有机EL装置的制造方法、有机EL装置、电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够使连接用端子高精度地且以较高的生产性暴露的有机EL装置的制造方法、有机EL装置以及具备该有机EL装置的电子设备。本应用例的有机EL装置的制造方法具备：覆盖多个有机EL元件以及连接用端子而形成密封层的工序(步骤S1)；形成作为覆盖密封层的有机层的彩色滤光片的工序(步骤S2)；以在彩色滤光片中与连接用端子重叠的部分形成到达密封层的开口部的方式对彩色滤光片进行图案化的工序(包括于步骤S2)；以及将图案化形成的彩色滤光片作为掩模以连接用端子的至少一部分暴露的方式对密封层进行蚀刻的工序(步骤S3)。

Manufacturing method of organic EL device, organic EL device and electronic equipment

The present invention provides a manufacturing method, an organic EL device, and an electronic device equipped with an organic EL device capable of making a connecting terminal with high precision and high production exposure. The manufacturing method of the organic EL device in this application example includes: the process of forming a sealing layer by covering a plurality of organic EL elements and connecting terminals (1); the process of forming a color filter as an organic layer covering the sealing layer (2); and the process of forming a part of the color filter overlapping with the connecting terminal to reach the sealing layer. The process of patterning the color filter in the form of an opening (including in 65

【技术实现步骤摘要】
有机EL装置的制造方法、有机EL装置、电子设备本申请是申请号为201310511555.8，申请日为2013年10月25日，专利技术名称为“有机EL装置的制造方法、有机EL装置、以及具备该有机EL装置的电子设备”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及具备有机电致发光(EL)元件的有机EL装置的制造方法、有机EL装置、以及具备该有机EL装置的电子设备。
技术介绍
有机EL元件构成为具有阳极、阴极、以及夹在这些电极间的包含有机发光层的功能层。对功能层来说，通过从阳极侧注入的空穴、和从阴极侧注入的电子在有机发光层再结合而产生的能量被转换为荧光、磷光而发光。然而，若水分、氧等从外部经由阳极、阴极浸入功能层，则对有机发光层的载流子(空穴、电子)的注入被阻碍而发光的亮度降低、或功能层变质而失去发光功能本身，产生所谓暗斑的暗点。在具备这样的有机EL元件的有机EL装置中，为了防止水分、氧等的浸入而形成有覆盖多个有机EL元件的密封层。另一方面，为了实现与外部驱动电路的连接，上述有机EL装置设有多个连接用端子，所述多个连接用端子连接有机EL装置的各种布线。连接用端子比密封层先形成，因此在形成密封层时需要使连接用端子暴露以便能够进行电利用。例如，专利文献1公开了在形成层叠体之后，形成相当于上述密封层的保护膜之前，按电极连接部不被保护膜覆盖的方式对电极连接部的表面进行改质的有机EL元件的制造方法，其中，层叠体由阳极、包含发光层的有机层、阴极层叠而形成。另外，例如，专利文献2公开了一种有机EL装置的制造方法，该方法具备：通过等离子体CVD法形成由无机材料构成的第1气体阻挡层的工序，其中，所述无机材料覆盖元件基板上的包含多个有机EL元件的发光区域；以与第1气体阻挡层平面重叠的方式，利用离子电镀法形成第2气体阻挡层的工序。在该有机EL装置的制造方法中，使用具有与发光区域对应的开口的成膜用掩模，形成第1气体阻挡层、第2气体阻挡层。换句话说，上述连接用端子被成膜用掩模覆盖，因此连接用端子未形成相当于上述密封层的第1气体阻挡层以及第2气体阻挡层。专利文献1：日本特开2002－151254号公报专利文献2：日本特开2010－244696号公报根据上述专利文献1的有机EL元件的制造方法，需要预先对电极连接部的表面进行改质的工序，因而存在制造工序变得复杂这样的课题。另外，根据上述专利文献2的有机EL装置的制造方法，若元件基板与成膜用掩模未被设置在规定位置，则存在连接用端子上附着无机材料的问题。因此，设置有连接用端子的部分越小，则元件基板与成膜用掩模的对准越困难。另外，在批量生产时，由于需要除去附着于成膜用掩模的无机材料，所以存在成膜用掩模被要求耐老化性等课题。
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，能够作为以下的方式或者应用例实现。应用例1本应用例所涉及的有机EL装置的制造方法，其特征在于，具备配置在基板上的多个有机EL元件和连接用端子的有机EL装置的制造方法，该有机EL装置的制造方法具备：形成覆盖上述多个有机EL元件以及上述连接用端子的密封层的工序；形成覆盖上述密封层的有机层的工序、以在上述有机层中的与上述连接用端子重叠的部分形成到达上述密封层的开口部的方式对上述有机层进行图案化的工序；以及、将图案化形成的上述有机层作为掩模，以上述连接用端子的至少一部分暴露的方式对上述密封层进行蚀刻的工序。根据本应用例，能够不使用成膜用掩模而将密封层形成在基板的整个面。另外，通过将密封层上图案化形成的有机层作为掩模进行蚀刻来除去密封层中的与连接用端子重叠的部分。因此，不需要为了除去密封层中的与连接用端子重叠的部分，而准备例如涂覆专用的光刻胶并进行图案化的工序，能够以简单的制造工序使连接用端子以能够利用的状态暴露。即，能够提供具有较高的生产性的有机EL装置的制造方法。应用例2上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法的特征在于，上述密封层上具有至少包括红色、绿色、蓝色的着色层的彩色滤光片，上述有机层至少形成为至少一种颜色的上述着色层。根据该方法，能够将在形成至少三种颜色的着色层的工序中所形成的至少一种颜色的着色层作为掩模，并对与连接用端子重叠的部分的密封层进行蚀刻来除去。应用例3在上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法中，也可以在上述密封层上具有至少包括红色、绿色、蓝色的着色层的彩色滤光片，上述有机层作为按颜色划分上述着色层的绝缘层而形成在上述密封层上。根据该方法，能够将作为按颜色划分着色层的绝缘层的有机层作为掩模，并对与连接用端子重叠的部分的密封层进行蚀刻来除去。另外，着色层在俯视时被有机层按颜色划分，因而与没有有机层的情况相比，能够制造改善了视角特性中的混色等的有机EL装置。应用例4在上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法中，具有：包括上述多个有机EL元件中的一个，至少与红色、绿色、蓝色的每一种颜色对应设置的子像素；包括不同颜色的上述子像素的像素、以及上述密封层上至少包含红色、绿色、蓝色的着色层的彩色滤光片，优选上述有机层作为按颜色并且按上述子像素划分上述着色层的绝缘层形成在上述密封层上。根据该方法，有机层作为俯视时划分子像素的绝缘层而发挥作用，因而与没有有机层的情况相比，能够制造进一步改善了视角特性中的混色等的有机EL装置。应用例5在上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法中，优选在对上述密封层进行蚀刻的工序中，在使保护部件与上述彩色滤光片对置地配置的状态下，对上述密封层进行各向异性蚀刻。根据该方法，不会因各向异性蚀刻而使彩色滤光片受到损伤，能够对与连接用端子重叠的部分的密封层进行高精度的蚀刻而除去。应用例6在上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法中，优选具有经由透明树脂层对上述彩色滤光片配置对置基板的工序，在对上述密封层进行蚀刻的工序中，经由上述对置基板对上述密封层进行蚀刻。根据该方法，利用保护彩色滤光片的对置基板，不会因蚀刻而使彩色滤光片受到损伤，能够对与连接用端子重叠的部分的密封层进行蚀刻而除去。应用例7在上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法中，也可以在上述密封层上具有至少包括红色、绿色、蓝色的着色层的彩色滤光片，且上述有机层是覆盖上述彩色滤光片的外敷层。根据该方法，能够将覆盖彩色滤光片的外敷层作为掩模，对与连接用端子重叠的部分的密封层进行蚀刻来除去。应用例8在上述应用例所涉及的有机EL装置的制造方法中，也可以在对上述有机层进行图案化的工序中，以遍及多个上述连接用端子进行开口的方式形成上述开口部。根据该方法，能够不要求较高的位置精度而形成开口部。另外，即使多个连接用端子的配置间距变小，也能够容易地使多个连接用端子暴露。应用例9本应用例的有机EL装置的特征在于，具备配置在基板上的多个有机EL元件、连接用端子、覆盖上述多个有机EL元件以及多个上述连接用端子的密封层、覆盖上述密封层的有机层、以及贯通上述有机层以及上述密封层，并使上述连接用端子的至少一部分暴露的开口部。根据本应用例，能够提供不受密封层、有机层的影响，具有较高的连接可靠性的有机EL装置。应用例10上述应用例所涉及的有机EL装置的特征在于，在上述密封层上，具备与上述多个有机EL元件对应地配置的、至少包括红色、绿色、蓝色的着色层的彩色滤光片，上述有机层是上本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机EL装置，其特征在于，具备：基板；多个有机EL元件，被配置在所述基板上，并包括设置在阳极与阴极之间的有机发光层；显示区域，所述多个有机EL元件被配置于该显示区域；以及多个连接用端子，被配置在所述基板上，形成在第一有机EL元件上的第一着色层为单层，形成在第二有机EL元件上的第二着色层为单层，所述第一着色层与所述第二着色层在所述多个连接用端子与所述显示区域之间重叠。

【技术特征摘要】
2012.10.29 JP 2012-2375631.一种有机EL装置，其特征在于，具备：基板；多个有机EL元件，被配置在所述基板上，并包括设置在阳极与阴极之间的有机发光层；显示区域，所述多个有机EL元件被配置于该显示区域；以及多个连接用端子，被配置在所述基板上，形成在第一有机EL元件上的第一着色层为单层，形成在第二有机EL元件上的第二着色层为单层，所述第一着色层与所述第二着色层在所述多个连接用端子与所述显示区域之间重叠。2.根据权利要求1所述的有机EL装置，其特征在于，形成在第三有机EL元件上的第三着色层为单层，所述第二着色层与所述第三着色层在所述多个连接用端子与所述显示区域之间重叠。3.根据权利要求1所述的有机EL装置，其特征在于，具备：像素电极，作为阳极发挥功能；和隔壁，使多个像素电极绝缘，所述显示区域侧的所述第二着色层的端部与位于所述显示区域的外侧的所述隔壁重叠。4.一种有机EL装置，其特征在于，具备基板；第一有机EL元件及第二有机EL元件，形成在基板的显示...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村久寿，岩田信一，渥美诚志，花村雄基，赤川卓，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP