气体切换系统技术方案

一种气体切换系统包含：气体切换单元及处理模块。气体切换单元连接能提供不同种类气体的多个气体供应设备；两个所述气体供应设备分别提供氮气及超洁净气体。气体切换单元连接主进气管路，气体切换单元能受控制而选择性地使其中一个气体供应设备所提供的气体，进入主进气管路；主进气管路的一端连接至待充气空间。处理模块电性连接气体切换单元，处理模块能接受开门信号或关门信号；处理模块分别接收开门信号及关门信号时，能控制气体切换单元作业，以使主进气管路由排出氮气转换为排出超洁净气体及由排出超洁净气体转换为排出氮气。

Gas switching system

A gas switching system includes a gas switching unit and a processing module. The gas switching unit connects a plurality of gas supply devices that can provide different kinds of gases; the two gas supply devices provide nitrogen and ultra-clean gases respectively. The gas switching unit connects the main intake pipe, and the gas switching unit can be controlled and selectively enable the gas supplied by one of the gas supply equipment to enter the main intake pipe; one end of the main intake pipe is connected to the inflatable space. The processing module can connect the electrical connection gas switching unit, the processing module can accept the opening signal or the door signal. When the processing module receives the door signal and the gate signal respectively, the processing module can control the operation of the gas switching unit, so as to convert the exhaust gas from the main inlet to discharge super clean gas and convert the discharged clean gas into the discharge. Nitrogen.

【技术实现步骤摘要】
气体切换系统
本技术涉及一种气体切换系统，特别是一种能依据所接收不同信号，以进行气体切换的气体切换系统。
技术介绍
晶圆片属于高精密的组件，因此，现今晶圆片多是利用晶圆盒(FOUP)承装及运送，且相关厂商为了维持晶圆片的稳定，多会于晶圆盒中填充特定气体，例如氮气(N2)或是超洁净气体(XCDA)。然，在晶圆盒被开启以取出晶圆片、置放晶圆片、待传送前等的过程中，晶圆盒中的环境状态例如温度、湿度，可能受外部环境影响，进而可能会影响晶圆片。因此，如何避免晶圆片在运送或是被作业的过程中，受外部环境影响成为了相关厂商极需解决的问题之一。缘此，本技术人乃潜心研究并配合学理的运用，而提出一种设计合理且有效改善上述问题的本技术。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种气体切换系统，在晶圆盒被开启时，能实时地切换供应至晶圆盒中的气体种类，以维持晶圆盒内原本的温、湿度，以改善现有技术中，晶圆盒开启后，晶圆盒中的环境容易被影响的问题。为了实现上述目的，本技术提供一种气体切换系统，其包含：一气体切换单元，其连接多个气体供应设备，多个所述气体供应设备分别提供彼此不同种类的气体，且所述气体切换单元连接一主进气管路，所述气体切换单元能受控制而选择性地使其中一个所述气体供应设备所提供的气体，进入所述主进气管路；所述主进气管路的一端连接至一待充气空间；其中，两个所述气体供应设备分别提供氮气及超洁净气体；一处理模块，其电性连接所述气体切换单元，所述处理模块能接受一开门信号或一关门信号；所述处理模块接收所述开门信号时，能控制所述气体切换单元进行气体切换作业，以使所述主进气管路由排出氮气转换为排出超洁净气体；所述处理模块接收所述关门信号时，能控制所述气体切换单元进行气体切换作业，以使所述主进气管路由排出超洁净气体转换为排出氮气。优选地，所述处理模块能控制所述气体切换单元所输出的气体流量，所述处理模块接收所述开门信号时，所述处理模块能控制所述气体切换单元，而使所述主进气管路由输出一第一流量的氮气，转换为输出一第二流量的超洁净气体，所述第二流量大于所述第一流量。优选地，所述外部设备为一晶圆载具平台，所述晶圆载具平台包含有一感测单元，所述晶圆载具平台用以承载一晶圆载具，所述晶圆载具内部具有一容置空间，所述容置空间用以容置至少一个晶圆，所述容置空间即为所述待充气空间；所述晶圆载具平台的一控制模块，能选择性地控制所述晶圆载具的一活动门，以使所述待充气空间与位于所述晶圆载具平台一侧的一主机空间相连通；所述感测单元用以感测所述活动门的启闭状态，以对应产生所述开门信号或所述关门信号。优选地，所述外部设备为一晶圆载具平台，所述晶圆载具平台用以承载一晶圆载具，所述晶圆载具内部具有一容置空间，所述容置空间用以容置至少一个晶圆，所述容置空间即为所述待充气空间；所述晶圆载具平台的一控制模块，能选择性地控制所述晶圆载具的一活动门，以使所述待充气空间与位于所述晶圆载具平台一侧的一主机空间相连通；当所述控制模块控制所述活动门开启，以使所述待充气空间与所述主机空间相连通时，所述控制模块能传递所述开门信号至所述处理模块；当所述控制模块控制所述活动门关闭，以使所述待充气空间与所述主机空间相连通时，所述控制模块能传递所述关门信号至所述处理模块。优选地，所述气体切换单元能依据各个所述气体供应设备与所述主进气管路相连通的状态，而对应产生一连通状态数据，所述处理模块接收所述开门信号或是所述关门信号时，能依据所述连通状态数据，而选择性地控制所述气体切换单元进行气体切换作业，以切换由所述主进气管路进入所述待充气空间的气体种类。优选地，所述主进气管路邻近于所述气体切换单元的位置，连接有一副进气管路，而通过所述气体切换单元的气体能同时进入所述主进气管路及所述副进气管路；所述主进气管路设置有一气动开关单元，所述气动开关单元与所述副进气管路的另一端相连通，所述气动开关单元能选择性地阻断所述主进气管路的连通；所述副进气管路设置有一电动开关单元，所述电动开关单元能选择性地阻断所述副进气管路的连通；其中，所述电动开关单元受控制而使所述副进气管路的两端相连通时，通过所述副进气管路的气体，能驱使所述气动开关单元开启，而使通过所述气体切换单元的气体能通过所述主进气管路进入所述待充气空间中。优选地，所述气体切换系统还包含有一排气模块，其包含有一排气管路及一排气单元，所述排气管路与所述待充气空间相连接，所述排气单元能受所述处理模块控制，而选择性地使所述待充气空间的气体向外排出；所述处理模块接收所述开门信号或所述关门信号，而使所述气体切换单元切换进入所述主进气管路的气体种类时，所述处理模块能同时控制所述排气模块，而使所述排气单元将所述待充气空间中的气体，通过所述排气管路向外排出。优选地，所述排气模块还包含有一辅助排气单元，其设置于所述排气管路，所述辅助排气单元与所述主进气管路相连通，而部份所述主进气管路的气体能进入所述辅助排气单元，所述辅助排气单元能与所述排气单元相互配合，以使所述排气管路呈现为负压状态。优选地，所述排气模块还包含有一调节单元，其连接所述主进气管路及所述辅助排气单元，所述调节单元能调节由所述主进气管路进入所述辅助排气单元的气体流量。为了实现上述目的，本技术还提供一种气体切换系统，其包含：两个气体切换单元，其分别连接一气体供应设备，两个所述气体切换单元连接的所述气体供应设备，分别提供氮气及超洁净气体，各个所述气体切换单元连接一主进气管路；两个所述气体切换单元所连接的所述主进气管路的一端连接至一待充气空间；一处理模块，其电性连接两个所述气体切换单元，所述处理模块能接受一开门信号或一关门信号；所述处理模块接收所述开门信号时，能控制两个所述气体切换单元，以使所述气体供应设备提供的氮气不进入相对应的所述主进气管路，并使所述气体供应设备提供的超洁净气体进入相对应的所述主进气管路；所述处理模块接收所述关门信号时，能控制两个所述气体切换单元，以使所述气体供应设备提供的超洁净气体不进入相对应的所述主进气管路，并使所述气体供应设备提供的氮气进入相对应的所述主进气管路。本技术的有益效果可以在于：处理模块能在接收开门信号时，控制气体切换单元进行气体切换，以对晶圆盒内部充入超洁净气体(XCDA)；处理模块能在接收关门信号时，控制气体切换单元进行气体切换，以对晶圆盒内部充入氮气。换言之，可在晶圆盒的活动门被开启时，其内部被填充有超洁净气体(XCDA)，而在晶圆盒的活动门被关闭时，其内部被填充有氮气，如此，可有效避免晶圆片在运送或是被作业的过程中受外部环境影响。为使能更进一步了解本技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本技术加以限制者。附图说明图1为本技术的气体切换系统的第一实施例的方块示意图。图2为本技术的气体切换系统应用于晶圆载具平台的示意图。图3为本技术的气体切换系统应用于晶圆载具平台的方块示意图。图4为本技术的气体切换系统应用于晶圆载具平台的另一实施例的方块示意图。图5为本技术的气体切换系统应用于晶圆载具平台的另一实施例的方块示意图。图6为本技术的气体切换系统应用于晶圆载具平台本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体切换系统，其特征在于，所述气体切换系统包含：一气体切换单元，其连接多个气体供应设备，多个所述气体供应设备分别提供彼此不同种类的气体，且所述气体切换单元连接一主进气管路，所述气体切换单元能受控制而选择性地使其中一个所述气体供应设备所提供的气体，进入所述主进气管路；所述主进气管路的一端连接至一待充气空间；其中，两个所述气体供应设备分别提供氮气及超洁净气体；以及一处理模块，其电性连接所述气体切换单元，所述处理模块能接受一外部设备传递的一开门信号或一关门信号；所述处理模块接收所述开门信号时，能控制所述气体切换单元进行气体切换作业，以使所述主进气管路由排出氮气转换为排出超洁净气体；所述处理模块接收所述关门信号时，能控制所述气体切换单元进行气体切换作业，以使所述主进气管路由排出超洁净气体转换为排出氮气。

【技术特征摘要】
1.一种气体切换系统，其特征在于，所述气体切换系统包含：一气体切换单元，其连接多个气体供应设备，多个所述气体供应设备分别提供彼此不同种类的气体，且所述气体切换单元连接一主进气管路，所述气体切换单元能受控制而选择性地使其中一个所述气体供应设备所提供的气体，进入所述主进气管路；所述主进气管路的一端连接至一待充气空间；其中，两个所述气体供应设备分别提供氮气及超洁净气体；以及一处理模块，其电性连接所述气体切换单元，所述处理模块能接受一外部设备传递的一开门信号或一关门信号；所述处理模块接收所述开门信号时，能控制所述气体切换单元进行气体切换作业，以使所述主进气管路由排出氮气转换为排出超洁净气体；所述处理模块接收所述关门信号时，能控制所述气体切换单元进行气体切换作业，以使所述主进气管路由排出超洁净气体转换为排出氮气。2.根据权利要求1所述的气体切换系统，其特征在于，所述处理模块能控制所述气体切换单元所输出的气体流量，所述处理模块接收所述开门信号时，所述处理模块能控制所述气体切换单元，而使所述主进气管路由输出一第一流量的氮气，转换为输出一第二流量的超洁净气体，所述第二流量大于所述第一流量。3.根据权利要求2所述的气体切换系统，其特征在于，所述外部设备为一晶圆载具平台，所述晶圆载具平台包含有一感测单元，所述晶圆载具平台用以承载一晶圆载具，所述晶圆载具内部具有一容置空间，所述容置空间用以容置至少一个晶圆，所述容置空间即为所述待充气空间；所述晶圆载具平台的一控制模块，能选择性地控制所述晶圆载具的一活动门，以使所述待充气空间与位于所述晶圆载具平台一侧的一主机空间相连通；所述感测单元用以感测所述活动门的启闭状态，以对应产生所述开门信号或所述关门信号。4.根据权利要求1所述的气体切换系统，其特征在于，所述外部设备为一晶圆载具平台，所述晶圆载具平台用以承载一晶圆载具，所述晶圆载具内部具有一容置空间，所述容置空间用以容置至少一个晶圆，所述容置空间即为所述待充气空间；所述晶圆载具平台的一控制模块，能选择性地控制所述晶圆载具的一活动门，以使所述待充气空间与位于所述晶圆载具平台一侧的一主机空间相连通；当所述控制模块控制所述活动门开启，以使所述待充气空间与所述主机空间相连通时，所述控制模块能传递所述开门信号至所述处理模块；当所述控制模块控制所述活动门关闭，以使所述待充气空间与所述主机空间相连通时，所述控制模块能传递所述关门信号至所述处理模块。5.根据权利要求1所述的气体切换系统，其特征在于，所述气体切换单元能依据各个所述气体供应设备与所述主进气管路相连通的状态，而对应产生一连通状态数据，所述处理模块接收所述开门信号或是所述关门信号时，能依据所述连通状态数据，而选择性地控制所述气体切换单元进行气体切换作业...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶秀珢，郑吉宸，蔡佳棋，李旻哲，林祺浩，古伊钧，
申请(专利权)人：华景电通股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾,71