The present invention relates to a method for preparing columnar spacers, and is characterized by using a mask including a first, second, and third patterns with different transmittance rates. In addition, according to the method for preparing the columnar spacer of the present invention, the cone angle between the matrix portion and the spacer portion can be increased during the process of making the columnar spacer which is continuously connected to the matrix part and the spacer part, and the critical length of the spacer portion will be reduced. Therefore, a columnar spacer with fine patterns can be produced simply and efficiently.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】制备柱状间隔物的方法
本专利技术涉及一种用于制备柱状间隔物的方法,在制造包括连续连接的基质部分和间隔物部分的柱状间隔物时,通过增加基质部分和间隔物部分之间的锥角和通过减少间隔物的临界尺寸可以容易地获得精细图案。
技术介绍
近来,为了始终保持上下透明衬底之间的间隙,在液晶显示器(LCD)的液晶单元中采用使用感光性树脂组合物形成的间隔物。LCD是通过向注入两个透明衬底之间的恒定间隙中的液晶材料施加电压而驱动的电光装置,其中非常关键的是恒定地维持两个衬底之间的间隙。如果透明衬底之间的间隙不恒定,则施加到间隙不恒定的部分的电压和穿过所述部分的光的透射率可能变化,导致空间不均匀亮度的缺陷。根据最近对大尺寸LCD面板的需求,甚至更关键的是恒定地维持两个透明衬底之间的间隙。近来,引入使用具有全色调图案和半色调图案的掩模的方法来形成具有高度差的柱状间隔物(日本特开2009-58607)。然而,根据日本特开2009-58607,对应于掩模的全色调图案与半色调图案之间的边界形成的固化膜的图案轮廓在后烘烤后不会明显变得明确,并且难以实现精细的图案。此外,还进行了使用遮光材料用于柱状间隔物的努力,并且着色感光性树脂组合物的开发正在积极进行。已经尝试通过使用感光性树脂组合物将柱状间隔物和黑色基质整合成一个模块而形成的黑色柱状间隔物(遮光间隔物)来简化制造工艺。然而,在使用着色感光性树脂组合物制造具有高度差的柱状间隔物(其中柱状间隔物与黑色基质整合成一个模块的黑色柱状间隔物)的情况下,其间具有高度差的阶梯部分的边界处的锥角因遮光材料导致的光屏蔽效应可能变得缓和,从而导致间隔物部分的临 ...
【技术保护点】
1.一种制备柱状间隔物的方法,其中基质部分和从所述基质部分突出的间隔物部分一体成型,所述方法包含使用具有图案的掩模用光照射感光性树脂组合物的涂膜,然后进行显影,其中所述掩模包含(1)用于形成所述间隔物部分的第一图案;(2)用于形成所述基质部分的第二图案,所述第二图案与所述第一图案相邻定位并且具有比所述第一图案低的透光率;(3)位于所述第一图案与所述第二图案之间的边界处的第三图案,所述第三图案具有比所述第二图案低的透光率,以及所述掩模的所述第三图案在所述柱状间隔物的所述基质部分与所述间隔物部分之间的边界处形成从所述基质部分凹入的谷。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.19 KR 10-2015-0162300;2016.09.23 KR 10-2011.一种制备柱状间隔物的方法,其中基质部分和从所述基质部分突出的间隔物部分一体成型,所述方法包含使用具有图案的掩模用光照射感光性树脂组合物的涂膜,然后进行显影,其中所述掩模包含(1)用于形成所述间隔物部分的第一图案;(2)用于形成所述基质部分的第二图案,所述第二图案与所述第一图案相邻定位并且具有比所述第一图案低的透光率;(3)位于所述第一图案与所述第二图案之间的边界处的第三图案,所述第三图案具有比所述第二图案低的透光率,以及所述掩模的所述第三图案在所述柱状间隔物的所述基质部分与所述间隔物部分之间的边界处形成从所述基质部分凹入的谷。2.根据权利要求1所述的方法,其中所述第三图案的宽度是所述第一图案的宽度的14%到60%,并且所述第二图案的透光率是所述第一图案的透光率的15%到25%,并且所述第三图案的透光率是所述第二图案的透光率的0%到25%。3.根据权利要求1所述的方法,其中,在所述掩模的整个区域中,所述第一图案形成至少一个封闭区域,所述第三图案形成围绕所述第一图案的所述封闭区域的边界区域,并且所述第二图案形成除了所述第一图案和所述第三图案之外的其余区域。4.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:金莲玉,朴锡凤,崔庆植,李秀敏,
申请(专利权)人:罗门哈斯电子材料韩国有限公司,
类型:发明
国别省市:韩国,KR
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