The invention discloses a rotary silicon wafer cleaning auxiliary device, which belongs to the technical field of silicon wafer production. The device comprises a bottom frame, a roller shaft and a gear driving mechanism. The bottom frame is provided with a first through hole and a second through hole. The first through hole and the second through hole are arranged relative to each other to form a set of pairs of perforations. The two ends of the roller shaft are respectively perforated in the first through hole and the second through hole, and the left end of the roller shaft is provided with a driving gear. The gear driving mechanism comprises a servo motor, a first bevel gear, a second bevel gear and a main gear. The output end of the servo motor and the first bevel gear are connected by a transmission shaft. The first bevel gear and the second bevel gear engage, and the second bevel gear and the main gear are connected by a transmission shaft. The main gear is meshed with the driving gear. In the process of silicon wafer cleaning, the device drives the silicon wafer to rotate in the wafer bearing basket by a roller, thus improving the quality of silicon wafer cleaning.
【技术实现步骤摘要】
一种旋转式硅片清洗辅助装置
本专利技术属于硅片生产
,特别是涉及一种旋转式硅片清洗辅助装置。
技术介绍
硅片在生产过程中,需要对硅片的表面进行清洗,现有的硅片清洗工艺普遍是将硅片放置在硅片承载花篮内,然后将硅片承载花篮放置在清洗槽内来回移动,并使清洗液冲洗硅片的表面实现硅片的清洗。利用该工艺清洗时,因为硅片相对于硅片承载花篮几乎不产生运动,所述硅片的表面清洗不均匀且很难清洗干净。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足,本专利技术的目的是提供一种旋转式硅片清洗辅助装置,用于解决硅片清洗过程中硅片相对于硅片承载花篮运动有限甚至是不产生运动的问题。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的:一种旋转式硅片清洗辅助装置,包括底部框架、滚轴和齿轮驱动机构,所述底部框架上设有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔和第二通孔相对设置形成一组对穿孔,所述滚轴的两端分别穿设于第一通孔和第二通孔内,所述滚轴的左端设有驱动齿轮,所述齿轮驱动机构包括伺服电机、第一伞状齿轮、第二伞状齿轮和主齿轮,所述伺服电机的输出端和第一伞状齿轮通过传动轴传动连接,所述第一伞状齿轮和第二伞状齿轮相啮合,所述第二伞状齿轮和主齿轮通过连接轴传动连接,所述主齿轮与驱动齿轮相啮合。在该装置中,伺服电机通过传动轴驱动第一伞状齿轮转动,第一伞状齿轮与第二伞状齿轮啮合,所以第一伞状齿轮带动第二伞状齿轮转动,第二伞状齿轮和主齿轮通过连接轴传动连接,所以第二伞状齿轮带动主齿轮转动,主齿轮与驱动齿轮转动,所以主齿轮通过驱动齿轮带动滚轴转动。在使用时,将硅片承载花篮放置在底部框架上,硅片与滚轴接触,滚轴在转动的过程中带动硅 ...
【技术保护点】
1.一种旋转式硅片清洗辅助装置,其特征在于,该装置包括底部框架(1)、滚轴(2)和齿轮驱动机构,所述底部框架(1)上设有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔和第二通孔相对设置形成一组对穿孔,所述滚轴(2)的两端分别穿设于第一通孔和第二通孔内,所述滚轴(2)的左端设有驱动齿轮(3),所述齿轮驱动机构包括伺服电机(4)、第一伞状齿轮(5)、第二伞状齿轮(6)和主齿轮,所述伺服电机(4)的输出端和第一伞状齿轮(5)通过传动轴(7)传动连接,所述第一伞状齿轮(5)和第二伞状齿轮(6)相啮合,所述第二伞状齿轮(6)和主齿轮通过连接轴传动连接,所述主齿轮与驱动齿轮(3)相啮合。
【技术特征摘要】
1.一种旋转式硅片清洗辅助装置,其特征在于,该装置包括底部框架(1)、滚轴(2)和齿轮驱动机构,所述底部框架(1)上设有第一通孔和第二通孔,所述第一通孔和第二通孔相对设置形成一组对穿孔,所述滚轴(2)的两端分别穿设于第一通孔和第二通孔内,所述滚轴(2)的左端设有驱动齿轮(3),所述齿轮驱动机构包括伺服电机(4)、第一伞状齿轮(5)、第二伞状齿轮(6)和主齿轮,所述伺服电机(4)的输出端和第一伞状齿轮(5)通过传动轴(7)传动连接,所述第一伞状齿轮(5)和第二伞状齿轮(6)相啮合,所述第二伞状齿轮(6)和主齿轮通过连接轴传动连接,所述主齿轮与驱动齿轮(3)相啮合。2.根据权利要求1所述的一种旋转式硅片清洗辅助装置,其特征在于,该装置还包括支撑架(8),所述支撑架(8)与底部框架(1)的左端连接,所述支撑架(8)与底部框架(1)相垂直,所述伺服电机(4)安装在支撑架(8)的顶部。3.根据权利要求2所述的一种旋转式硅片清洗辅助装置,其特征在于,所述支撑架(8)的右侧下端设有定位轴套(9),所述传动轴(7)的下端穿过定位轴套(9)与第一伞状齿轮(5)连接。4.根据权利要求2所述的一种旋转式硅片清洗辅助装置,其特征在于,所述支撑架(8)的顶部设有安装平台(10),所述安装平台(10)的上表面上设有电机安装架(11),所述电机安装架(11)内安装有光电传感器,所述传动轴(7)的上端固定连接有传感器档片(12),所述传感器档片(12)的四周均布有多个凸齿,所述光...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈景韶,葛林五,葛林新,李杰,丁高生,
申请(专利权)人:上海提牛机电设备有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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