The invention discloses a clamp head for silicon wafer clamping, which belongs to the technical field of silicon wafer cleaning. The jig head consists of a seat with two driving rods and two connecting rods. The left end of the two drive rods is connected with a driving block. The left end diameter of the two connecting rods is gradually reduced. The two drive blocks are provided with support parts respectively. The two support parts are pressed on the two connecting rods under the effect of the reset machine. The right end connection of the two connecting rods is driven by the driving mechanism, and the driving mechanism drives the two connecting rods to slide. Under the effect of the reset mechanism, the distance between the support and the central line of the connecting rod is changed, thus driving the rotation of the two drive rods, and the rotation of the two driving rods is opposite. By changing the distance between the large distance of the connecting rod and the distance between the supporting part and the central line of the connecting rod, the clamp machine can realize the precision control of the rotation of the driving rod, and make it easy to realize the precision control of the rotation of the clip claw, and realize the precision clamping of the clamp's claw to the silicon chip.
【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片夹持的夹具机头
本专利技术属于硅片清洗
,特别是涉及一种用于硅片夹持的夹具机头。
技术介绍
在传统的硅片清洗技术中,通常是将硅片放置在硅片清洗花篮内进行清洗,但是硅片清洗花篮对硅片具有一定遮挡作用,导致硅片清洗不干净不彻底,因此需要依靠夹爪将硅片夹持起来。因为硅片较薄,精度较高,在夹持硅片时夹爪对硅片的夹持必须准确,如果夹爪对硅片夹持过紧,则容易对硅片造成损伤,如果夹爪对硅片夹持过松,则容易出现夹持不牢现象。
技术实现思路
针对现有技术中存在的不足,本专利技术的目的是提供一种用于硅片夹持的夹具机头,用于解决夹爪对硅片夹持不准的问题。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的:一种用于硅片夹持的夹具机头,包括机座、第一驱动块、第二驱动块、第一连接杆、第二连接杆、驱动机构和复位机构,所述机座上设有两个驱动杆穿设孔和两个连接杆穿设孔,所述两个连接杆穿设孔设在两个驱动杆穿设孔之间,所述两个驱动杆穿设孔内分别穿设有第一驱动杆和第二驱动杆,所述第一驱动块和第二驱动块分别设置在两个驱动杆穿设孔的左侧,且第一驱动块与第一驱动杆的左端固定连接,所述第二驱动块与第二驱动杆的左端固定连接,所述第一连接杆和第二连接杆分别穿设于两个连接杆穿设孔内,所述第一连接杆和第二连接杆的左端均伸出至两个连接杆穿设孔的左侧,所述第一连接杆和第二连接杆的左端均逐渐缩小,所述第一连接杆和第二连接杆的右端均与驱动机构连接,所述第一驱动块和第二驱动块均与复位机构连接,所述第一驱动块上设有第一支撑件,所述第二驱动块上设有第二支撑件,所述第一支撑件在复位机构的作用下压紧在第一连接杆的左端,所述第 ...
【技术保护点】
1.一种用于硅片夹持的夹具机头,其特征在于,该夹具机头包括机座(1)、第一驱动块(2)、第二驱动块(3)、第一连接杆(4)、第二连接杆(5)、驱动机构和复位机构,所述机座(1)上设有两个驱动杆穿设孔和两个连接杆穿设孔,所述两个连接杆穿设孔设在两个驱动杆穿设孔之间,所述两个驱动杆穿设孔内分别穿设有第一驱动杆(6)和第二驱动杆(7),所述第一驱动块(2)和第二驱动块(3)分别设置在两个驱动杆穿设孔的左侧,且第一驱动块(2)与第一驱动杆(6)的左端固定连接,所述第二驱动块(3)与第二驱动杆(7)的左端固定连接,所述第一连接杆(4)和第二连接杆(5)分别穿设于两个连接杆穿设孔内,所述第一连接杆(4)和第二连接杆(5)的左端均伸出至两个连接杆穿设孔的左侧,所述第一连接杆(4)和第二连接杆(5)的左端均逐渐缩小,所述第一连接杆(4)和第二连接杆(5)的右端均与驱动机构连接,所述第一驱动块(2)和第二驱动块(3)均与复位机构连接,所述第一驱动块(2)上设有第一支撑件,所述第二驱动块(3)上设有第二支撑件,所述第一支撑件在复位机构的作用下压紧在第一连接杆(4)的左端,所述第二支撑件在复位机构的作用下压 ...
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片夹持的夹具机头,其特征在于,该夹具机头包括机座(1)、第一驱动块(2)、第二驱动块(3)、第一连接杆(4)、第二连接杆(5)、驱动机构和复位机构,所述机座(1)上设有两个驱动杆穿设孔和两个连接杆穿设孔,所述两个连接杆穿设孔设在两个驱动杆穿设孔之间,所述两个驱动杆穿设孔内分别穿设有第一驱动杆(6)和第二驱动杆(7),所述第一驱动块(2)和第二驱动块(3)分别设置在两个驱动杆穿设孔的左侧,且第一驱动块(2)与第一驱动杆(6)的左端固定连接,所述第二驱动块(3)与第二驱动杆(7)的左端固定连接,所述第一连接杆(4)和第二连接杆(5)分别穿设于两个连接杆穿设孔内,所述第一连接杆(4)和第二连接杆(5)的左端均伸出至两个连接杆穿设孔的左侧,所述第一连接杆(4)和第二连接杆(5)的左端均逐渐缩小,所述第一连接杆(4)和第二连接杆(5)的右端均与驱动机构连接,所述第一驱动块(2)和第二驱动块(3)均与复位机构连接,所述第一驱动块(2)上设有第一支撑件,所述第二驱动块(3)上设有第二支撑件,所述第一支撑件在复位机构的作用下压紧在第一连接杆(4)的左端,所述第二支撑件在复位机构的作用下压紧在第二连接杆(5)的左端,且第一支撑件和第二支撑件均处于第一连接杆(4)和第二连接杆(5)的同一侧,所述驱动机构驱动第一连接杆(4)和第二连接杆(5)分别在两个连接杆穿设孔内滑动,所述第一支撑件到第一连接杆(4)中心线的距离发生改变,所述第二支撑件到第二连接杆(5)中心线的距离发生改变,所述复位机构驱动第一驱动块(2)和第二驱动块(3)旋转,且第一驱动块(2)和第二驱动块(3)的旋转方向相反,所述第一驱动块(2)带动第一驱动杆(6)旋转,所述第二驱动块(3)带动第二驱动杆(7)旋转,且所述第一驱动杆(6)和第二驱动杆(7)的旋转方向相反。2.根据权利要求1所述的一种用于硅片夹持的夹具机头,其特征在于,所述两个驱动杆穿设孔的中心线相平行,所述两个连接杆穿设孔的中心线相平行,且所述两个驱动杆穿设孔的中心线均与两个连接杆穿设孔的中心线相平行。3.根据权利要求1所述的一种用于硅片夹持的夹具机头,其特征在于,所述驱动机构为驱动气缸(8),所述机座(1)内设有气缸安装室,所述驱动气缸(8)安装在气缸安装室内,所述第一...
【专利技术属性】
技术研发人员:丁高生,葛林五,陈景韶,葛林新,李杰,
申请(专利权)人:上海提牛机电设备有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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