物理量检测装置及电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供物理量检测装置及电子设备，所述物理量检测装置具备：物理量检测传感器；以及具有用于保持所述物理量传感器的多个保持部的块表面且作为保持部件的金属块，块表面在与物理量检测传感器相对的区域形成有槽部。

Physical quantity detecting device and electronic equipment

The present invention provides a physical quantity detection device and an electronic device, the physical quantity detection device includes: a physical quantity detection sensor; and a metal block having a plurality of holding parts for holding the physical quantity sensor and serving as a holding part, the block surface forming a groove in an area relative to the physical quantity detection sensor. Department.

【技术实现步骤摘要】
物理量检测装置及电子设备
本专利技术涉及物理量检测装置及具备该物理量检测装置的电子设备。
技术介绍
以往，作为物理量检测装置，已知一种物理量检测装置，例如像专利文献1所公开的那样，将检测被测定物的一个方向的位移、速度、加速度中任一物理量的传感器芯片(物理量检测传感器)直接粘贴在具有彼此正交的两个以上壁部的安装部件各自的壁部。由于将多个传感器芯片直接粘贴在安装部件彼此正交的壁部上，因此，与各传感器芯片在检测方向的平行度不会有偏差，并且能够高精度地测量彼此正交的两个以上的物理量。另外，由于将多个传感器芯片安装到热容量大的安装部件，因此，各传感器芯片分别能够保持大致均匀的温度状态，并能够高精度地维持测量精度。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-37105号公报然而，在专利文献1所记载的物理量检测装置中，存在下述问题，即：为了防止传感器芯片的脱落，需要增大传感器芯片的接合面积。因此，由于粘接剂等的接合材料与传感器芯片之间的热膨胀系数的差异，热应力集中在传感器芯片的角部，传感器芯片的气密性有可能被破坏，从而导致降低物理量检测装置的功能。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述技术问题中的至少一部分问题而提出，可以通过如下应用例或方式来实现。(应用例1)本应用例的物理量检测装置的特征在于，具备物理量检测传感器、和具有用于保持所述物理量检测传感器的多个保持部的保持部件，所述保持部在与所述物理量检测传感器相对的区域中形成槽部。根据该应用例，由于在保持物理量检测传感器的保持部中，在与物理量检测传感器相对的区域形成有槽部，因此，当通过粘接剂等的接合材料将物理量检测传感器保持在保持部时，多余的接合材料会流入槽部。因此，能够防止接合材料在整个物理量检测传感器上扩散，并能够减小由于容易在物理量检测传感器的角部产生的应力应变所引起的物理量检测传感器的气密下降。因此，能够提供一种可维持高精度的物理量检测装置。(应用例2)在上述应用例记载的物理量检测装置中，优选的是，所述槽部不与形成于相邻的所述保持部的所述槽部连接。根据该应用例，由于槽部不与形成在相邻保持部的槽部连接，因此，能够抑制接合材料流入形成在相邻保持部的槽部。(应用例3)在上述应用例记载的物理量检测装置中，优选的是，所述物理量检测传感器与由所述槽部包围的区域接合。根据本应用例，由于接合物理量检测传感器的区域被槽部包围，因此，能够防止接合材料扩散到物理量检测传感器的角部。因此，能够减小容易在物理量检测传感器的角部产生的应力应变所引起的物理量检测传感器的气密下降。(应用例4)在上述应用例所记载的物理量检测装置中，优选的是，所述槽部与所述物理量检测传感器的边缘部的至少一部分交叉。根据该应用例，由于能够将物理量检测传感器的边缘部与保持部接合，因此，能够增加接合面积，难以从保持部剥离，从而能够提高耐冲击性。(应用例5)在上述应用例所记载的物理量检测装置中，优选的是，从所述物理量检测传感器与所述保持部重叠的方向俯视观察时，所述物理量检测传感器接合的区域与所述物理量检测传感器的中心重叠。根据该应用例，由于与物理量检测传感器的中心重叠，因此，能够使物理量检测传感器姿势稳定地接合，从而能够高精度地检测物理量。(应用例6)在上述应用例所记载的物理量检测装置中，优选的是，所述物理量检测传感器具有包括从固定部延伸出的可动部的传感器元件，在从所述物理量检测传感器和所述保持部的层叠方向俯视观察下，所述槽部设为所述可动部与从所述固定部延伸的方向交叉。根据该应用例，由于槽部设为可动部与从固定部延伸的方向交叉，因此，当将物理量检测传感器与保持部件接合时，能够防止接合材料扩展到传感器元件的固定部区域，且由于接合时的接合材料和物理量检测传感器之间的热膨胀系数的差异所引起的热应力难以传递到固定部，因此，能够维持高检测精度。(应用例7)本应用例的电子装置的特征在于，具备上述应用例所记载的物理量检测装置。根据该应用例，能够提供一种具备可维持高精度的物理量检测装置的电子设备。附图说明图1是示出本专利技术的第一实施方式的物理量检测装置的构成的截面图。图2是分解并示出第一实施方式的物理量检测装置的构成的立体图。图3是示出物理量检测传感器的构成的俯视图。图4是示出物理量检测传感器的构成的截面图。图5是示出物理量检测传感器的动作的截面图。图6是示出物理量检测传感器的动作的截面图。图7是示出物理量检测装置的制造方法的流程图。图8是示出本专利技术的第二实施方式的物理量检测装置的构成的截面图。图9是分解并示出第二实施方式的物理量检测装置的构成的立体图。图10是示出本专利技术的第三实施方式的物理量检测装置的构成的截面图。图11是分解并示出第三实施方式的物理量检测装置的构成的立体图。图12是示出搭载有物理量检测装置的摄像机的立体图。图13是示出搭载有物理量检测装置的手机的立体图。附图标记说明10...金属底板；30...作为保持部件的金属块；30a、30b、30c...作为保持部的块表面；31...凸部；31a...侧壁部；32...凸部；32a...侧壁部；33...凸部；33a...侧壁部；34...凸部；34a...侧壁部；35a、35b、35c...块表面；36a、36b、36c...槽部；40...物理量检测传感器；41...封装体；42...元件基体；43...传感器元件；50...接合部件；100、100a、100b...物理量检测装置；130...金属块；130a、130c...槽部；230...金属块；300...作为电子设备的摄像机；400...作为电子设备的手机；411...封装基体；412...盖。具体实施方式以下，对于本专利技术的物理量检测装置和电子设备，参照附图对其优选的构成例进行说明。(第一实施方式)(物理量检测装置)首先，参照图1及图2，以检测多轴物理量的物理量检测装置100为例，对本实施方式的物理量检测装置进行说明。图1是示出本专利技术的第一实施方式的物理量检测装置的构成的截面图，图2是分解并示出物理量检测装置的构成的立体图。在图2中，主要示出构成部件的形状及配置，省略装置盖60和布线等。在各图中，X轴、Y轴和Z轴作为彼此正交的三个轴而示出。如图1和图2所示，物理量检测装置100具备：呈四边形的板状且位于与XY平面平行的金属底板10、配置在金属底板10的Z(+)侧的表面即承受面10a上的作为六面体状的保持部件的金属块30、分别保持在位于金属块30的与金属底板10相反一侧的上表面的作为保持部的块表面30a以及位于与块表面30相邻的侧面的块表面(保持部)30b以及块表面(保持部)30c的三个表面的物理量检测传感器40、以及覆盖设于金属底板10的金属块30及物理量检测传感器40的装置盖60。另外，物理量检测传感器40具有：将参照图3及图4来详细描述的封装基座411及盖(盖体)412。另外，在保持有物理量检测传感器40的块表面30a上形成有：以沿着Y轴向延伸并隔开预定间隔的方式而设的两个槽部36a、沿Y轴设于X(+)轴向的端部并向Z(+)轴向突出的凸部31、以及沿X轴设于Y(-)轴向的端部并向Z(+)轴向突出的凸部32。同样地，块表面30b形成有：以沿着X轴向延伸并隔开预定间隔的方式而设的两个槽部36b、沿Z轴设于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种物理量检测装置，其特征在于，具备：物理量检测传感器；以及保持部件，具有用于保持所述物理量传感器的多个保持部，所述保持部在与所述物理量检测传感器相对的区域形成有槽部。

【技术特征摘要】
2017.02.13 JP 2017-0238371.一种物理量检测装置，其特征在于，具备：物理量检测传感器；以及保持部件，具有用于保持所述物理量传感器的多个保持部，所述保持部在与所述物理量检测传感器相对的区域形成有槽部。2.根据权利要求1所述的物理量检测装置，其特征在于，所述槽部不与形成于相邻的所述保持部的所述槽部连接。3.根据权利要求1或2所述的物理量检测装置，其特征在于，所述物理量检测传感器接合到由所述槽部包围的区域。4.根据权利要求1或2所述的物理量检测装置，其特征在于，所述槽部与...

【专利技术属性】
技术研发人员：龟田高弘，西尾真次，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP