优化的低能量/高生产率沉积系统技术方案

本发明专利技术涉及优化的低能量/高生产率沉积系统。一种用于衬底处理工具的机械换位器包括：各自具有第一端部执行器和第二端部执行器的第一臂和第二臂。所述第一臂被配置为在第一轴上旋转以在所述衬底处理工具的多个处理站处将所述第一臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第一臂的所述第二端部执行器选择性地定位。所述第二臂被配置为在第二轴上旋转以在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第二端部执行器选择性地定位。所述第一臂被配置成独立于所述第二臂旋转。

Optimized low energy / high productivity deposition system

The invention relates to an optimized low energy / high productivity deposition system. A mechanical transposer for a substrate processing tool comprises a first arm and a second arm each having a first end effector and a second end effector. The first arm is configured to rotate on the first axis to selectively locate the first end executor of the first arm at a plurality of processing stations of the substrate processing tool and selectively locate the second end executor of the first arm at the plurality of processing stations of the substrate processing tool. The second arm is configured to rotate on the second axis to selectively locate the first end executor of the second arm at the plurality of processing stations of the substrate processing tool, and selectively determine the second end executor of the second arm at the plurality of processing stations of the substrate processing tool. Position. The first arm is configured to rotate independently of the second arms.

【技术实现步骤摘要】
优化的低能量/高生产率沉积系统相关申请的交叉引用本申请要求于2017年1月23日提交的美国临时申请No.62/449,325的权益。以上引用的申请的全部公开内容通过引用并入本文。
本公开涉及衬底处理系统的处理模块内的衬底的传送。
技术介绍
这里提供的背景描述是为了一般地呈现本公开的背景的目的。目前所命名的专利技术人的工作，在该
技术介绍
部分以及本说明书的在申请时不会以其他方式被认为是现有技术的方面中所描述的程度上，既不明确地也不隐含地被承认是针对本公开的现有技术。衬底处理系统可以用于执行诸如半导体晶片之类的衬底的沉积、蚀刻和/或其他处理。在处理期间，将衬底布置在衬底处理系统的处理室中的衬底支撑件上。包括一种或多种前体的气体混合物被引入到处理室中，并且等离子体可以被激励以激活化学反应。衬底处理系统可以包括布置在制造室内的多个衬底处理工具。每个衬底处理工具可以包括多个处理模块。现在参考图1，示出了示例衬底处理工具100的俯视图。衬底处理工具100包括多个处理模块104。处理模块104中的每一个可以被配置为在衬底上执行一个或多个相应的处理。待处理的衬底通过设备前端部模块(EFEM)108的加载站的端部口加载到衬底处理工具100中，然后被传送到处理模块104中的一个或多个中。例如，衬底可以从EFEM108经由一个或多个EFEM机械手116传送到加载锁112。真空传送模块(VTM)120包括一个或多个VTM机械手124，其被配置成将衬底传送进出处理模块104。例如，衬底可以被连续加载到处理模块104中的每一个中。在一个示例中，处理模块104对应于四站处理模块(QSM)。QSM可以包括在单个室内(即在处理模块104的处理室132内)的四个处理站128。衬底136经由加载站140被加载到处理模块104中。例如，衬底136经由VTM120与处理模块104之间的各个槽144在VTM120与加载站140之间被传送。机械换位器148(即换位机构)顺序旋转处理站128之间的衬底136。如图所示，机械换位器148对应于十字形的轴。例如，衬底136可以从VTM120传送到对应于加载站140(标记为“1”)的处理站128，在标记为“2”、“3”和“4”的处理站140之间顺序地旋转，然后返回到加载站140以从处理模块104去除。系统控制器152可以控制工具的各种操作，包括但不限于机械手116和124的操作，换位器148的旋转等等。
技术实现思路
一种用于衬底处理工具的机械换位器包括：各自具有第一端部执行器和第二端部执行器的第一臂和第二臂。所述第一臂被配置为在第一轴上旋转以在所述衬底处理工具的多个处理站处将所述第一臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第一臂的所述第二端部执行器选择性地定位。所述第二臂被配置为在第二轴上旋转以在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第二端部执行器选择性地定位。所述多个处理站中的至少一个处理站对应于所述衬底处理工具的加载站。所述第一臂被配置成独立于所述第二臂旋转，使得在所述第二臂的所述第一端部执行器或所述第二端部执行器定位在所述加载站的同时，所述第一臂的所述第一端部执行器或所述第二端部执行器定位在所述加载站。在其他特征中，所述第一轴和所述第二轴是同轴的。所述第一臂和所述第二臂中的每一个被配置成相对于所述衬底处理工具的所述多个处理站升高和降低。所述第二轴设置在所述第一轴内。在其他特征中，所述第一臂和所述第二臂能旋转成第一构造。在所述第一构造中，所述第一臂的所述第一端部执行器和所述第二端部执行器分别位于所述多个处理站的第一处理站和第三处理站处，并且所述第二臂的所述第一端部执行器和所述第二端部执行器分别位于所述多个处理站的第二处理站和第四处理站处。所述第一臂和所述第二臂能旋转成第二构造。在所述第二构造中，所述第一臂的所述第一端部执行器和所述第二端部执行器分别位于所述多个处理站的所述第一处理站和所述第三处理站处，并且所述第二臂的所述第一端部执行器和所述第二端部执行器分别位于所述多个处理站的所述第三处理站和所述第一处理站处。在其他特征中，所述第一处理站对应于所述衬底处理工具的所述加载站。所述第一处理站和所述第三处理站设置在所述衬底处理工具的相对的角部，而所述第二处理站和所述第四处理站设置在所述衬底处理工具的相对的角部。在其他特征中，所述第一臂和所述第二臂能旋转成第一构造。在所述第一构造中，所述第一臂的所述第一端部执行器和所述第二端部执行器分别位于所述多个处理站的第一处理站和第四处理站处，并且所述第二臂的所述第一端部执行器和所述第二端部执行器分别位于所述多个处理站的第二处理站和第三处理站处。所述第一臂和所述第二臂能旋转成第二构造。在所述第二构造中，所述第一臂的所述第一端部执行器和所述第二端部执行器分别位于所述多个处理站的所述第一处理站和所述第四处理站处，并且所述第二臂的所述第一端部执行器和所述第二端部执行器分别位于所述多个处理站的所述第四处理站和所述第一处理站处。在其他特征中，所述第一处理站和所述第四处理站设置在所述衬底处理工具的第一侧上，并且所述第二处理站和所述第三处理站设置在所述衬底处理工具的与所述第一侧相对的第二侧上。所述第一处理站和所述第四处理站对应于所述衬底处理工具的加载站。在其他特征中，一种衬底处理工具包括：真空传送模块和耦合到所述真空传送模块的多个处理模块。所述多个处理模块中的至少一个包括所述机械换位器。所述多个处理模块包括耦合到所述真空传送模块的第一侧的第一和第二处理模块以及耦合到所述真空传送模块的第二侧的第三和第四处理模块。在其他特征中，适配器板布置在所述第一侧和所述第一和所述第二处理模块之间。所述适配器板包括被配置成与所述真空传送模块的所述第一侧对接的平坦侧和被配置为与所述第一和第二处理模块对接的成角度侧。在其他特征中，所述真空传送模块的所述第一侧和所述第二侧是倒角形的。适配器板布置在所述第一侧和所述第一和所述第二处理模块之间。所述适配器板包括被配置为与所述真空传送模块的所述第一侧对接的成角度侧和被配置为与所述第一和第二处理模块对接的平坦侧。具体而言，本专利技术的一些方面可以阐述如下：1.一种用于衬底处理工具的机械换位器，所述机械换位器包括：具有第一端部执行器和第二端部执行器的第一臂，其中所述第一臂被配置为在第一轴上旋转以(i)在所述衬底处理工具的多个处理站处将所述第一臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且(ii)在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第一臂的所述第二端部执行器选择性地定位；和具有第一端部执行器和第二端部执行器的第二臂，其中所述第二臂被配置为在第二轴上旋转以(i)在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且(ii)在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第二端部执行器选择性地定位，其中所述多个处理站中的至少一个处理站对应于所述衬底处理工具的加载站，并且其中所述第一臂被配置成独立于所述第二臂旋转，使得在所述第二臂的所述第一端部执行器或所述第二端部执行器定位在所述加载站的同时，所述第本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于衬底处理工具的机械换位器，所述机械换位器包括：具有第一端部执行器和第二端部执行器的第一臂，其中所述第一臂被配置为在第一轴上旋转以(i)在所述衬底处理工具的多个处理站处将所述第一臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且(ii)在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第一臂的所述第二端部执行器选择性地定位；和具有第一端部执行器和第二端部执行器的第二臂，其中所述第二臂被配置为在第二轴上旋转以(i)在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且(ii)在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第二端部执行器选择性地定位，其中所述多个处理站中的至少一个处理站对应于所述衬底处理工具的加载站，并且其中所述第一臂被配置成独立于所述第二臂旋转，使得在所述第二臂的所述第一端部执行器或所述第二端部执行器定位在所述加载站的同时，所述第一臂的所述第一端部执行器或所述第二端部执行器定位在所述加载站。

【技术特征摘要】
2017.01.23 US 62/449,325;2018.01.11 US 15/868,3471.一种用于衬底处理工具的机械换位器，所述机械换位器包括：具有第一端部执行器和第二端部执行器的第一臂，其中所述第一臂被配置为在第一轴上旋转以(i)在所述衬底处理工具的多个处理站处将所述第一臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且(ii)在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第一臂的所述第二端部执行器选择性地定位；和具有第一端部执行器和第二端部执行器的第二臂，其中所述第二臂被配置为在第二轴上旋转以(i)在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第一端部执行器选择性地定位，并且(ii)在所述衬底处理工具的所述多个处理站处将所述第二臂的所述第二端部执行器选择性地定位，其中所述多个处理站中的至少一个处理站对应于所述衬底处理工具的加载站，并且其中所述第一臂被配置成独立于所述第二臂旋转，使得在所述第二臂的所述第一端部执行器或所述第二端部执行器定位在所述加载站的同时，所述第一臂的所述第一端部执行器或所述第二端部执行器定位在所述加载站。2.根据权利要求1所述的机械换位器，其中所述第一轴和所述第二轴是同轴的。3.根据权利要求1所述的机械换位器，其中，所述第一臂和所述第二臂中的每一个被配置成相对于所述衬底处理工具的所述多个处理站升高和降低。4.根据权利要求1所述的机械换位器，其中，所述第二轴设置在所述第一轴内。5.根据权利要求1所述的机械换位器，其中：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：迈克尔·诺丁，卡尔·利泽，理查德·布朗克，罗伯特·斯库拉克，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：美国,US