系统、方法及数字信息存储媒体技术方案

技术编号:18615192 阅读:82 留言:0更新日期:2018-08-05 00:26
本揭露实施例提供一种系统、方法及数字信息存储媒体,所述方法用以动态显示机台运作流程。所述方法包含:检索日志,所述日志记录机台的运作事项;解析所述机台的运作事项;将解析的机台运作事项以预定格式存储于文字文件中;检索所述机台的图形文件,所述图形文件包括所述机台的运作单元的相对布置;和使所述文字文件中所述运作事项与所述图形文件中所述运作单元相对应。

【技术实现步骤摘要】
系统、方法及数字信息存储媒体
本揭露实施例涉及半导体机台运作流程,且确切地说,涉及半导体机台运作流程动态显示系统、方法及数字信息存储媒体。
技术介绍
在半导体产业中,制造半导体元件或半导体芯片通常需通过各种机台予以实现。这些机台在运作时会将运作事件记录于日志中,以便检视工艺中是否有异常发生。然而,不同的机台厂商所提供的日志格式非常不同且彼此并不兼容。此外,即便是同机台厂商,也会因机台的不同而有不同的日志格式。不同的日志格式使得日志的分析变得困难。又,日志因大多仅提供文字信息,用户难以了解与某事件相关的机台行为,例如到底是机台的哪一个或哪些运作单元在哪一段时间的哪一个作业或运作程序中发生延迟。目前虽有日志以甘特图(Ganttchart)来代表机台行为,但这种方式无法呈现机台的运作单元间彼此的互动关系。
技术实现思路
在本揭露一些实施例中,其提供一种用以动态显示机台运作流程的方法。所述方法包含:检索日志,所述日志记录机台的运作事项;解析所述机台的运作事项;将解析的机台运作事项以预定格式存储于文字文件中;检索所述机台的图形文件,所述图形文件包括所述机台的运作单元的相对布置;和使所述文字文件中所述运作事项与所述图形文件中所述运作单元相对应。在本揭露一些实施例中,其提供一种用以动态显示机台运作流程的系统。所述方法包含日志解析模块以及地图编辑模块。日志解析模块用以解析日志并以预定格式产生文字文件,所述日志记录机台的运作事项。地图编辑模块对应于所述文字文件,取得与所述日志相关的机台的图形文件,并使所述文字文件与所述图形文件于所述机台的运作期间的运作事件上相对应。在本揭露一些实施例中,其提供一种数字信息存储媒体。所述数字信息存储媒体存储机台运作流程动态显示的程序,并能够令装置执行如下操作:检索日志,所述日志记录机台的运作事项;解析所述机台的运作事项;将解析的机台运作事项以预定格式存储于文字文件中;检索所述机台的图形文件,所述图形文件包括所述机台的运作单元的相对布置;和使所述文字文件中所述运作事项与所述图形文件中所述运作单元相对应。上文已相当广泛地概述本揭露实施例的技术特征,以使得下文的本揭露实施例详细描述得以获得更好地了解。将下文描述构成本揭露实施例的权利要求书标的物的其它技术特征。本揭露实施例所属
中具有通常知识者应了解,可相当容易地利用下文揭露的概念与特定实施例作为修改或设计其它结构或工艺而实现与本揭露实施例相同的目的。本揭露实施例所属
中具有通常知识者还应了解,这类等效构造无法脱离随附权利要求书所界定的本揭露实施例的精神和范围。附图说明下列图示并入说明书内容的一部分,以供阐述本揭露的各种实施例,进而清楚解释本揭露实施例的技术原理。为了使本揭露实施例的叙述更加详尽与完备,可参照下列描述并配合下列图式,其中类似的元件符号代表类似的元件。然以下实施例中所述,仅用以说明本揭露实施例,并非用以限制本揭露实施例的范围。图1为根据本揭露实施例实施例的机台运作流程动态显示系统的功能框图。图2为图1的日志解析模块的方法流程图。图3为根据本揭露实施例实施例的文字文件的示意图。图4为图1的地图编辑模块的方法流程图。图5为示范性机台图形文件的示意图。图6为图1的地图编辑模块的方法示意图。图7A、7B为图1的动画产生模块的示范性动画的示意图。图8为根据本揭露实施例实施例的机台运作流程动态显示的方法流程图。在各个附图中相似的参考符号指示相似的元件。具体实施方式本揭露实施例于图式中的一些实施例或一些实例都使用特定的语言文字进行描述。然而,应当可预期且可理解的是,本揭露实施例的范围并不局限于此。本揭露实施例所属
中具有通常知识者可以在本实施例描述中考虑到任何变化和修饰,以及在此文件中做出对原理的任何更进一步应用。参考符号可能在整个本揭露实施例的实施例中重复使用,但即使这些实施例共用相同的参考符号,并不一定是需要将一个实施例的特征应用于另一实施例中。此外,应当理解的是,当本揭露实施例的一元件为“连接到”或“耦合到”另一元件时,此元件可以直接连接到或耦合到其它元件,或者是通过中间的元件连接或耦合。图1为根据本揭露实施例实施例的机台运作流程动态显示系统10的功能框图。如图1所示,机台运作流程动态显示系统10(以下简称态显示模块)包含日志解析模块12、地图编辑模块15以及动画产生模块18。日志解析模块12解析日志14并产生文字文件30。地图编辑模块15对应于所述文字文件30,取得与所述日志14相关的机台的图形文件16,并使所述文字文件30与所述图形文件16于运作期间的运作事件上相对应。动画产生模块18基于所述相对应的文字文件30与图形文件16,产生动画文件70,以动态方式通过所述图形文件16呈现在所述运作期间内所述机台的各运作单元在时间序列下的运作事项。相较于现有技术仅以文字信息的方式呈现日志中的运作事件,本揭露实施例的动态显示系统10提供文字、图形、时间、事件相结合的信息呈现。因此,本揭露实施例的动态显示系统10和方法使得用户易于了解与某事件相关的机台行为,例如容易判断出机台的哪一个或哪些运作单元在哪一段时间的哪一个作业或运作程序中发生延迟。日志解析模块12、地图编辑模块15以及动画产生模块18将进一步参考下文的图式与实施例予以详述。图2为图1的日志解析模块12的方法流程图。如图2所示,同时参考图1,在方法流程图的操作步骤21中,日志解析模块12检索日志14,所述日志14记录机台的运作单元于运作期间的运作事项。所述机台具有多个运作单元,且在所述运作期间内,每一运作单元在某一运作时点都有与其作业或功能相关的运作事项。日志14可包含日志A、日志B或日志C中的一者。日志A、日志B与日志C可为不同机台厂商的日志,具有不同或互不兼容的格式。在操作步骤23中,日志解析模块12解译所述日志14中与所述机台的运作单元相关的运作事项。在一实施例中,日志解析模块12利用关键字搜索日志14中的相关标的。例如,利用关键字PUX搜索日志14中与运作单元相关的运作事项、时间信息、晶片编号等。在操作步骤25中,日志解析模块12分析与所述运作单元相关的运作事项的处理时间,例如所述运作单元于运作事项中处理某一晶片的起始时间与结束时间。在一实施例中,日志解析模块12包含分析引擎(未示出)用以决定机台的运作单元于其个别运作事项中所耗时间,并且基于所述所耗时间判断是否有异常,如果有异常就指出或标示出所述异常。在操作步骤27中,日志解析模块12将所解译和分析的运作事项和处理时间以预定格式记录于文字文件30中。在一实施例中,在日志解析模块12完成日志14(例如日志A)的文字文件30后,按操作步骤21到27进行另一日志14(例如日志B)的解译与分析,并以所述预定格式记录于文字文件30中。因此,在日志解析模块12完成日志A、日志B与日志C的解析后,与原本格式不同或互不兼容的日志A、日志B与日志C相对应的文字文件30具有相同的格式。图3为根据本揭露实施例的文字文件30的示意图。如图3所示,示范性文字文件30记载机台的各运作单元于其个别运作事项中处理某一晶片或执行某一作业的起始时间与结束时间。确切地说,处理腔室PU1于T1到T2的期间处理(例如沉积、蚀刻、氧化等工艺)编号本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种方法,用以动态显示机台运作流程,所述方法包含:检索日志,所述日志记录机台的运作事项;解析所述机台的运作事项;将解析的机台运作事项以预定格式存储于文字文件中;检索所述机台的图形文件,所述图形文件包括所述机台的运作单元的相对布置;和使所述文字文件中所述运作事项与所述图形文件中所述运作单元相对应。

【技术特征摘要】
1.一种方法,用以动态显示机台运作流程,所述方法包含:检索日志,所述日志记录机台的运作事项;解析所述机台的运作事项;将解析的机台运作事项以预定格式存储于文字文件中;检索所述机台的图形文件,所述图形文件包括所述机台的运作单元的相对布置;和使所述文字文件中所述运作事项与所述图形文件中所述运作单元相对应。2.根据权利要求1所述的方法,其中解析所述机台的运作事项的步骤包含:解译所述日志中与所述机台的运作单元相关的运作事项;和分析与所述运作单元相关的运作事项的处理时间。3.根据权利要求2所述的方法,其中所述相对应的步骤包含:使所述文字文件中所述运作单元的处理时间和运作事项与所述图形文件中所述运作单元的相对布置相对应。4.根据权利要求1所述的方法,进一步包含:产生动画文件以呈现所述运作单元于运作时段中的个别运作事项。5.一种系统,用以动态显示机台运作流程,所述系统包含:日志解析模块,用以解析日志并以预定格式产生文字文件,所述日志记录机台的运作事项;和地图编辑模块,对应于所述文字文件,取得与所述日志相关的...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨凯珽柯力仁沈香吟
申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:中国台湾,71

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