一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置制造方法及图纸

一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，包括表面具有0‑360角度刻度的圆盘和条形水平钢板，其中，条形水平钢板通过其一端设置的磨轮轴固定孔与磨轮轴固定连接，条形水平钢板的另一端设置有千分表安装孔，该千分表安装孔内垂直设置有千分表，千分表的侧头与圆盘的边缘接触，圆盘吸附在吸盘上，通过手动转动吸盘带动圆盘转动，进而根据千分表读数的变化和圆盘上角度刻度的结合，调整吸盘固定螺丝的松紧度来使调节磨轮与吸盘平行度。本实用新型专利技术具有加工工艺简单、价格低廉、操作方便的优点，克服了磨轮与吸盘固定在不同位置与空间、平行度不易测量及调整困难的问题，大大地节省了生产成本，提高了工作效率。

Parallelism adjusting device for grinding wheel and suction disc in silicon wafer chamfering process

A device for adjusting the parallelism of a grinding wheel and a suction plate in a silicon chamfering process, including a disc and a horizontal steel plate with a surface with 0 angles and 360 angles, in which a bar shaped horizontal plate is fixed to the grinding wheel by a fixed hole on one end of the steel plate and the other end of a bar shaped horizontal plate is set with a micrometer mounting hole. A micrometer is set vertically, the side of the dial is in contact with the edge of the disc, the disc is adsorbed on the suction disc, and the disc is rotated by the manual rotating sucker. Then, according to the change of the dial reading and the angle scale on the disc, the tightness of the fixed screw thread is adjusted to adjust the grinding wheel and the sucker. Parallelism. The utility model has the advantages of simple processing technology, low price and convenient operation, and overcomes the problems that the grinding wheel and the sucker are fixed in different positions and spaces, and the parallelism is difficult to measure and adjust, which greatly saves the production cost and improves the working efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置
本技术涉及到半导体硅片生产领域，具体的说是一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置。
技术介绍
硅单晶经切割而成为硅片后，其边缘棱角部位容易产生崩边缺口以及裂纹等损伤对后续工艺过程造成不同程度的影响，进而引入硅片倒角工艺，消除了硅片边缘应力集中区域，减少了后续工艺过程中硅片的破损。随着半导体技术的不断发展，客户对衬底片质量的要求也越来越高，晶片倒角作为消除边缘损伤、降低边缘应力的重要工序，越来越被人所重视。倒角作业时，如附图1所示，硅片被固定在可旋转的真空吸盘上，在其边缘方向有一高速旋转的金刚石磨轮，磨轮旋转速度通常为6000～8000r/min或更高。硅片边缘与磨轮接触并作相对旋转运动而被磨削达到预计的边缘轮廓。工作时磨轮和吸盘同时旋转且互为反方向，两者之间平行度精度直接决定硅片边缘轮廓质量。目前国内半导体材料加工厂家，大多使用的设备是日本东精精密产的W-GM4200和大途株式会社的WBM-2200倒角机，倒角作业时磨轮旋转速度通常为6000～8000r/min或更高，磨轮是安装在磨轮轴上，吸盘是用螺丝固定在研磨轴上，螺丝的松紧度决定吸盘的平面倾斜度。磨轮高速旋转，若工作时吸盘与其的平行度精度不好，会直接导致硅片的边缘轮廓超标，因此两者之间的平行度至关重要。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，利用该装置可以直观的检测磨轮和吸盘之间的平行度，且调整方法简单、实用，从而有效的保证磨轮与吸盘之间的平行度精度。本技术为实现上述技术目的所采用的技术方案为：一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，包括一表面具有0-360角度刻度的圆盘和一条形水平钢板，其中，条形水平钢板通过其一端设置的磨轮轴固定孔与磨轮轴固定连接，条形水平钢板的另一端设置有一千分表安装孔，该千分表安装孔内垂直设置有千分表，千分表的侧头与圆盘的边缘接触，圆盘吸附在吸盘上，通过手动转动吸盘带动圆盘转动，进而根据千分表读数的变化和圆盘上角度刻度的结合，调整吸盘固定螺丝的松紧度来使调节磨轮与吸盘平行度。作为本技术的一种优选实施方案，所述条形水平钢板采用不锈钢材质制成，且具有光滑的表面，以使其能够代替磨轮来反应磨轮的工作平面。作为本技术的另一种优选实施方案，所述圆盘由不锈钢材质制成，且表面经过抛光处理，以使其能够有效的反应出吸盘的工作平面。作为本技术的另一种优选实施方案，所述圆盘上0-360的角度刻度是，环绕圆盘的中心标定的360°角度刻度，以使圆盘在随吸盘旋转360°的过程中，能够精确标定具体位置。作为本技术的另一种优选实施方案，所述圆盘上设置有通孔，该通孔将吸盘上的吸盘固定螺丝暴露出来。有益效果：本技术通过条形水平钢板代替磨轮的工作平面，采用圆盘来反应吸盘的工作平面，再用千分表测量圆盘转动一周过程中每个位置高低不同来表征吸盘与磨轮之间的平行度，并以此为指标调节吸盘固定螺丝的松紧度，进而保证磨轮和吸盘间的平行度；本装置具有加工工艺简单、价格低廉、操作方便的优点，克服了磨轮与吸盘固定在不同位置与空间、平行度不易测量及调整困难的问题，大大地节省了生产成本，提高了工作效率。附图说明图1为倒角机的工作原理图；图2为本技术的结构示意图；图3为条形水平钢板的结构示意图；图4为圆盘的结构示意图；附图标记：1、磨轮，101、磨轮轴，2、吸盘，201、吸盘固定螺丝，3、硅片，4、条形水平钢板，401、磨轮轴固定孔，402、千分表安装孔，5、千分表，6、圆盘，601、通孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图所示，一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，包括一表面具有0-360角度刻度的圆盘6和一条形水平钢板4，其中，条形水平钢板4通过其一端设置的磨轮轴固定孔401与磨轮轴101固定连接，条形水平钢板4的另一端设置有一千分表安装孔402，该千分表安装孔402内垂直设置有千分表5，千分表5的侧头与圆盘6的边缘接触，圆盘6吸附在吸盘2上，通过手动转动吸盘2带动圆盘6转动，进而根据千分表5读数的变化和圆盘6上角度刻度的结合，调整吸盘固定螺丝201的松紧度来使调节磨轮与吸盘平行度。以上为本技术的基本实施方式，可在以上基础上做进一步的改进、优化和限定：作为本技术的一种优选实施方案，所述条形水平钢板4采用不锈钢材质制成，且具有光滑的表面，以使其能够代替磨轮1来反应磨轮1的工作平面；作为本技术的另一种优选实施方案，所述圆盘6由不锈钢材质制成，且表面经过抛光处理，以使其能够有效的反应出吸盘2的工作平面；作为本技术的另一种优选实施方案，所述圆盘6上0-360的角度刻度是，环绕圆盘6的中心标定的360°角度刻度，以使圆盘6在随吸盘2旋转360°的过程中，能够精确标定具体位置；作为本技术的另一种优选实施方案，所述圆盘6上设置有通孔601，该通孔601将吸盘2上的吸盘固定螺丝201暴露出来。本技术在使用时，先将条形水平钢板4通过磨轮轴固定孔401固定在磨轮轴101上，另一端的千分表安装孔402内保持与条形水平钢板4垂直90度固定一块千分表5；带刻度的圆盘6放在吸盘2上，使千分表5与圆盘6均匀接触，圆盘6的通孔601露出吸盘2的吸盘固定螺丝201，然后操作倒角机手动使吸盘2旋转360度，旋转时千分表5准确显示每个位置的高低，在圆盘6上对应刻度处做好记号，调整吸盘2的吸盘固定螺丝201，即可使圆盘6与条形水平钢板4保持平行，进而使磨轮1与吸盘2保持平行。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，其特征在于：包括一表面具有0‑360角度刻度的圆盘（6）和一条形水平钢板（4），其中，条形水平钢板（4）通过其一端设置的磨轮轴固定孔（401）与磨轮轴（101）固定连接，条形水平钢板（4）的另一端设置有一千分表安装孔（402），该千分表安装孔（402）内垂直设置有千分表（5），千分表（5）的侧头与圆盘（6）的边缘接触，圆盘（6）吸附在吸盘（2）上，通过手动转动吸盘（2）带动圆盘（6）转动，进而根据千分表（5）读数的变化和圆盘（6）上角度刻度的结合，调整吸盘固定螺丝（201）的松紧度来使调节磨轮与吸盘平行度。

【技术特征摘要】
1.一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，其特征在于：包括一表面具有0-360角度刻度的圆盘（6）和一条形水平钢板（4），其中，条形水平钢板（4）通过其一端设置的磨轮轴固定孔（401）与磨轮轴（101）固定连接，条形水平钢板（4）的另一端设置有一千分表安装孔（402），该千分表安装孔（402）内垂直设置有千分表（5），千分表（5）的侧头与圆盘（6）的边缘接触，圆盘（6）吸附在吸盘（2）上，通过手动转动吸盘（2）带动圆盘（6）转动，进而根据千分表（5）读数的变化和圆盘（6）上角度刻度的结合，调整吸盘固定螺丝（201）的松紧度来使调节磨轮与吸盘平行度。2.根据权利要求1所述的一种硅片倒角工艺中磨轮与吸盘平行度调整装置，其特征在于：所述条形水平钢板（4）采用不锈钢...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海君，郭栋梁，刘建峰，董开纪，雷亮，
申请(专利权)人：麦斯克电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41