的实施例主要与金刚线截断机组合应用，需要较高的切割精度，而且光栅尺测量输出的信号为数字脉冲，检测范围大，检测精度高，响应速度快，因此采用光栅尺可以增大本实施例的检测精度和响应速度。如图1所示，本实施例中光栅尺2的标尺光栅21水平固定安装在机架横梁11上，光栅读数头22与红外投影仪3相连。光栅尺2分为两部分：标尺光栅21和光栅读数头22，光栅读数头22可以在标尺光栅21上滑动，将红外投影仪3安装在光栅读数头22上，这样红外投影仪3可以与光栅读数头22一起滑动，光栅读数头22所在位置即红外投影仪3发出的红外线的位置，当红外投影仪3发出的红外线与硅棒4上划线的位置重合时，光栅读数头22即可将此时的位置信息发送给金刚线截断机控制主机，这样设置充分利用了光栅尺2的自身结构，简化了本专利技术的整体结构，使红外投影仪位置和光栅尺位置相同有利于程序地编写。优选的，如图1或图2所示，所述硅棒放置台5下方设置有滑轨52，所述硅棒放置台5借助于滑轨52沿所述滑轨长度方向移动，所述滑轨长度方向与所述红外投影仪3移动方向垂直。本实施例中，对线完成后，可直接将工作台推至金刚线截断机内，滑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金刚线截断机对线装置，其特征在于：包括机架框体、设于机架框体下部的硅棒放置台、设于机架框体上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪、随红外投影仪同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端，所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。

【技术特征摘要】
1.一种金刚线截断机对线装置，其特征在于：包括机架框体、设于机架框体下部的硅棒放置台、设于机架框体上部可沿硅棒排布方向移动的红外投影仪、随红外投影仪同步运动的直线位移传感器、用于传送信号给直线位移传感器的人工操作端，所述直线位移传感器的信号输出端连接金刚线截断机控制主机。2.根据权利要求1所述的金刚线截断机对线装置，其特征在于：所述直线位移传感器为光栅尺，所述光栅尺包括标尺光栅和光栅读数头。3.根据权利要求1所述的金刚线截断机对线装置，其特征在于：所述硅棒放置台下方设置有滑轨，所述硅棒放置台借助于滑轨沿所述滑轨长度方向移动，所述滑轨与所述红外投影仪移动方向垂直。4.根据权利要求3所述的金刚线截断机对线装置，其特征在于：所述硅棒放置台上设置有驱动硅棒放置台沿所述滑轨前后移动的动力机构。5.根据权利要求1所述的金刚线截断机对线装置，其特征在于：所述红外投影仪借助于驱动机构移动。6.根据权利要求5所述的金刚线截断机对线装置，其特征在于：所述驱动机构包括微型电机和丝杠螺母机构。7.根据权利要求5所述的金刚线截断机对线装置，其特征在于：所述驱动机构包括微型电机和齿轮齿条机构。8.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王会敏，张浩强，李立伟，吕思迦，张建龙，尤志剑，
申请(专利权)人：邢台晶龙电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：河北,13