The invention discloses an improved fully automatic semiconductor material grinding equipment, including a grinding frame fixed on the right end of a movable manipulator. The inner wall body of the grinding frame is provided with a transmission cavity and a telescopic cavity which is connected to the lower end face of the grinding frame. The transmission cavity is arranged with a guiding cavity and the expansion cavity. A rotary chamber is arranged in the body of the grinding frame at the top of the telescopic cavity. The top of the transmission cavity is extended and arranged with a rotating rod. The rotating rod is connected with the end wall of the left and right sides of the transmission cavity, and the left extension end of the rotating rod is connected with a rotating motor and the rotating motor is connected. The surface is fixed in the body of the inner wall of the grinding frame, and the rotating rod is inserted into the rotating cavity on the right side and the end is fixed and fixed with the first bevel gear; the invention can make the grinding wheel rotated and grinding to the semiconductor material and wobble up and down at the same time to carry out the grinding work, and the grinding efficiency is high.
【技术实现步骤摘要】
一种改进型全自动半导体材料研磨设备
本专利技术涉及半导体材料加工
,具体是一种改进型全自动半导体材料研磨设备。
技术介绍
半导体材料是一类具有半导电性能的材料,可用来制作半导体器件以及机床电路的电子材料等,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,因此应用非常广泛,半导体材料在生产制造过程中,需要对其表面进行研磨处理,目前对半导体材料的研磨设备,其研磨效率低,因此需要一种高效的对半导体材料的研磨设备。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种改进型全自动半导体材料研磨设备,其能够解决上述现在技术中的问题。本专利技术是通过以下技术方案来实现的:本专利技术的一种改进型全自动半导体材料研磨设备,包括固定安装在活动机械手右端面的研磨机架,所述研磨机架内壁体中设置有传动腔以及贯通所述研磨机架下部端面的伸缩腔,所述传动腔与所述伸缩腔之间设置有导向腔,所述伸缩腔顶部的所述研磨机架内壁体中设置有转动腔,所述传动腔顶部左右延伸设置有转动杆,所述转动杆与所述传动腔左右两侧端壁转动配合连接,所述转动杆左侧延伸末端动力配合连接有转动电机,所述转动电机外表面固定安装于所述研磨机架内壁体中,所述转动杆右侧伸入所述转动腔中且末端固定安装有第一锥齿轮,所述转动腔内壁体中转动配合安装有与所述第一锥齿轮相互啮合的第二锥齿轮,所述第二锥齿轮底部端面固定安装有与所述研磨机体转动配合连接且伸入所述伸缩腔中的花键轴,所述伸缩腔中滑动配合安装有转动柱,所述转动柱顶部端面内设置有与所述花键轴花键配合连接的花键凹槽,所述转动柱底部端面固定安装有安装套头,所述安装套头底部 ...
【技术保护点】
1.一种改进型全自动半导体材料研磨设备,包括固定安装在活动机械手右端面的研磨机架,其特征在于:所述研磨机架内壁体中设置有传动腔以及贯通所述研磨机架下部端面的伸缩腔,所述传动腔与所述伸缩腔之间设置有导向腔,所述伸缩腔顶部的所述研磨机架内壁体中设置有转动腔,所述传动腔顶部左右延伸设置有转动杆,所述转动杆与所述传动腔左右两侧端壁转动配合连接,所述转动杆左侧延伸末端动力配合连接有转动电机,所述转动电机外表面固定安装于所述研磨机架内壁体中,所述转动杆右侧伸入所述转动腔中且末端固定安装有第一锥齿轮,所述转动腔内壁体中转动配合安装有与所述第一锥齿轮相互啮合的第二锥齿轮,所述第二锥齿轮底部端面固定安装有与所述研磨机体转动配合连接且伸入所述伸缩腔中的花键轴,所述伸缩腔中滑动配合安装有转动柱,所述转动柱顶部端面内设置有与所述花键轴花键配合连接的花键凹槽,所述转动柱底部端面固定安装有安装套头,所述安装套头底部端面内安装有研磨转轮,所述转动柱右侧端的所述研磨机架内壁体中设置有滑动腔,所述滑动腔中滑动配合安装有滑动板,所述滑动板顶部端面的所述滑动腔中固定安装有拉伸弹簧,所述拉伸弹簧上端与所述滑动腔内顶壁固定连接 ...
【技术特征摘要】
1.一种改进型全自动半导体材料研磨设备,包括固定安装在活动机械手右端面的研磨机架,其特征在于:所述研磨机架内壁体中设置有传动腔以及贯通所述研磨机架下部端面的伸缩腔,所述传动腔与所述伸缩腔之间设置有导向腔,所述伸缩腔顶部的所述研磨机架内壁体中设置有转动腔,所述传动腔顶部左右延伸设置有转动杆,所述转动杆与所述传动腔左右两侧端壁转动配合连接,所述转动杆左侧延伸末端动力配合连接有转动电机,所述转动电机外表面固定安装于所述研磨机架内壁体中,所述转动杆右侧伸入所述转动腔中且末端固定安装有第一锥齿轮,所述转动腔内壁体中转动配合安装有与所述第一锥齿轮相互啮合的第二锥齿轮,所述第二锥齿轮底部端面固定安装有与所述研磨机体转动配合连接且伸入所述伸缩腔中的花键轴,所述伸缩腔中滑动配合安装有转动柱,所述转动柱顶部端面内设置有与所述花键轴花键配合连接的花键凹槽,所述转动柱底部端面固定安装有安装套头,所述安装套头底部端面内安装有研磨转轮,所述转动柱右侧端的所述研磨机架内壁体中设置有滑动腔,所述滑动腔中滑动配合安装有滑动板,所述滑动板顶部端面的所述滑动腔中固定安装有拉伸弹簧,所述拉伸弹簧...
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