分流系统技术方案

本发明专利技术提供一种配置的自由度较高并适合于集成化且降低了制造成本和维护成本的分流系统。一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割后的流量的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其中，该分流系统具有歧管(500)，其将单一流量分割为多个流量；以及多个流体控制装置(1M、1S)，该多个流体控制装置(1M、1S)相互分离并独立且相对于歧管(500)独立地形成，对多个流量分别进行控制，主装置(1M)具有通信部(102M)，该通信部(102M)向从装置(1S)发送基于设定流量比的设定流量值并接收从装置(1S)的流量检测值(DQ2)，从装置(1S)具有通信部(102S)，该通信部(102S)自主装置(1M)接收设定流量值并向主装置(1M)发送流量检测值(DQ2)。

Distributary system

The invention provides a shunt system with a higher degree of freedom of configuration, which is suitable for integration and reduces manufacturing cost and maintenance cost. A distributary system that divides a single flow into multiple flows and controls the flow rate by making the ratio of the separated flow into a set flow ratio, in which the diverter system has a manifold (500), which divides a single flow into multiple flows, and multiple fluid control devices (1M, 1S), and the multiple fluid control. The system (1M, 1S) is separated and independent and is independently formed relative to the manifold (500), and a plurality of traffic is controlled respectively. The main device (1M) has a communication unit (102M) that sends a set flow value based on a set flow ratio to a device (1S) and receives a flow detection value (DQ2) from the device (1S) from the device (1S), from the device (1S). Communication Department (102S), the communication department (102S) autonomous device (1M) receives the set flow value and sends the flow detection value (DQ2) to the main device (1M).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分流系统
本专利技术涉及分流系统、使用于该分流系统的流体控制装置、应用有分流系统的流体控制系统、以及该流体控制系统的制造方法。
技术介绍
在半导体制造工艺中，为了将准确地测量后的处理气体供给至工艺室，使用将开闭阀、质量流量控制器等各种流体控制装置集成化地容纳于箱体的流体控制系统(例如参照专利文献1)。将容纳有这样的集成化后的流体控制系统的箱体称作气箱，自该气箱的出口输出准确地测量后的处理气体。并且，在半导体制造工艺中，为了将如上述那样准确地测量后的处理气体均等地分配至多个工艺室或者以规定的比率分配至一个工艺室的多个部位而使用分流系统(例如参照专利文献2)。以往，借助管将上述气箱的出口连接于分流系统的入口，对自气箱供给的处理气体进行分配。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012－197941号公报专利文献2：日本特开2003－263230号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题以往，作为与气箱相连接的分流系统，使用了与分配数量相对应的专用的分流系统。因此，需要针对每个所要求的规格而准备专用的分流系统，存在成本较高这样的问题。另外，由于是与分配数量相对应的专用品，因此，在分流系统产生了故障的情况下，需要更换整个装置，从而还存在维护成本也较高这样的问题。例如，在专利文献1等的技术中，各流体控制装置的基座部的规格实现了标准化，各流体控制装置之间的连接以及各流体控制装置与其他零件之间的连接不借助管而是通过块状的接头构件来实现的。气箱内实现了集成化，各流体控制装置与接头构件之间的接口实现标准化，组装所需要的时间、组装的自动化不断发展。与此相反地，在分流系统中，由于使用管将气箱之间连接，因此组装工时较多，另外，组装的自动化也不容易。另外，即使在欲将分流系统主体紧挨着处理室的多个供给位置地配置的情况下，当多个供给位置之间分开时，分流系统与各供给位置之间需要管。即，在以往的分流系统中，难以任意地设定供给位置、供给的朝向，从而配置的自由度较低。本专利技术的目的之一在于，提供一种能够在分流系统与气体供给位置之间不追加管的情况下任意地设定流体的供给位置、供给方向从而提高配置的自由度的分流系统。本专利技术的目的之一在于，提供适合于集成化且降低了制造成本和维护成本的分流系统和使用于该分流系统的流体控制装置。本专利技术的目的之一在于，提供使用有上述分流系统的半导体制造方法。用于解决问题的方案本专利技术提供一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割后的流量间的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其特征在于，该分流系统具有：分支机构，其将单一流量分割为多个流量；以及多个流体控制装置，该多个流体控制装置相互分离并独立且相对于所述分支机构独立地形成，对所述多个流量分别进行控制，所述多个流体控制装置中的一个流体控制装置是主装置，余下的流体控制装置是从装置，所述主装置具有通信部，该通信部向所述从装置发送基于所述设定流量比的设定流量值并接收所述从装置的流量检测值，所述从装置具有通信部，该通信部自所述主装置接收所述设定流量值并向主装置发送所述流量检测值。优选的是，所述流体控制装置具有基座部，该基座部划分出分割后的多个流量中的一个流量的流入口、流路以及流出口，所述基座部形成为块状，所述基座部在作为设置面的底面形成有所述流入口和流出口。本专利技术提供一种流体控制装置，其特征在于，该流体控制装置包括使用于上述分流系统的主装置或从装置。本专利技术提供一种流体控制系统，其是使多种流体控制装置集成化而成的，其特征在于，所述多种流体控制装置的一部分是上述分流系统的主装置和从装置。本专利技术提供一种流体控制系统的制造方法，该流体控制系统是使多种流体控制装置集成化而成的，其特征在于，所述多种流体控制装置的一部分包括上述分流系统的主装置和从装置，在流体控制系统的制造方法中，将多个块状接头构件定位在共同的底板上，利用紧固构件将所述块状接头构件固定于所述共同的底板，将密封构件定位于在所述接头构件的上表面形成的开口的周围，将所述多种流体控制装置的底面定位于所述块状接头构件的上表面，利用紧固构件将所述多种流体控制装置的基座部固定于所述块状接头构件。本专利技术提供一种半导体制造方法，其特征在于，将上述分流系统使用于在半导体制造工艺中使用的流体的流量比控制中。本专利技术提供一种平板显示器的制造方法，其特征在于，将上述分流系统使用于在平板显示器的制造工艺中使用的流体的流量比控制中。本专利技术提供一种太阳能面板的制造方法，其特征在于，将上述分流系统使用于在太阳能面板的制造工艺中使用的流体的流量比控制中。专利技术的效果采用本专利技术，独立地形成了将单一流量分割为多个流量的分支机构和对多个流量分别进行控制的多个流体控制装置，另外，使多个流体控制装置相互分离并独立，因此能够任意地设定各流体控制装置的配置、朝向，显著地提高了配置的自由度。采用本专利技术，由于使多个流体控制装置相互分离并独立，因此，在系统产生了故障时等情况下，只要仅对产生故障的流体控制装置进行修理或更换即可，不需要更换整个分流系统，能够大幅降低维护成本。另外，采用本专利技术，通过在分流系统中使用的多个流体控制装置的块状的基座部的底面形成流入口和流出口，能够在接头不使用管的情况下构筑分流系统，还能够实现分流系统的集成化。并且，采用本专利技术，能够将分流系统应用于使流体控制装置集成化而成的流体控制系统，包括分流系统的流体控制系统的组装的自动化也变得容易。附图说明图1A是本专利技术的一实施方式的主侧流体控制装置的主视图。图1B是图1A的主侧流体控制装置的侧视图。图1C是将图1A的主侧流体控制装置的罩拆下而示出内部构造且示出基座部的纵截面的图。图1D是图2A的从侧流体控制装置的基座部的仰视图。图2A是本专利技术的一实施方式的从侧流体控制装置的主视图。图2B是图2A的从侧流体控制装置的侧视图。图2C是将图2A的从侧流体控制装置的罩拆下而示出内部构造且示出基座部的纵截面的图。图3A是具有本专利技术的一实施方式的分流系统的流体控制系统的外观立体图。图3B是从另一方向看图3A的流体控制系统的外观立体图。图4A是表示歧管块接头构件的一个例子的立体图。图4B是从另一方向看图4A的歧管块接头构件的立体图。图4C是图4A的歧管块接头构件的纵向剖视图。图5是块状接头构件的外观立体图。图6是本专利技术的一实施方式的分流系统的功能框图。图7是用于说明本专利技术的流体控制系统的制造方法(组装方法)的外观立体图。图8A是表示本专利技术的实施方式的流体控制系统的变形例的外观立体图。图8B是从另一方向看图7A的流体控制系统的外观立体图。图9A是表示本专利技术的实施方式的流体控制系统的另一变形例的外观立体图。图9B是从另一方向看图8A的流体控制系统的外观立体图。具体实施方式以下，参照附图来说明本专利技术的实施方式。在图1A～图1D中示出本专利技术的一实施方式的分流系统用的第1流体控制装置(以下，称作主装置)1M，在图2A～图2C中示出本专利技术的一实施方式的分流系统用的第2流体控制装置(以下，称作从装置)1S。主装置1M具有基座部10、设置在基座部10上的控制阀30和流量传感器40、覆盖控制阀30和流量传感器40的罩2、以及固定于罩2的内壁的电路基板12M。控制阀30包括驱动部31、凸缘部32以及阀部33，阀部33容纳于在形成于基座部1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割出的流量的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其特征在于，该分流系统具有：分支机构，其将单一流量分割为多个流量；以及多个流体控制装置，该多个流体控制装置相互分离并独立且相对于所述分支机构独立地形成，对所述多个流量分别进行控制，所述多个流体控制装置中的一个流体控制装置是主装置，余下的流体控制装置是从装置，所述主装置具有通信部，该通信部向所述从装置发送基于所述设定流量比的设定流量值并接收所述从装置的流量检测值，所述从装置具有通信部，该通信部自所述主装置接收所述设定流量值并向主装置发送所述流量检测值。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.08.26 JP 2015-1672591.一种分流系统，其将单一流量分割为多个流量，并以使分割出的流量的比成为设定流量比的方式对各流量进行控制，其特征在于，该分流系统具有：分支机构，其将单一流量分割为多个流量；以及多个流体控制装置，该多个流体控制装置相互分离并独立且相对于所述分支机构独立地形成，对所述多个流量分别进行控制，所述多个流体控制装置中的一个流体控制装置是主装置，余下的流体控制装置是从装置，所述主装置具有通信部，该通信部向所述从装置发送基于所述设定流量比的设定流量值并接收所述从装置的流量检测值，所述从装置具有通信部，该通信部自所述主装置接收所述设定流量值并向主装置发送所述流量检测值。2.根据权利要求1所述的分流系统，其特征在于，所述主装置具有流量计算部，该流量计算部根据自外部赋予的所述设定流量比来分别计算所述多个流体控制装置的设定流量值。3.根据权利要求1或2所述的分流系统，其特征在于，所述流量计算部根据所述设定流量比、所述主装置的流量检测值以及经由所述通信部取得的所述从装置的流量检测值来改变赋予所述从装置的设定流量值。4.根据权利要求1至3中任一项所述的分流系统，其特征在于，所述流体控制装置具有基座部，该基座部划分出分割出的多个流量中的一个流量的流入口、流路以及流出口，所述基座部形成为块状，所述基座部在作为设置面的底面形成有所述流入口和流出口。5.根据权利要求1至4中任一项所述的分流系统，其特征在于，所述分支机构包括将单一流量分割为多个流量的歧管。6.根据权利要求5所述的分流系统，其特征在于，所述歧管包括块状接头构件，该块状接头构件具有排列有多个开口的上表面，在该块状接头构件的内部形成有分别与所述多个开口相连通的多个分支流路和该多个分支流路共同连接的流路，所述主装置和从装置这两者的基座部通过紧固构件固定于所述块状接头构件，该主装置和从装置这两者的与底面的流入口相连通的流路连接于与该块状接头构件的上表面的开口相连通的流路。7.根据权利要求6所述的分流系统，其特征在于，该分流系统还具有多个块状接头构件，该块状接头构件具有供所述主装置的基座部的底面或所述从装置的基座部的底面设置的上表面，所述基座部通过紧固构...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村刚，金井良友，
申请(专利权)人：株式会社富士金，
类型：发明
国别省市：日本,JP