The utility model relates to the technical field of OLED evaporation, and specifically discloses an evaporation plating assembly, including an evaporation chamber and a heating tank arranged in the chamber. A crucible is installed in the heating tank, and a baffle unit is arranged between the heating tank and the crucible. The utility model shields the heating tank and the crucible by setting a baffle unit. The gap effectively prevents organic material from depositing in the gap, makes the inner cleanliness of the cavity higher, makes the performance of OLED device more stable, and the baffle unit can be removed and cleaned and installed at any time, has high recycling efficiency and is convenient to use.
【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀组件
本技术涉及OLED蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀组件。
技术介绍
目前，有机发光二极管(OLED，OrganicLight-EmittingDiode)的主流制备工艺是蒸镀技术，蒸镀技术主要是利用热蒸发有机材料的原理，把有机材料填入蒸镀组件中，在真空环境中，升温加热，使固体有机材料熔融挥发或者升华形成气态，有机材料的气体流沉积到玻璃基板上，形成一层层的有机薄膜，从而制备成OLED器件。现有的蒸镀设备包括蒸镀组件，蒸镀组件中包括腔体（Chamber）和用于盛放有机材料的坩埚，在蒸镀时，现有腔体内设置的挡板无法遮挡住坩埚周边的缝隙，从而导致坩埚周边的有机材料掉落在缝隙深处，使用吸尘器等手段都无法清洁到位，致使腔体内室被污染；还有可能导致掉落后的有机材料靠近坩埚底部加热丝附件，当加热丝被加热时，；累积到附近的有机材料会熔融挥发或者升华形成气态，被蒸镀到基板上，从而导致OLED器件蒸镀失败。
技术实现思路
针对上述技术问题，本技术提供了一种能够有效防止有机材料沉积在加热槽与坩埚之间缝隙、提高OLED器件制备稳定性的蒸镀组件。为了解决上述技术问题，本技术提供的具体方案如下：一种蒸镀组件，包括蒸镀腔体和设置在腔体内的加热槽，所述加热槽内安装有坩埚，所述加热槽与坩埚之间还设置有挡板单元。优选的，所述挡板单元的顶部设有外边缘，底部向内翻折有凹槽，外边缘便于人手取出挡板单元，凹槽用于接住掉落在缝隙中的有机材料。优选的，所述挡板单元是N个，所述N为大于等于2的正整数，N个挡板单元拼合组成盆体，根据加热槽与坩埚之间缝隙的大小调整挡板单元的数量，便于拆卸与安装。优选的，所述...
【技术保护点】
1.一种蒸镀组件，包括蒸镀腔体和设置在腔体内的加热槽（1），所述加热槽（1）内安装有坩埚（2），其特征在于：所述加热槽（1）与坩埚（2）之间还设置有挡板单元（3），所述挡板单元（3）的顶部设有外边缘（4），底部向内翻折有凹槽（5）。
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀组件，包括蒸镀腔体和设置在腔体内的加热槽（1），所述加热槽（1）内安装有坩埚（2），其特征在于：所述加热槽（1）与坩埚（2）之间还设置有挡板单元（3），所述挡板单元（3）的顶部设有外边缘（4），底部向内翻折有凹槽（5）。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王宏宇，谢威，郭晓霞，柯贤军，苏君海，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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