一种真空镀膜机使用的试样旋转装置及其镀膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及工程电介质技术领域，具体为一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，包括真空腔体和镀膜系统；所述真空腔体上设置有法兰接线柱，所述法兰接线柱通过导线与设置在真空腔体内部的集电环电连接，所述集电环上端与一组法兰连接，所述集电环下端与设置在所述真空腔体内的镀膜系统连接，所述法兰上方还设置有一组磁流体，所述磁流体上方设置有一组驱动转轮，所述驱动转轮从上到下依次穿过所述磁流体、所述法兰和所述集电环并与所述镀膜系统连接；本发明专利技术对传统镀膜机所做的改动旨在缩短其对片状试样两面进行真空镀膜的时间、提高实验效率。

Sample rotation device for vacuum coating machine and its coating method

The invention relates to the field of Engineering Dielectric technology, specifically a sample rotation device used by a vacuum coating machine, including a vacuum cavity and a coating system. The vacuum chamber is provided with a flange connection column, the flange connection column is electrically connected with a collector ring arranged in the vacuum chamber through a wire, and the upper end of the ring collector ring. Connected to a set of flanges, the lower end of the electric ring is connected with a coating system arranged in the vacuum chamber, and a group of magnetic fluids are arranged above the flange, and a group of driving wheels are arranged above the magnetic fluid, and the driving wheel passes through the magnetic flow body, the flange and the collector ring from up and down, and with the electric ring. The coating system is connected, and the change of the traditional coating machine is designed to shorten the time of vacuum coating on the two sides of the sheet sample and improve the efficiency of the experiment.

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机使用的试样旋转装置及其镀膜方法
本专利技术涉及工程电介质
，尤其涉及一种真空镀膜机使用的试样旋转装置及其镀膜方法。
技术介绍
在工程电介质领域，测量材料电性能时经常需要将材料制成薄片，并在其两端喷镀金属电极。本专利技术主要应用于电介质领域对材料介电性能研究实验的前期准备工作过程中，设计了一种真空镀膜机使用的试样旋转装置用以提高镀膜工作的工作效率。在对片状试样进行真空镀膜时，实验者完成一面镀膜后需要对真空腔体进行去真空，再由人工将试样翻面进而完成另一面的镀膜工作，如此耗时长且操作繁琐，不利于提高实验效率。
技术实现思路
本专利技术克服了上述现有技术的不足，提供了一种真空镀膜机使用的试样旋转装置及其镀膜方法。本专利技术对传统镀膜机所做的改动旨在缩短其对片状试样两面进行真空镀膜的时间、提高实验效率。本专利技术的技术方案：一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，包括真空腔体和镀膜系统；所述真空腔体上设置有法兰接线柱，所述法兰接线柱通过导线与设置在真空腔体内部的集电环电连接，所述集电环上端与一组法兰连接，所述集电环下端与设置在所述真空腔体内的镀膜系统连接，所述法兰上方还设置有一组磁流体，所述磁流体上方设置有一组驱动转轮，所述驱动转轮从上到下依次穿过所述磁流体、所述法兰和所述集电环并与所述镀膜系统连接。进一步的，所述镀膜系统包括悬空臂，所述悬空臂上端与所述驱动转轮连接，所述悬空臂上分别设置有两组安装臂，两组安装臂下端分别设置有上固定夹和下固定夹，所述上固定夹和所述下固定夹之间设置有镀膜板，所述上固定夹和下固定夹还与一组转轴连接，所述转轴设置在所述左安装臂下端的轴承内，所述转轴外端设置有驱动扭簧，所述驱动扭簧一端与所述转轴固定连接，另一端与所述安装臂固定连接，所述转轴端部加工有两组对称设置的卡槽，位于上方的卡槽上方设置有一组阻挡臂，所述阻挡臂上设置有与所述卡槽配合的卡紧块，所述阻挡臂一端与安装臂活动连接，所述阻挡臂还与一组磁性驱动装置连接；所述转轴端部还设置有一组限臂，所述限臂贯穿所述转轴端部，所述转轴旁侧还设置有一组档位柱。进一步的，所述磁性驱动装置包括一组推拉式电磁铁，所述推拉式电磁铁通过导线与集电环电连接，所述悬空臂上加工有容纳导线的线孔，所述推拉电磁铁的活动端与所述阻挡臂连接。一种真空镀膜机使用的试样旋转装置的镀膜方法，该方法包括如下步骤：步骤a：一次镀膜：通过上固定夹和下固定夹将镀膜板固定；镀膜板固定后，绕转轴旋转，让驱动弹簧处于工作状态；步骤b：转动过程中，将档位柱拆下；步骤c：驱动弹簧受力后用阻挡臂卡住；在阻挡臂卡住转轴上的卡槽后将档位柱安装上，步骤d：在第一次镀膜时，打开外界的转轮开关，实现水平转动；步骤e：第一次镀膜后，关闭转轮开关，打开推拉式电磁铁开关；法兰接线柱给真空腔内部的推拉式电磁铁提供电量；推拉式电磁铁将阻挡臂拉起，弹簧带动镀膜板转动；步骤f：在镀膜板转动过程中最终限位臂与档位柱接触；相应的在限位臂与档位柱接触后，用推拉式电磁铁将阻挡臂推回，与卡槽紧扣；步骤g：进行第二次镀膜；相应的旋转镀膜一面后通过翻面进行第二次镀膜，完成镀膜工作。本专利技术相对于现有技术具有以下有益效果：本专利技术提供一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，通过将镀膜板在真空腔内旋转，实现了一次抽真空，两面镀膜；各种器件均为现有技术中常见器件，改造成本不高，改良后可以有效的节约时间，提高效率；本专利技术工作于真空腔内部，可以实现真空腔真空状态下试样的翻面，避免了去真空、二次抽真空等过程，能有效地节省实验时间并简化实验步骤，具有较高的使用价值。附图说明图1是本专利技术的结构示意图；图2是本专利技术的镀膜系统的结构示意图；图3是本专利技术的转轮与镀膜系统连接示意图；图4是本专利技术的转轴部分放大图；图中1-转轮；2-磁流体；3-法兰；4-集电环；5-悬空臂；6-线孔；7-导线；8-推拉式电磁铁；9-阻挡臂；10-限臂；11-转轴；12-档位柱；13-镀膜板；14-上固定夹；15-下固定夹；16-弹簧；17-卡槽；18-真空腔；19-法兰接线柱。具体实施方式以下将结合附图对本专利技术进行详细说明。结合图1-图4示，本实施例公开的一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，包括真空腔18和镀膜系统；所述真空腔18上设置有法兰接线柱19，所述法兰接线柱19通过导线7与设置在真空腔18内部的集电环4电连接，所述集电环4上端与一组法兰3连接，所述集电环4下端与设置在所述真空腔18内的镀膜系统连接，所述法兰3上方还设置有一组磁流体2，所述磁流体2上方设置有一组转轮1，所述转轮1从上到下依次穿过所述磁流体2、所述法兰3和所述集电环4并与所述镀膜系统连接。具体的，所述镀膜系统包括悬空臂5，所述悬空臂5上端与所述转轮1连接，所述悬空臂5上分别设置有两组安装臂，两组安装臂下端分别设置有上固定夹14和下固定夹15，所述上固定夹14和所述下固定夹15之间设置有镀膜板13，所述上固定夹14和下固定夹15还与一组转轴11连接，所述转轴11设置在所述安装臂下端的轴承内，所述转轴11外端设置有弹簧16，所述弹簧16一端与所述转轴11固定连接，另一端与所述安装臂固定连接，所述转轴11端部加工有两组对称设置的卡槽17，位于上方的卡槽17上方设置有一组阻挡臂9，所述阻挡臂9上设置有与所述卡槽17配合的卡紧块，所述阻挡臂9一端与安装臂活动连接，所述阻挡臂9还与一组磁性驱动装置连接；所述转轴11端部还设置有一组限臂10，所述限臂10贯穿所述转轴11端部，所述转轴11旁侧还设置有一组档位柱12。具体的，所述磁性驱动装置包括一组推拉式电磁铁8，所述推拉式电磁铁8通过导线7与集电环4电连接，所述悬空臂5上加工有容纳导线的线孔6，所述推拉式电磁铁8的活动端与所述阻挡臂9连接。一种真空镀膜机使用的试样旋转装置的镀膜方法，该方法包括如下步骤：步骤a：一次镀膜：通过上固定夹14和下固定夹15将镀膜板13固定；镀膜板13固定后，绕转轴11旋转，让驱动弹簧16处于工作状态；步骤b：转动过程中，将档位柱12拆下；步骤c：驱动弹簧16受力后用阻挡臂9卡住；在阻挡臂9卡住转轴11上的卡槽17后将档位柱12安装上，步骤d：在第一次镀膜时，打开外界的转轮1开关，实现水平转动；步骤e：第一次镀膜后，关闭转轮1开关，打开推拉式电磁铁8开关；法兰接线柱19给真空腔内部的推拉式电磁铁8提供电量；推拉式电磁铁8将阻挡臂9拉起，弹簧16带动镀膜板13转动；步骤f：在镀膜板13转动过程中最终限位臂与档位柱12接触；相应的在限位臂与档位柱12接触后，用推拉式电磁铁8将阻挡臂9推回，与卡槽17紧扣；步骤g：进行第二次镀膜；相应的旋转镀膜一面后通过翻面进行第二次镀膜，完成镀膜工作。本专利技术的工作过程：将试样放在镀膜板13上，用固定夹14和15将其固定，水平放置在悬空臂5上，使其成为一体，整个镀膜板13以转轴11转动，带动弹簧16，在转动过程中给镀膜板13和转轴11复合结构一个转力，扣紧悬空臂5两端的阻挡臂9让镀膜板13固定保持在水平面上，将铝粒放到钨丝结成网的容器里，关闭真空腔；接着对腔体通过通气孔抽真空，达到实验要求的气压；达到要求后，进行试样第一次镀膜，打开转轮1带动整个系统转动，第一次镀膜结束后，关闭转轮1转动开关。打开控制推拉式电磁铁8开关，悬空本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，其特征在于，包括真空腔(18)和镀膜系统；所述真空腔(18)上设置有法兰接线柱(19)，所述法兰接线柱(19)通过导线(7)与设置在真空腔(18)内部的集电环(4)电连接，所述集电环(4)上端与一组法兰(3)连接，所述集电环(4)下端与设置在所述真空腔(18)内的镀膜系统连接，所述法兰(3)上方还设置有一组磁流体(2)，所述磁流体(2)上方设置有一组转轮(1)，所述转轮(1)从上到下依次穿过所述磁流体(2)、所述法兰(3)和所述集电环(4)并与所述镀膜系统连接。

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，其特征在于，包括真空腔(18)和镀膜系统；所述真空腔(18)上设置有法兰接线柱(19)，所述法兰接线柱(19)通过导线(7)与设置在真空腔(18)内部的集电环(4)电连接，所述集电环(4)上端与一组法兰(3)连接，所述集电环(4)下端与设置在所述真空腔(18)内的镀膜系统连接，所述法兰(3)上方还设置有一组磁流体(2)，所述磁流体(2)上方设置有一组转轮(1)，所述转轮(1)从上到下依次穿过所述磁流体(2)、所述法兰(3)和所述集电环(4)并与所述镀膜系统连接。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机使用的试样旋转装置，其特征在于，所述镀膜系统包括悬空臂(5)，所述悬空臂(5)上端与所述转轮(1)连接，所述悬空臂(5)上分别设置有两组安装臂，两组安装臂下端分别设置有上固定夹(14)和下固定夹(15)，所述上固定夹(14)和所述下固定夹(15)之间设置有镀膜板(13)，所述上固定夹(14)和下固定夹(15)还与一组转轴(11)连接，所述转轴(11)设置在所述安装臂下端的轴承内，所述转轴(11)外端设置有弹簧(16)，所述弹簧(16)一端与所述转轴(11)固定连接，另一端与所述安装臂固定连接，所述转轴(11)端部加工有两组对称设置的卡槽(17)，位于上方的卡槽(17)上方设置有一组阻挡臂(9)，所述阻挡臂(9)上设置有与所述卡槽(17)配合的卡紧块，所述阻挡臂(9)一端与安装臂活动连接，所述阻挡臂(9)还与一组磁性驱动装置连接；所述转轴(11)端部还设置有一...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩柏，吕雪松，王健宇，高鑫，孙志，
申请(专利权)人：哈尔滨理工大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23