一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备制造技术

本发明专利技术涉及单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备，所述机械臂安装调整机构(2)固定连接防腐骨架及外壳(1)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)配合连接机械臂安装调整机构(2)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)左右运动覆盖区域有上货机构(7)、带移载机构制程槽(9)，所述全自动机械臂模组Ⅱ4左右运动覆盖区域有带移载机构制程槽(9)，水平式旋干机(11)、双工位下货机构(8)；本发明专利技术采用同批次4花篮同时运行，匹配两套的机械手臂，配合旋干机，将常规湿制程设备产能提升40％以上，极大程度上提高了产能，进而每片晶圆的工艺成本有效地降低，同时不过多占用无尘室空间和人力资源。

【技术实现步骤摘要】
一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备[
]本专利技术涉及LED半导体湿制程设备
，具体地说是一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备。[
技术介绍
]在LED和半导体行业，湿制程设备作为一种批量式处理晶圆的设备，应用广泛且成熟。晶圆常见的尺寸一般有2"/4"/6"/8"/12"乃至16"，晶圆厚度一般在650～850μm之间。在晶圆制造厂，一片晶圆需要两到三个月的工艺流程，完成450道或者更多的工艺步骤，集成几十到上万个特定芯片，在制造工艺末端，将单个芯片从晶圆上分开，然后封装成最终产品。由此可见，单片晶圆的成本已经远超估量，尤其是在后段封装工艺，若能在目前的工艺基础上，大幅度地提高产能将对晶圆生产厂商产生巨大的经济效益。基于此，如何提供更低成本，高产能的湿制程设备，争取湿制程设备的核心竞争优势，是各设备制造商努力的方向。目前，现有的搭载旋干机实现干进干出的湿制程设备基本采用单花篮或者双花篮制程，这种设备产能受限，单片晶圆工艺成本高昂，对应的人力资源和维护成本较高。[
技术实现思路
]本专利技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备。该方案采用同批次4花篮同时运行，设备成本在原双花篮设备基础上提高不到1％，但是产能提升约40％。为实现上述目的设计一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备，包括防腐骨架及外壳1、机械臂安装调整机构2、全自动机械臂模组Ⅰ3、全自动机械臂模组Ⅱ4、上货机构7、双工位下货机构8、带移载机构制程槽9、水平式旋干机11、操作界面12、电控系统14及管路系统15，所述机械臂安装调整机构2固定连接防腐骨架及外壳1，所述全自动机械臂模组Ⅰ3、全自动机械臂模组Ⅱ4配合连接机械臂安装调整机构2，所述全自动机械臂模组Ⅰ3左右运动覆盖区域有上货机构7、带移载机构制程槽9，所述全自动机械臂模组Ⅱ4左右运动覆盖区域有带移载机构制程槽9，水平式旋干机11、双工位下货机构8。所述机械臂安装调整机构2包括导轨21、齿条22、感应定位块23及固定支架24，所述导轨21、齿条22、感应定位块23固定安装在固定支架24上。所述全自动机械臂模组Ⅰ3包括机械臂动力本体31、夹爪动力本体32、双短夹爪33、双长夹爪34、机械臂37及支撑轴39，所述机械臂动力本体31内部设有伺服电机、左右运行动力机构及上下运行动力机构，其上端面设有侦测机构38，所述机械臂动力本体31通过滑块35滑动连接导轨21，所述左右运行动力机构通过传动齿轮36啮合连接齿条22，所述上下运行动力机构通过支撑轴39固定连接夹爪动力本体32，所述夹爪动力本体32内设有电机、导向机构，所述机械臂37配合连接电机、导向机构，所述机械臂37前端设有双短夹爪33、双长夹爪34。所述上货机构7包括双高花篮定位座71、双低花篮定位座72。所述带移载机构制程槽9包括制程槽体91、出液排放机构95及进液机构96，所述出液排放机构95及进液机构96密封连接制程槽体91，所述制程槽体91内部设有移动承载座93、固定承载座94，所述移动承载座93位于固定承载座94的前上方，所述移动承载座93配合连接移动承载动力机构92，所述移动承载动力机构92安装在制程槽9上。所述水平式旋干机11包括密封盖1101、旋干机体1102，所述密封盖1101密封连接旋干机体1102上端面，所述旋干机体1102内设有花篮固定旋转承载平台1103，所述花篮固定旋转承载平台1103上设有四个均匀分布的花篮固定承载座1104。所述全自动机械臂模组Ⅱ4包括机械臂动力本体Ⅱ41、夹爪动力本体Ⅱ42、双长夹爪Ⅱ44、机械臂Ⅱ47及支撑轴Ⅱ49，所述机械臂动力本体Ⅱ41内部设有伺服电机Ⅱ、左右运行动力机构Ⅱ及上下运行动力机构Ⅱ，其上端面设有侦测机构Ⅱ48，所述机械臂动力本体Ⅱ41通过滑块Ⅱ45滑动连接导轨21，所述左右运行动力机构Ⅱ通过传动齿轮Ⅱ46啮合连接齿条22，所述上下运行动力机构Ⅱ通过支撑轴Ⅱ49固定连接夹爪动力本体Ⅱ42，所述夹爪动力本体Ⅱ42内设有电机Ⅱ、导向机构Ⅱ，所述机械臂Ⅱ47配合连接电机Ⅱ、导向机构Ⅱ，所述机械臂Ⅱ47前端设有双长夹爪Ⅱ44。还包括风干槽机构10，所述风干槽机构10位于带移载机构制程槽9与水平式旋干机11之间，也可置于水平式旋干机11与双工位下货机构8之间。所述风干槽机构10包括槽体101、液体排放机构102及风道机构103，所述槽体101下端面配合连接液体排放机构102，所述槽体101上端面设有风道机构103。所述风道机构103包括左风道机构1031、右风道机构1032，所述左风道机构1031结构与右风道机构1032结构相同，且相互对称安装在槽体101上端面，所述左风道机构1031包括上风道盖1034、密封垫1035及风道底座1036，所述上风道盖1034通过密封垫1035密封连接风道底座1036，所述风道底座1036的前端面设有进气口1037，所述上端面设有与进气口1037相连通的风道槽1038，所述风道底座1036与上风道盖1034水平方向连接处设有与风道槽1038相连通的出气刀口1033。还包括自动升降屏风机构13，所述自动升降屏风机构13安装在带移载机构制程槽9与水平式旋干机11之间，所述自动升降屏风机构13包括上固定挡板1301、垂直导轨1302、下固定挡座1308及透明隔离板1310，所述上固定挡板1301固定连接垂直导轨1302的上端，所述垂直导轨1302的下端固定连接下固定挡座1308，所述下固定挡座1308内部设有上下移载气缸1306、透明隔离板1310，所述上下移载气缸1306通过气缸滑块1307连接底部固定支架1305，所述底部固定支架1305通过导向轴1304固定连接透明隔离板1310，所述下固定挡座1308上端面设有密封滑槽1309，所述透明隔离板1310通过滑块III1303滑动连接垂直导轨1302，所述透明隔离板1310上端面设有导水盘1311。所述双工位下货机构8包括左右移载气缸81、上下顶升气缸82、安装座83及花篮承载座84，所述安装座83安装在防腐骨架及外壳1上，所述安装座83上装有左右移载气缸81，所述左右移载气缸81的活塞端配合连接上下顶升气缸82，所述上下顶升气缸82的活塞端配合连接花篮承载座84。本专利技术同现有技术相比，采用同批次4花篮同时运行，匹配两套的机械手臂，配合旋干机，在成本可控增长范围内，将常规搭载旋干机的湿制程设备产能提升40％以上，极大程度上提高了产能，进而每片晶圆的工艺成本有效地降低，同时不过多占用无尘室空间和人力资源，就确保产能稳定和提升，会在未来湿制程市场占据越来越重要的位置。此外，本专利技术控制方便，易于维护，便于操作，设备性能有较好的提升和改进，适用性广泛，在需要旋干的制程中，可适用于所有制程及各种规格的晶圆。[附图说明]图1是本专利技术的结构示意图；图2是图1的后视图；图3是图1的左视图；图4是图2的A-A剖面图；图5是图1的B-B剖面图；图6是图1的C-C剖面图；图7是本专利技术的机械臂安装调整机构的结构示意图；图8是本专利技术的全自动机械臂模组Ⅰ的结构示意图一；图9是本专利技术的全自动机械臂模组Ⅰ的结构示意图二；图10是本专利技术的全自动机械臂模组Ⅱ的结构示意图一；图11本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备，包括防腐骨架及外壳(1)、机械臂安装调整机构(2)、全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)、上货机构(7)、双工位下货机构(8)、带移载机构制程槽(9)、水平式旋干机(11)、操作界面(12)、电控系统(14)及管路系统(15)，其特征在于：所述机械臂安装调整机构(2)固定连接防腐骨架及外壳(1)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)配合连接机械臂安装调整机构(2)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)左右运动覆盖区域有上货机构(7)、带移载机构制程槽(9)，所述全自动机械臂模组Ⅱ4左右运动覆盖区域有带移载机构制程槽(9)，水平式旋干机(11)、双工位下货机构(8)；所述机械臂安装调整机构(2)包括导轨(21)、齿条(22)、感应定位块(23)及固定支架(24)，所述导轨(21)、齿条(22)、感应定位块(23)固定安装在固定支架(24)上；所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)包括机械臂动力本体(31)、夹爪动力本体(32)、双短夹爪(33)、双长夹爪(34)、机械臂(37)及支撑轴(39)，所述机械臂动力本体(31)内部设有伺服电机、左右运行动力机构及上下运行动力机构，其上端面设有侦测机构(38)，所述机械臂动力本体(31)通过滑块(35)滑动连接导轨(21)，所述左右运行动力机构通过传动齿轮(36)啮合连接齿条(22)，所述上下运行动力机构通过支撑轴(39)固定连接夹爪动力本体(32)，所述夹爪动力本体(32)内设有电机、导向机构，所述机械臂(37)配合连接电机、导向机构，所述机械臂(37)前端设有双短夹爪(33)、双长夹爪(34)；所述上货机构(7)包括双高花篮定位座(71)、双低花篮定位座(72)；所述带移载机构制程槽(9)包括制程槽体(91)、出液排放机构(95)及进液机构(96)，所述出液排放机构(95)及进液机构(96)密封连接制程槽体(91)，所述制程槽体(91)内部设有移动承载座(93)、固定承载座(94)，所述移动承载座(93)位于固定承载座(94)的前上方，所述移动承载座(93)配合连接移动承载动力机构(92)，所述移动承载动力机构(92)安装在制程槽(9)上；所述水平式旋干机(11)包括密封盖(1101)、旋干机体(1102)，所述密封盖(1101)密封连接旋干机体(1102)上端面，所述旋干机体(1102)内设有花篮固定旋转承载平台(1103)，所述花篮固定旋转承载平台(1103)上设有四个均匀分布的花篮固定承载座(1104)。...

【技术特征摘要】
1.一种单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备，包括防腐骨架及外壳(1)、机械臂安装调整机构(2)、全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)、上货机构(7)、双工位下货机构(8)、带移载机构制程槽(9)、水平式旋干机(11)、操作界面(12)、电控系统(14)及管路系统(15)，其特征在于：所述机械臂安装调整机构(2)固定连接防腐骨架及外壳(1)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)配合连接机械臂安装调整机构(2)，所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)左右运动覆盖区域有上货机构(7)、带移载机构制程槽(9)，所述全自动机械臂模组Ⅱ4左右运动覆盖区域有带移载机构制程槽(9)，水平式旋干机(11)、双工位下货机构(8)；所述机械臂安装调整机构(2)包括导轨(21)、齿条(22)、感应定位块(23)及固定支架(24)，所述导轨(21)、齿条(22)、感应定位块(23)固定安装在固定支架(24)上；所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)包括机械臂动力本体(31)、夹爪动力本体(32)、双短夹爪(33)、双长夹爪(34)、机械臂(37)及支撑轴(39)，所述机械臂动力本体(31)内部设有伺服电机、左右运行动力机构及上下运行动力机构，其上端面设有侦测机构(38)，所述机械臂动力本体(31)通过滑块(35)滑动连接导轨(21)，所述左右运行动力机构通过传动齿轮(36)啮合连接齿条(22)，所述上下运行动力机构通过支撑轴(39)固定连接夹爪动力本体(32)，所述夹爪动力本体(32)内设有电机、导向机构，所述机械臂(37)配合连接电机、导向机构，所述机械臂(37)前端设有双短夹爪(33)、双长夹爪(34)；所述上货机构(7)包括双高花篮定位座(71)、双低花篮定位座(72)；所述带移载机构制程槽(9)包括制程槽体(91)、出液排放机构(95)及进液机构(96)，所述出液排放机构(95)及进液机构(96)密封连接制程槽体(91)，所述制程槽体(91)内部设有移动承载座(93)、固定承载座(94)，所述移动承载座(93)位于固定承载座(94)的前上方，所述移动承载座(93)配合连接移动承载动力机构(92)，所述移动承载动力机构(92)安装在制程槽(9)上；所述水平式旋干机(11)包括密封盖(1101)、旋干机体(1102)，所述密封盖(1101)密封连接旋干机体(1102)上端面，所述旋干机体(1102)内设有花篮固定旋转承载平台(1103)，所述花篮固定旋转承载平台(1103)上设有四个均匀分布的花篮固定承载座(1104)。2.如权利要求1所述的全自动湿制程设备，其特征在于：所述全自动机械臂模组Ⅱ(4)包括机械臂动力本体Ⅱ(41)、夹爪动力本体Ⅱ(42)、双长夹爪Ⅱ(44)、机械臂Ⅱ(47)及支撑轴Ⅱ(49)，所述机械臂动力本体Ⅱ(41)内部设有伺服电机Ⅱ、左右运行动力机构Ⅱ及上下运行动力机构Ⅱ，其上端面设有侦测机构Ⅱ(48)，所述机械臂动力本体Ⅱ(41)通过滑块Ⅱ(45)滑动连接导轨(21)，所述左右运行...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晗，江献茂，简建至，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31