The invention discloses a pipeline purging device and a process gas transportation cleaning system, belonging to the technical field of pipeline cleaning system. The pipeline purging device comprises a negative pressure vacuum module, which comprises a first check valve, a first pressure gauge and a first diaphragm valve connected in sequence, and a branch pipe connecting the first pressure gauge and the first diaphragm valve. A second diaphragm valve is arranged on the branch pipe and a vacuum pump is connected at the free end of the branch pipe. The negative pressure vacuum module is used for vacuum operation of the equipment, and can discharge all the gas in the equipment. The device also includes a positive pressure purge module, which includes a third diaphragm valve, a second pressure gauge, a buffer tank, a fourth diaphragm valve and a second check valve connected in sequence. The buffer tank can store nitrogen and can easily remove residual impurities when nitrogen has sufficient impact force. The invention has the advantages of simple structure, short cleaning time, good effect, less nitrogen consumption and low production cost.
【技术实现步骤摘要】
管道吹扫装置及工艺气体输送清洁系统
本专利技术涉及管道清洁系统
,尤其涉及一种管道吹扫装置及工艺气体输送清洁系统。
技术介绍
在半导体生产工艺中需要大量的使用高纯工艺气体,如:氯气、磷烷、氯化氢等四十余种高纯气体。随着半导体生产规模的不断扩大,需要安装大量的工艺气体管路。安装工艺气体管路的步骤为:首先按现场尺寸进行下料,即:分段切割,弯曲不锈钢管路;接着进行氩弧焊接,将不锈钢管路安装连接在气体钢瓶柜、气体分配阀箱和生产设备机台之间;然后进行气体管路保压测试,这是非常关键的一步,其目的是证明此管线能在一定的时间内保持稳定的压力不变,通常来说要持续24小时保持管路内的压力为150psi(psi:poundpersqureinch:一种压力单位);保压测试合格后,进行氦检漏测试,漏率小于1.0X10-9mbar.l/s为合格。然后用高纯氮气吹扫并进行管路含水分、氧分、微粒测试,直到满足技术要求,此管路才可以投入使用。由于洁净度是影响终端产品的主要因素,所以对工艺管道进行微粒技术测试,如果微粒计数测试合格,就继续进行水氧含量测试。吹扫可排出管件及配件内部所有的微量油、水分和微粒。如果这些有害物质进入工艺气体管路就会损害产品。因此,半导体设备厂在特气输送管路组装完成后,做完气密性测试后,为满足客户对设备管路的洁净度要求,会对管路做水分、氧分、颗粒含量做测试。工厂目前做法是杜瓦罐作为吹扫气源,在出气口上安装氮气纯化器,氮气纯化器出口连接减压阀和压力表。再连接气体管路用高纯氮气对其持续吹扫两个小时后连接水分、氧分、颗粒分析仪,当水分、氧分含量小于10ppb,尺寸小 ...
【技术保护点】
1.一种管道吹扫装置,其特征在于,包括负压真空模组和正压吹扫模组,所述负压真空模组包括依次通过第一管路(1)首尾连接的第一逆止阀(3)、第一压力表(4)和第一隔膜阀(5),还包括连接在所述第一压力表(4)与所述第一隔膜阀(5)之间的分支管路(2),所述分支管路(2)上设置有第二隔膜阀(6),所述分支管路(2)的自由端连接真空泵(7);所述正压吹扫模组包括依次通过第二管路(8)首尾连接的第三隔膜阀(9)、第二压力表(10)、缓冲罐(11)、第四隔膜阀(12)和第二逆止阀(13)。
【技术特征摘要】
1.一种管道吹扫装置,其特征在于,包括负压真空模组和正压吹扫模组,所述负压真空模组包括依次通过第一管路(1)首尾连接的第一逆止阀(3)、第一压力表(4)和第一隔膜阀(5),还包括连接在所述第一压力表(4)与所述第一隔膜阀(5)之间的分支管路(2),所述分支管路(2)上设置有第二隔膜阀(6),所述分支管路(2)的自由端连接真空泵(7);所述正压吹扫模组包括依次通过第二管路(8)首尾连接的第三隔膜阀(9)、第二压力表(10)、缓冲罐(11)、第四隔膜阀(12)和第二逆止阀(13)。2.根据权利要求1所述的管道吹扫装置,其特征在于,所述缓冲罐(11)内还设置有控温加热装置(14)。3.根据权利要求1所述的管道吹扫装置,其特征在于,所述第一压力表(4)和所述第二压力表(10)均采用指针式压力表。4.根据权利要求1所述的管道吹扫装置,其特征在于,所述第一隔膜阀(5)、所述第二隔膜阀(6)、所述第三隔膜阀(9)和所述第四隔膜阀(12)均采用手动隔膜阀结构。5.根据权利要求1所述的管道吹扫装置,其特征在于,还包括第一基板和第二基板,所述负压真空模组设置在所述第一基板上,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:邝亮亮,
申请(专利权)人:上海正帆科技股份有限公司,江苏正帆半导体设备有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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