一种静电消除器制造技术

本发明专利技术公开了一种静电消除器，包括：具有通孔的基体；电极针，安装在通孔内，电极针和通孔的孔壁之间形成气体通道；和微粒过滤件，设置在气体通道内，用于对通过气体通道的气体进行过滤、以去除气体中的微粒，避免微粒对面板产生负面影响。

An electrostatic eliminator

The present invention discloses an electrostatic eliminator, including a matrix with a through hole; an electrode needle is installed in a through hole, a gas channel is formed between the electrode needle and the hole wall of the through hole; and a particle filter is set in the gas channel to filter the gas through the gas channel to remove the particles in the gas and avoid the particles in the gas. Particles have a negative impact on the panel.

【技术实现步骤摘要】
一种静电消除器
本文涉及电子
，尤指一种静电消除器。
技术介绍
随着电子行业的制程越来越高，对微粒和静电的管控也越来越严格。静电消除器普遍用于面板行业，用来消除静电对面板的影响。但是现有的静电消除器，均要求供气端供入的高压气体是无尘的，然而在通入高压气体时静电消除器存在产尘的情况(即：微粒)，如果发生自身运作产尘，微粒会对面板产生很大的影响。
技术实现思路
为了解决上述技术问题中的至少之一，本文提供了一种静电消除器，可在通入高压气体时清除微粒，避免微粒对面板产生负面影响。本文提供的静电消除器，包括：具有通孔的基体；电极针，安装在所述通孔内，所述电极针和所述通孔的孔壁之间形成气体通道；和微粒过滤件，设置在所述气体通道内，用于对通过所述气体通道的气体进行过滤、以去除气体中的微粒。可选地，所述微粒过滤件的过滤孔径不大于0.1μm。可选地，所述通孔的孔壁上设置有环形的卡槽，所述微粒过滤件呈环形状，所述微粒过滤件的外边缘定位在所述卡槽内、内边缘抵在所述电极针的侧面上设置的防护件上。可选地，所述通孔内设置有安装座，所述电极针固定在所述安装座上，所述微粒过滤件设置在所述安装座和所述通孔的孔壁之间。可选地，所述通孔的孔壁上设置有环形的卡槽，所述微粒过滤件呈环形状，所述微粒过滤件的外边缘定位在所述卡槽内、内边缘抵在所述安装座的外侧面上。可选地，所述通孔包括进口和出口，所述安装座分隔所述通孔的进口成两个子口，两个所述子口的口壁上均设置有环形的卡槽，所述微粒过滤件包括两个，两个所述微粒过滤件的边缘一一对应定位在两个所述卡槽内。可选地，所述基体包括：环形的上基体；和环形的下基体，与所述上基体组装在一起、并合围成所述卡槽。可选地，所述上基体的下端设置有内螺纹，所述下基体的上端设置有外螺纹，所述内螺纹与所述外螺纹相旋紧。可选地，所述静电消除器还包括：支撑件，所述微粒过滤件通过所述支撑件安装在所述气体通道内。可选地，所述支撑件为支撑网，所述微粒过滤件为过滤网。可选地，所述基体为喷嘴。与现有技术相比，本专利技术提供的静电消除器，包括：具有通孔的基体；电极针，安装在通孔内，电极针和通孔的孔壁之间形成气体通道；和微粒过滤件，设置在气体通道内，用于对通过气体通道的气体进行过滤、以去除气体中的微粒，避免微粒对面板产生负面影响。进一步地，通孔内设置有安装座，电极针固定在安装座上，微粒过滤件设置在安装座和通孔的孔壁之间，微粒过滤件与电极针非直接接触，避免使用时微粒过滤件被电极针的高压所烧坏。本文的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本文而了解。本文的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。附图说明附图用来提供对本文技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本文的技术方案，并不构成对本文技术方案的限制。图1为本专利技术一个实施例所述的静电消除器的剖面结构示意图；图2为图1所示的静电消除器的分解结构局部示意图；图3为图2中的A-A剖视结构示意图。其中，图1至图3中附图标记与部件名称之间的对应关系为：11上基体，12下基体，2电极针，3气体通道，4微粒过滤件，5卡槽，6安装座，7支撑件，8子口。具体实施方式为使本文的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本文的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本文，但是，本文还可以采用其他不同于在此描述的方式来实施，因此，本文的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。下面结合附图描述本文一些实施例的静电消除器。本专利技术实施例提供的静电消除器，如图1所示，包括：具有通孔的基体；电极针2，安装在通孔内，电极针2和通孔的孔壁之间形成气体通道3；和微粒过滤件4，设置在气体通道3内、并与电极针2相间隔(即：二者不接触，防止电极针2静电击穿微粒过滤件4)，用于对通过气体通道3的气体进行过滤、以去除气体中的微粒。本专利技术提供的静电消除器，包括：具有通孔的基体；电极针2，安装在通孔内，电极针2和通孔的孔壁之间形成气体通道3；和微粒过滤件4，设置在气体通道3内，用于对通过气体通道3的气体进行过滤、以去除气体中的微粒，避免微粒对面板产生负面影响。可选地，微粒过滤件4的过滤孔径不大于0.1μm，其过滤微粒效果可达到99％，保证排出气体的洁净度，为面板的质量提供保障。同时也防止微粒进入到洁净室内。本专利技术的第一个具体实施例中，通孔的孔壁上设置有环形的卡槽5，微粒过滤件4呈环形状，微粒过滤件4的外边缘定位在卡槽5内、内边缘抵在电极针2的侧面上设置的防护件上(此方案图中未示出)。当然，微粒过滤件4也可以采用其他方式固定在气体通道3内，如螺纹固定等的方式，均可实现本申请的目的，其宗旨未脱离本专利技术的设计思想，在此不再赘述，均应属于本申请的保护范围内。为了防止静电击穿，电极针2和微粒过滤件4之间设置了防护件。具体地，基体包括：环形的上基体11；和环形的下基体12，与上基体11组装在一起、并合围成卡槽5，拆开上基体11和下基体12即可更换微粒过滤件4，其实用性更好。本专利技术的第二个具体实施例中，如图1所示，通孔内设置有安装座6，电极针2固定在安装座6上，微粒过滤件4设置在安装座6和通孔的孔壁之间。通孔内设置有安装座6，电极针2固定在安装座6上，微粒过滤件4设置在安装座6和通孔的孔壁之间，微粒过滤件4与电极针2非直接接触，避免使用时微粒过滤件4被电极针2的高压所烧坏。进一步地，通孔的孔壁上设置有环形的卡槽5，微粒过滤件4呈环形状，微粒过滤件4的外边缘定位在卡槽5内、内边缘抵在安装座6的外侧面上(此方案图中未示出)。或者是，如图2和图3所示，所述通孔包括进口和出口，所述安装座6分隔所述通孔的进口成两个子口8，两个所述子口8的口壁上均设置有环形的卡槽5，所述微粒过滤件4包括两个(其形状与卡槽的形状相匹配，可以是圆形状、方形状等)，两个所述微粒过滤件4的边缘一一对应定位在两个所述卡槽5内。当然，微粒过滤件4也可以采用其他方式进行固定，如螺纹固定等的方式，均可实现本申请的目的，其宗旨未脱离本专利技术的设计思想，在此不再赘述，均应属于本申请的保护范围内。具体地，如图1和图2所示，基体包括：环形的上基体11；和环形的下基体12，与上基体11组装在一起、并合围成卡槽5，拆开上基体11和下基体12即可更换微粒过滤件4，能大大降低更换时间，而且微粒过滤件4的成本也较低，其实用性更好。进一步地，如图2所示，上基体11的下端设置有内螺纹，下基体12的上端设置有外螺纹，内螺纹与外螺纹相旋紧、以组装好上基体11和下基体12。或者是，上基体11的下端设置有卡扣，下基体12的上端设置有卡槽5，卡扣与卡槽5相扣合、以组装好上基体11和下基体12。再进一步地，如图1所示，静电消除器还包括：支撑件7，微粒过滤件4通过支撑件7安装在卡槽5内，以对微粒过滤件4进行支撑，防止其变形而造成过滤能力降低。具体地，支撑件7为支撑网，微粒过滤件4为过滤网，基体为喷嘴。综上所述，本专利技术提供的静电消除器，包括：具有通孔的基体；电极针，安装在通孔内，电极针和通孔的孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种静电消除器，其特征在于，包括：具有通孔的基体；电极针，安装在所述通孔内，所述电极针和所述通孔的孔壁之间形成气体通道；和微粒过滤件，设置在所述气体通道内，用于对通过所述气体通道的气体进行过滤、以去除气体中的微粒。

【技术特征摘要】
1.一种静电消除器，其特征在于，包括：具有通孔的基体；电极针，安装在所述通孔内，所述电极针和所述通孔的孔壁之间形成气体通道；和微粒过滤件，设置在所述气体通道内，用于对通过所述气体通道的气体进行过滤、以去除气体中的微粒。2.根据权利要求1所述的静电消除器，其特征在于，所述微粒过滤件的过滤孔径不大于0.1μm。3.根据权利要求1所述的静电消除器，其特征在于，所述通孔内设置有安装座，所述电极针固定在所述安装座上，所述微粒过滤件设置在所述安装座和所述通孔的孔壁之间。4.根据权利要求3所述的静电消除器，其特征在于，所述通孔的孔壁上设置有环形的卡槽，所述微粒过滤件呈环形状，所述微粒过滤件的外边缘定位在所述卡槽内、内边缘抵在所述安装座的外侧面上。5.根据权利要求3所述的静电消除器，其特征在于，所述通孔包括进口和出口，所述安装座分...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘夜明，王劼，耿松，金鑫，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，成都京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11