一种高密度等离子体机台射频带连接结构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种高密度等离子体机台射频带连接结构，包括至少一个的射频带，所述射频带两端设置圆弧形连接端，在所述圆弧形连接端上设置有连接孔，在所述射频带非圆弧形连接端的部分设置绝缘层；电源供应端，连接所述射频带一端；顶部射频源连接端，连接所述射频带。本实用新型专利技术的高密度等离子体机台射频带将裸露的射频带设置绝缘层做绝缘处理，加装防火、抗电弧、耐高温的绝缘层，防止因射频带和其它金属部件接触而触发电弧，引发火灾及人员伤害。将射频带分设置在圆弧形顶端的多个方向，减少射频带之间的电弧影响和金属部件的堆缠。使其不会有漏电的风险，并能稳定固定连接。

【技术实现步骤摘要】
一种高密度等离子体机台射频带连接结构
本技术涉及一种半导体设备，尤其涉及一种高密度等离子体机台射频带连接结构。
技术介绍
美国泛林半导体设备公司(Lam)的高密度等离子体(HighDensityPlasma)机台工艺是在腔体内的高温环境下,通过对特定的工艺气体在等离子体增强条件下在硅片表面进行化学气相沉积形成薄膜。它的特点是成膜速度快，薄膜均匀度好，填洞能力强。现有的高密度等离子体机台射频带为裸露的铜片与圆弧型顶端连接。安装时，铜片很容易和其它金属部分接触，当射频工作时，就会触发电弧，有引发火灾及人员伤害的风险。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种能有效减少射频带电弧的高密度等离子体机台射频带连接结构。本技术为解决上述技术问题采用以下技术方案：一种高密度等离子体机台射频带连接结构，包括至少一个的射频带，所述射频带两端设置圆弧形连接端，在所述圆弧形连接端上设置有连接孔，在所述射频带非圆弧形连接端的部分设置绝缘层；电源供应端，连接所述射频带一端；顶部射频源连接端，连接所述射频带。为了进一步优化上述技术方案，本技术所采取的技术措施为：优选的，所述射频带为条状射频带。更优选的，所述绝缘层为橡胶材质。更优选的，所述绝缘层为绝缘橡胶材质。更优选的，所述电源供应端设置电源供应端螺纹杆。更优选的，所述电源供应端螺纹杆穿过所述连接孔再螺帽旋紧，将所述电源供应端和射频带连接。更优选的，所述顶部射频源连接端设置顶部射频源连接端螺纹杆。更优选的，所述顶部射频源连接端螺纹杆穿过所述连接孔再螺帽旋紧，将所述顶部射频源连接端和射频带连接。更优选的，所述射频带、电源供应端和顶部射频源连接端设置为三个。本技术采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：本技术的高密度等离子体机台射频带将裸露的射频带设置绝缘层做绝缘处理，加装防火、抗电弧、耐高温的绝缘层，防止因射频带和其它金属部件接触而触发电弧，引发火灾及人员伤害。将射频带分设置在圆弧形顶端的多个方向，减少射频带之间的电弧影响和金属部件的堆缠，减少漏电和触电的可能。并在顶部射频源连接端和电源供应端设置螺纹杆连接射频带，使其不会有漏电的风险，并能稳定固定连接。附图说明图1为本技术的一种优选实施例的高密度等离子体机台射频带连接结构的结构示意图；图2为本技术的一种优选实施例的射频带的结构示意图；其中的附图标记为：1射频带；2电源供应端；3顶部射频源连接端；11圆弧形连接端；12连接孔；13绝缘层；21电源供应端螺纹杆；31顶部射频源连接端螺纹杆。具体实施方式下面结合附图对本技术的技术方案做进一步的详细说明。图1为本技术的一种优选实施例的高密度等离子体机台射频带连接结构的结构示意图；图2为本技术的一种优选实施例的射频带的结构示意图。需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。如图1和2所示，一种高密度等离子体机台射频带连接结构，包括至少一个的射频带1，所述射频带1两端设置圆弧形连接端11，在所述圆弧形连接端11上设置有连接孔12，在所述射频带1非圆弧形连接端11的部分设置绝缘层13；电源供应端2，连接所述射频带1的一端；顶部射频源连接端3，连接所述射频带1。进一步的，在一种较佳的实施例中，所述射频带1为条状射频带。更进一步的，在一种较佳的实施例中，所述绝缘层13为橡胶材质。再进一步的，在一种较佳的实施例中，所述绝缘层13为绝缘橡胶材质。再进一步的，在一种较佳的实施例中，所述电源供应端2设置电源供应端螺纹杆21。再进一步的，在一种较佳的实施例中，所述电源供应端螺纹杆21穿过所述连接孔12再螺帽旋紧，将所述电源供应端2和射频带1连接。再进一步的，在一种较佳的实施例中，所述顶部射频源连接端3设置顶部射频源连接端螺纹杆31。再进一步的，在一种较佳的实施例中，所述顶部射频源连接端螺纹杆31穿过所述连接孔12再螺帽旋紧，将所述顶部射频源连接端3和射频带1连接。再进一步的，在一种较佳的实施例中，所述射频带1、电源供应端2和顶部射频源连接端3设置为三个。本技术的高密度等离子体机台射频带连接结构的使用方法为：将射频带1的两端的连接孔12与电源供应端2的电源供应端螺纹杆21和顶部射频源连接端3的顶部射频源连接端螺纹杆31分别连接，并螺帽旋紧，并设置三个分置在圆弧形顶端的射频带1、电源供应端2和顶部射频源连接端3，使其在能不触电的情况下，尽可能的减少触电的风险。综上所述，本技术的高密度等离子体机台射频带将裸露的射频带设置绝缘层做绝缘处理，加装防火、抗电弧、耐高温的绝缘层，防止因射频带和其它金属部件接触而触发电弧，引发火灾及人员伤害。将射频带分设置在圆弧形顶端的多个方向，减少射频带之间的电弧影响和金属部件的堆缠，减少漏电和触电的可能。并在顶部射频源连接端和电源供应端设置螺纹杆连接射频带，使其不会有漏电的风险，并能稳定固定连接。在本说明书的描述中，参考术语“一个较佳的实施例”、“一种优选实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本专利技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。以上对本技术的具体实施例进行了详细描述，但其只作为范例，本技术并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对该实用进行的等同修改和替代也都在本技术的范畴之中。因此，在不脱离本技术的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本技术的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：包括至少一个的射频带，所述射频带两端设置圆弧形连接端，在所述圆弧形连接端上设置有连接孔，在所述射频带非圆弧形连接端的部分设置绝缘层；电源供应端，连接所述射频带一端；顶部射频源连接端，连接所述射频带。

【技术特征摘要】
1.一种高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：包括至少一个的射频带，所述射频带两端设置圆弧形连接端，在所述圆弧形连接端上设置有连接孔，在所述射频带非圆弧形连接端的部分设置绝缘层；电源供应端，连接所述射频带一端；顶部射频源连接端，连接所述射频带。2.根据权利要求1所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述射频带为条状射频带。3.根据权利要求2所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述绝缘层为橡胶材质。4.根据权利要求3所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，其特征在于：所述绝缘层为绝缘橡胶材质。5.根据权利要求4所述的高密度等离子体机台射频带连接结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄彪，刘涛，张波，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31