The utility model discloses a stainless steel annealing protective inner cover, which comprises a heating element which is installed at the top of the annealing inner cover. A heating wire is arranged on the left and right sides of the heating element which extends downward. The left end of the heating element passes through the annealing inner cover and is arranged outside the left end of the annealing inner cover. An auxiliary annealing device is added to the inner right side of the outer shell of the stainless steel annealing protective cover, and the auxiliary annealing device is fixed on the inner wall of the furnace door, thus accelerating the annealing speed of the stainless steel annealing protective cover to the material, and forming a dual annealing effect with the traditional gas-cooled device, thereby increasing the retreat. Fire efficiency, and the kinetic energy of the auxiliary annealing device is mainly driven by the wind power of the air-cooled device, so there is no need to connect the external power supply, so that the auxiliary annealing device does not waste excess energy, thus reducing its use cost but can speed up the annealing efficiency, while saving energy and reducing emissions. Effect.
【技术实现步骤摘要】
一种不锈钢退火保护内罩
本技术属于退火炉相关
,具体涉及一种不锈钢退火保护内罩。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。现有的退火保护内罩技术存在以下问题:现有的退火保护内罩退火比较单一,这样会影响退火炉内部的退火速度,不能够节约能源。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种不锈钢退火保护内罩,以解决上述
技术介绍
中提出的退火炉的退火功能单一且退火效率过低的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种不锈钢退火保护内罩,包括加热元件,所述加热元件安装在退火内罩的内部最上端,所述加热元件上左右两侧设置有向下伸出的加热丝,所述加热元件最左端穿过退火内罩并设置在退火内罩左端外部,所述加热元件下侧设置有料台,所述料台设置在退火内罩的内部最下侧,所述退火内罩的内壁上覆盖有保温层,所述退火内罩外部设置有外壳,所述加热元件最左端连接有向上伸出的水冷电极,所述水冷电极最上端穿过外壳最上端外壁并设置在外壳上端外部,所述外壳最左端外壁内部固定连接有安装块,所述安装块左端设置有气冷装置,所述外壳最右侧外壁上设置有炉门,所述炉门左端内壁上设置有辅助退火装置,所述辅助退火装置设置在外壳的右侧内部,所述外壳最下端两侧外壁上设置有向下伸出的支架,所述支架底部设置有横向放置的安放底座,所述水冷电极、加热元件、加 ...
【技术保护点】
1.一种不锈钢退火保护内罩,包括加热元件(4),其特征在于:所述加热元件(4)安装在退火内罩(2)的内部最上端,所述加热元件(4)上左右两侧设置有向下伸出的加热丝(5),所述加热元件(4)最左端穿过退火内罩(2)并设置在退火内罩(2)左端外部,所述加热元件(4)下侧设置有料台(8),所述料台(8)设置在退火内罩(2)的内部最下侧,所述退火内罩(2)的内壁上覆盖有保温层(3),所述退火内罩(2)外部设置有外壳(13),所述加热元件(4)最左端连接有向上伸出的水冷电极(1),所述水冷电极(1)最上端穿过外壳(13)最上端外壁并设置在外壳(13)上端外部,所述外壳(13)最左端外壁内部固定连接有安装块(12),所述安装块(12)左端设置有气冷装置(11),所述外壳(13)最右侧外壁上设置有炉门(7),所述炉门(7)左端内壁上设置有辅助退火装置(6),所述辅助退火装置(6)设置在外壳(13)的右侧内部,所述外壳(13)最下端两侧外壁上设置有向下伸出的支架(10),所述支架(10)底部设置有横向放置的安放底座(9),所述水冷电极(1)、加热元件(4)、加热丝(5)和气冷装置(11)通过外部电源电 ...
【技术特征摘要】
1.一种不锈钢退火保护内罩,包括加热元件(4),其特征在于:所述加热元件(4)安装在退火内罩(2)的内部最上端,所述加热元件(4)上左右两侧设置有向下伸出的加热丝(5),所述加热元件(4)最左端穿过退火内罩(2)并设置在退火内罩(2)左端外部,所述加热元件(4)下侧设置有料台(8),所述料台(8)设置在退火内罩(2)的内部最下侧,所述退火内罩(2)的内壁上覆盖有保温层(3),所述退火内罩(2)外部设置有外壳(13),所述加热元件(4)最左端连接有向上伸出的水冷电极(1),所述水冷电极(1)最上端穿过外壳(13)最上端外壁并设置在外壳(13)上端外部,所述外壳(13)最左端外壁内部固定连接有安装块(12),所述安装块(12)左端设置有气冷装置(11),所述外壳(13)最右侧外壁上设置有炉门(7),所述炉门(7)左端内壁上设置有辅助退火装置(6),所述辅助退火装置(6)设置在外壳(13)的右侧内部,所述外壳(13)最下端两侧外壁上设置有向下伸出的支架(10),所述支架(10)底部设置有横向放置的安放底座(9),所述水冷电极(1)、加热元件(4)、加热丝(5)和气冷装置(11)通过外部电源电性连接。2.根据权利要求1所述的一种不锈钢退火保护内罩,其特征在于:所述气冷装置(11)上最左端外部设置有保护壳(111),所述保护壳(111)固定安装在安装块(12)的左端外壁上,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨昌玉,
申请(专利权)人:重庆茂航不锈钢有限公司,
类型:新型
国别省市:重庆,50
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