The utility model discloses an anti-collision basket in the field of semiconductor basket-lifting fixture, which comprises a left side plate and a right side plate which are mutually corresponding to each other. A top plate, a bottom plate and a back plate are arranged between the left side plate and the right side plate, the top plate and the bottom plate are parallel to each other, the back plate is perpendicular to the top plate, and the opposite side of the back plate is a crystal inlet. The inner side of the side plate and the right side plate are provided with a number of crystal grooves which distribute sequentially from top to bottom. The spacing between adjacent wafer grooves is equal. At least two guide rails are arranged on the outer side of the left side plate and the right side plate. The sliding guide rail is connected with a moving plate, and the moving plate is vertically arranged on the side near the crystal inlet. A fixed shaft is rotated and connected with an arc handle. A front baffle plate connected with the arc handle is fixed on the arc handle, and the front baffle plate near the left side plate and the right side plate are arranged in correspondence with each other. The utility model can avoid the impact of the crystal product and effectively protect the product.
【技术实现步骤摘要】
一种防撞提篮
本技术属于半导体提篮治具领域,特别涉及一种防撞提篮。
技术介绍
现有技术中,半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后的测试组成。塑封之后,还要进行一系列操作,如后固化、切筋和成型、电镀以及打印等工艺。典型的封装工艺流程为:划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋和成型、外观检查、成品测试和包装出货。提篮是放晶元的篮子,用于半导体制程的划片、粘片工序中硅片、框架的周转、存储。目前的提篮存在如下不足之处:为了便于将晶元装进提篮,提篮上至少有一侧设有开口,晶元装进提篮后,工作人员移动提篮时,晶圆由于缺少遮挡,容易造成晶元刮碰到突出物导致产品破裂,即人员不慎撞到桌角、机台边角、或者人员手臂,造成产品裸露在外的一侧破裂。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种防撞提篮,能够避免提篮的移动过程中晶元产品受到撞击,有效保护产品,避免晶元产品破裂。本技术的目的是这样实现的:一种防撞提篮,包括互相对应设置的左侧板和右侧板,左侧板和右侧板之间设有顶板、底板和背板,顶板和底板互相平行,背板与顶板相垂直,与背板相对的一侧为晶元进口,所述左侧板和右侧板朝内的一侧均设置有若干从上到下依次分布的晶元凹槽,相邻晶圆凹槽之间的间距相等,所述左侧板和右侧板朝外的一侧均设有至少两条导轨,所述导轨上滑动连接有移动板,移动板靠近晶元进口的一侧竖直设置有固定轴,固定轴上转动连接有弧形把手,弧形把手上固定有与弧形把手连为一体的前挡板,靠近所述左侧板和靠近所述右侧板的前挡板互相对应设置。本技术使用时,将多个晶元产品一层一层地放置在晶元凹槽中,各晶元产品叠放好后,滑动移动板到对应位 ...
【技术保护点】
1.一种防撞提篮,其特征在于,包括互相对应设置的左侧板和右侧板,左侧板和右侧板之间设有顶板、底板和背板,顶板和底板互相平行,背板与顶板相垂直,与背板相对的一侧为晶元进口,所述左侧板和右侧板朝内的一侧均设置有若干从上到下依次分布的晶元凹槽,相邻晶圆凹槽之间的间距相等,所述左侧板和右侧板朝外的一侧均设有至少两条导轨,所述导轨上滑动连接有移动板,移动板靠近晶元进口的一侧竖直设置有固定轴,固定轴上转动连接有弧形把手,弧形把手上固定有与弧形把手连为一体的前挡板,靠近所述左侧板和靠近所述右侧板的前挡板互相对应设置。
【技术特征摘要】
1.一种防撞提篮,其特征在于,包括互相对应设置的左侧板和右侧板,左侧板和右侧板之间设有顶板、底板和背板,顶板和底板互相平行,背板与顶板相垂直,与背板相对的一侧为晶元进口,所述左侧板和右侧板朝内的一侧均设置有若干从上到下依次分布的晶元凹槽,相邻晶圆凹槽之间的间距相等,所述左侧板和右侧板朝外的一侧均设有至少两条导轨,所述导轨上滑动连接有移动板,移动板靠近晶元进口的一侧竖直设置有固定轴,固定轴上转动连接有弧形把手,弧形把手上固定有与弧形把手连为一体的前挡板,靠近所述左侧板和靠近所述右侧板的前挡板互相对应设置。2.根据权利要求1所述的一种防撞提篮,其特征在于,所述晶元凹槽为梯形,晶元凹槽内壁设有一层用海绵制成的缓冲层...
【专利技术属性】
技术研发人员:张浩,陈志远,朱锦键,聂伟,万伂芯,
申请(专利权)人:江苏汇成光电有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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