探针卡和接触检查装置制造方法及图纸

为了在进行通电检查期间施加有高电流时，通过抑制探针的温度过度升高来降低探针的弹簧性能下降的风险并且改善通电检查的检查精度，根据本发明专利技术的探针卡(11)包括具有弹簧性能的探针(3)和保持该探针(3)的探针头(15)，其中探针头(15)具有以能够在轴向(Z)上移动的方式保持探针(3)的引导单元(27)，并且该引导单元(27)设置有中间引导部(57A、57B、57C)作为散热结构(29)，该散热结构(29)吸收探针(3)因通电而产生的热并且使该热流动到探针(3)的外部。

Probe card and contact inspection device

The probe card (11) of the invention includes a probe (3) having a spring performance (3) and a probe head (15) holding the probe (3) by inhibiting the excessive temperature rise of the probe to reduce the risk of the drop of the spring performance of the probe and improving the inspection accuracy of the probe. The needle (15) has a guiding unit (27) that can maintain a probe (3) in a way that can move on an axial (Z), and the guide unit (27) is provided with an intermediate guide (57A, 57B, 57C) as a heat dissipation structure (29), which absorbs the heat generated by the probe (3) for electricity and flows the heat to the outside of the probe (3).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】探针卡和接触检查装置
本专利技术涉及用于半导体集成电路的通电试验等的探针卡和包括该探针卡的接触检查装置。
技术介绍
接触检查装置在具有弹簧性能的导电探针与被检查对象的被检查部接触的状态下通过利用弹簧性能、以适当的压力对探针加压而建立了电连接状态。在该状态下传递电流并且进行检查的装置是接触检查装置。这种接触检查装置的现有技术的示例包括专利文献1至专利文献4中说明的装置。图9示出了传统探针头100的结构。探针头100主要包括总共七个部分：探针101、下板102、中间间隔件103、上板104、第一中间引导膜105、第二中间引导膜106和第三中间引导膜107。通过利用下板102、上板104、第一中间引导膜105、第二中间引导膜106和第三中间引导膜107这五个构件来保持探针101从而维持探针101的直线度。由第一中间引导膜105、第二中间引导膜106和第三中间引导膜107保持的范围被设定为除了探针101的弹簧作用出现的部分108之外的狭窄范围。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-162483号公报专利文献2：日本特开2006-3191号公报专利文献3：日本特开2014-44099号公报专利文献4：日本特开2015-148561号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在通电检查期间高电流施加到这样的接触检查装置上的情况增加。在高电流施加到接触检查装置时，产生大量的焦耳热并且探针的温度升高。弹簧性能随着上述探针的弹簧性能出现的部分的温度升高而劣化。弹簧性能的劣化使探针不能以适当的压力压靠被检查对象的被检查部，从而检查精度可能下降。然而，未考虑到归因于当通电检查期间施加高电流时所产生的焦耳热引起的探针温度升高的弹簧性能劣化的风险，这同样完全未在上述专利文献1至专利文献4中进行说明。为了维持探针101的直线度，设置图9中示出的第一中间引导膜105、第二中间引导膜106和第三中间引导膜107，从而导致利用与探针101接触面积小的现有构造的能够预期的极小的散热效果。本专利技术的目的是，即使在通电检查期间，在通过使用具有弹簧性能的导电探针对被检查对象进行通电检查的探针卡和包括该探针卡的接触检查装置中施加有高电流时，也能够降低探针的弹簧性能劣化的风险。用于解决问题的方案为了解决上述问题，根据本专利技术的第一方面的探针卡是包括具有弹簧性能的探针和保持所述探针的探针头的探针卡。所述探针头包括引导部，所述引导部以所述探针能够沿着轴向移动的方式保持所述探针。所述引导部包括散热结构，所述散热结构吸收所述探针因通电而产生的热并且使该热流动到所述探针的外部。根据该方面，引导部包括吸收探针的热并使该热流动到探针外部的散热结构。结果，即使在通电检查期间施加高电流时产生大量焦耳热并且探针的温度升高，该散热结构也吸收焦耳热并且将热散发到外部。因此，抑制了探针温度的升高，从而能够降低探针的弹簧性能下降的风险。根据本专利技术的第二方面的探针卡是根据第一方面的探针卡，其中在所述散热结构中，所述引导部的与所述探针相对的部分的至少一部分由高导热材料形成，所述高导热材料在远离所述探针的方向上散发和扩散所述探针中产生的热。这里，具体地，高导热材料的示例包括精细陶瓷基、可加工的陶瓷基、树脂基和聚酰亚胺基(不像膜一样薄并且具有厚度)材料。可以使用所述材料中的一种材料或者具有所述材料中的多种材料的组合的复合结构。注意，用于引导部的材料优选的是除了满足导热性、还满足电绝缘性、散热性和耐热性所要求的规格的材料，并且也是具有低线性膨胀系数的材料。根据该方面，在散热结构中，引导部的与探针相对的部分的至少一部分由高导热材料形成，该高导热材料在远离探针的方向上散发和扩散探针中产生的热。该构造允许引导部在通电检查期间引导探针的移动，并且允许焦耳热被高导热材料形成的引导部容易地吸收和散发。结果，抑制了探针温度的上升，从而能够降低探针的弹簧性能下降的风险。同样根据该方面，能够简化散热结构。无需赘言，散热结构不限于使用高导热材料的结构。根据本专利技术的第三专利技术的探针卡是根据第一方面或第二方面的探针卡，其中所述散热结构的吸热部的至少一部分处于与所述探针的弹簧性能出现的部分相对的位置。根据该方面，散热结构的吸热部的至少一部分处于与探针的弹簧性能出现的部分相对的位置，因而吸热部直接吸收产生自探针的弹簧性能出现的部分的焦耳热。因此，能够有效地抑制探针弹簧性能的下降。根据本专利技术的第四方面的探针卡是根据第一至第三方面中任一方面的探针卡，其中所述探针头包括：上引导部，所述上引导部具有用于保持所述探针的上部的上引导孔；下引导部，所述下引导部具有用于保持所述探针的下部的下引导孔；以及中间引导部，所述中间引导部位于所述上引导部与所述下引导部之间并且具有用于保持所述探针的中间部的中间引导孔，并且包括所述散热结构的引导部是所述中间引导部。根据该方面，探针被包括上引导部、下引导部以及位于上引导部与下引导部之间的中间引导部的多个引导部引导。因此，在通电检查期间以高精度引导探针并且抑制探针的温度升高的同时，能够降低弹簧性能下降的风险。根据本专利技术的第五方面的探针卡是根据第四方面的探针卡，其中包括所述散热结构的所述引导部在竖直方向被划分成多个引导部分。根据该方面，包括散热结构的中间引导部(具有中间引导孔的部分)在竖直方向上被划分成多个引导部分。这允许探针容易地被组装，从而改善探针卡的生产率。根据本专利技术的第六方面的探针卡是根据第一至第五方面中任一方面的探针卡，其中所述探针的弹簧性能由设置于形成所述探针的导电筒体的缝提供。在探针具有通过在形成探针的导电筒体的一部分中形成螺旋缝提供探针的弹簧性能的结构的情况下，存在这样的趋势：归因于特别是由焦耳热引起的温度升高，弹簧性能下降。根据该方面，能够有效地抑制具有这样结构的探针的因温度升高引起的弹簧性能下降。根据本专利技术的第七方面的探针卡是根据第六方面的探针卡，其中所述探针包括：筒体，所述筒体包括弹簧性能出现于套筒状的引导筒部的一部分的弹簧部；以及杆体，所述杆体被插入所述筒体、通过与所述引导筒部的一部分接合能够与所述筒体一起在轴向上移位并且具有导电性。根据该方面，在使用包括具有弹簧性能的筒体和插入筒体且具有导电性的柱塞的探针的探针卡中，能够获得与第六方面中相同的功能效果。即，能够有效地抑制因探针的温度升高引起的弹簧性能下降。根据本专利技术的第八方面的接触检查装置是如下所述的接触检查装置，该接触检查装置包括：载置部，所述载置部用于载置被检查对象；探针卡，所述探针卡包括具有弹簧性能的探针；以及驱动单元，所述驱动单元以所述载置部上的被检查对象的被检查部与所述探针卡能够彼此接近和远离的方式改变所述被检查部与所述探针卡之间的相对位置。所述接触检查装置在所述探针与载置于所述载置部的所述被检查对象的所述被检查部接触的状态下对所述被检查部进行通电检查。探针卡是根据第一至第七方面中任一方面的探针卡。根据该方面，通过对接触检查装置施加探针的第一至第七方面中任一方面的作用和效果，能够有效地抑制因探针的温度升高引起的弹簧性能下降，并且能够改善接触检查装置的检查精度。附图说明图1是示意性地示出根据本专利技术的实施方式的接触检查装置的侧截面图。图2是示意性地示出根据本专利技术的实施方式的探针卡的侧截面图。图3是示意性地示出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡，其包括：探针，所述探针具有弹簧性能；以及探针头，所述探针头保持所述探针，其中，所述探针头包括引导部，所述引导部以所述探针能够沿着轴向移动的方式保持所述探针，并且所述引导部包括散热结构，所述散热结构吸收所述探针因通电而产生的热并且使该热流动到所述探针的外部。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.10.21 JP 2015-2072631.一种探针卡，其包括：探针，所述探针具有弹簧性能；以及探针头，所述探针头保持所述探针，其中，所述探针头包括引导部，所述引导部以所述探针能够沿着轴向移动的方式保持所述探针，并且所述引导部包括散热结构，所述散热结构吸收所述探针因通电而产生的热并且使该热流动到所述探针的外部。2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，在所述散热结构中，所述引导部的与所述探针相对的部分的至少一部分由高导热材料形成，所述高导热材料在远离所述探针的方向上散发和扩散所述探针中产生的热。3.根据权利要求1或2所述的探针卡，其特征在于，所述散热结构的吸热部的至少一部分处于与所述探针的弹簧性能出现的部分相对的位置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的探针卡，其特征在于，所述探针头包括：上引导部，所述上引导部具有用于保持所述探针的上部的上引导孔；下引导部，所述下引导部具有用于保持所述探针的下部的下引导孔；以及中间引导部，所述中间引导部位于所述上引导部与所述下引导部之间并且具有用于保...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉冈哲也，河野贵志，牧瀬茂喜，那须美佳，
申请(专利权)人：日本麦可罗尼克斯股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本,JP