X射线检查方法以及X射线检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于，在X射线检查装置中，对于有厚度的被检查物，也不会恶化空间分辨率就能够进行基于时间延迟积分的检测。本发明专利技术的X射线检查装置(100)具备：X射线源(1)，产生X射线；输送部(3)，输送试料(S)；检测部，具备检测由X射线源(1)产生并透射了由输送部(3)输送的试料(S)的X射线的时间延迟积分(TDI)型的检测器(4)；以及缺陷判定部(7)，对由时间延迟积分型的检测器(4)进行检测而得到的信号进行处理，判定试料中的缺陷，输送部(3)在试料(S)通过检测部的时间延迟积分型的检测器(4)前时，一边与输送同步地使试料(S)旋转，一边输送。

X - ray examination and X - ray inspection device

The aim of the present invention is that in the X - ray inspection device, a time delay integral detection can be carried out for a inspected object with a thickness and will not deteriorate the spatial resolution. The X - ray inspection device (100) of the present invention has: a X ray source (1), a X ray, a conveying part (3), a test material (S), a detection unit, a detector (4) of a time delay integral (4) for detecting X rays transmitted by the X ray source (1) and transmitted by the conveying unit (3); and a defect determination unit (7), for time. The delay integral type detector (4) is processed to process the detected signal to determine the defect in the test material, and the delivery unit (3) rotates the test material (S) at the same time with the delivery when the test material (S) passes the time delay integral detector (4) of the detection unit.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】X射线检查方法以及X射线检查装置
本专利技术涉及向试料照射X射线、基于透射了试料的X射线的强度分布来检查试料的X射线检查方法以及X射线检查装置。
技术介绍
在日本特开2011－242374号公报(专利文献1)中记载了即使X射线产生部所产生的X射线的输出低也能够高灵敏度地检测异物的X射线检查装置。该公报中记载有“具备：X射线检测器10，按多个检测元件列101～108的每个段，将从各检测元件得到的检测数据通过时间延迟积分进行合成，并输出合成数据；以及判定部44，基于由X射线检测器10输出的合成数据，判定被检查物W中是否有异物。具备段数设定部46，该段数设定部46根据被检查物W的厚度信息，设定作为由X射线检测器10进行的时间延迟积分的对象的检测元件列的段数。”。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2011－242374号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题上述专利文献1中记载了即使X射线产生部所产生的X射线的输出低也能够高灵敏度地检测异物的X射线检查装置。但是，专利文献1中记载的X射线检查装置在被检查物的厚度大的情况下，成为时间延迟积分的对象的检测元件列的段数被设定得小，因此与厚度小的情况相比检测输出低，有难以进行高灵敏度的异物检测的问题。本专利技术的目的在于，提供一种针对有厚度的被检查物也能够不使空间分辨率恶化来进行基于时间延迟积分的检测的X射线检查方法以及X射线检查装置。用于解决问题的手段为了解决上述问题，本专利技术中，使X射线检查装置具备以下部分而构成：X射线源，产生X射线；输送部，输送试料；检测部，具备时间延迟积分型的检测器，该时间延迟积分型的检测器检测由X射线源产生并透射了由输送部输送的试料(样本、样品、sample)的X射线；以及缺陷判定部，对由检测部的时间延迟积分型的检测器检测透射了试料的X射线而得到的信号进行处理，判定试料中的缺陷，输送部在试料通过检测部的时间延迟积分型的检测器前时，一边与输送同步地使试料旋转，一边输送。此外，为了解决上述的课题，本专利技术中，对由输送部输送的试料照射从X射线源产生的X射线；由时间延迟积分型的检测器检测透射了被照射到X射线的试料的X射线；对由时间延迟积分型的检测器检测透射了试料的X射线而得到的信号进行处理，判定试料中的缺陷，在该X射线检查方法中，在试料通过检测部的时间延迟积分型的检测器前时，一边与输送同步地使试料旋转，一边对试料照射X射线。专利技术效果根据本专利技术，在X射线检查方法以及X射线检查装置中，使用了时间延迟积分型的检测器的情况下，针对有厚度的被检查物也能够不使空间分辨率恶化而高灵敏度地检测微细的缺陷。上述以外的课题、结构以及效果通过以下的实施方式的说明而变得明确。附图说明图1是本专利技术的第1实施例的X射线检查装置的结构图。图2A是表示本专利技术的第1实施例的试料输送装置中的X射线源的焦点和容器及TDI相机的关系的框图。图2B是表示本专利技术的第1实施例的试料输送装置中使用的TDI相机的结构的俯视图。图3A是本专利技术的第1实施例的试料输送部的俯视图。图3B是本专利技术的第1实施例的试料输送部的主视图。图4A是本专利技术的第1实施例的另一方式的试料输送部的俯视图。图4B是本专利技术的第1实施例的另一方式的试料输送部的侧视图。图4C是本专利技术的第1实施例的另一方式的试料输送部的主视图。图5A涉及本专利技术的第1实施例、是表示在又另一方式中容器以垂直的姿势一边旋转一边被输送的状态的试料输送部的主视图。图5B是表示在本专利技术的第1实施例的又另一方式中容器以倾斜的状态一边旋转一边被输送的状态的试料输送部的主视图。图6A是本专利技术的第1实施例的变形例的试料输送部的俯视图。图6B是将本专利技术的第1实施例的变形例的试料输送部的试料方位角和倾斜角的组合条件进行一览表示的表。图7是表示本专利技术的第1实施例的X射线检查方法的处理的流程的流程图。图8是表示本专利技术的第2实施例的试料输送方法中的X射线源的焦点和容器及TDI相机的关系的框图。图9是本专利技术的第2实施例的试料输送部的主视图。图10A是本专利技术的第2实施例的试料输送部的俯视图。图10B是本专利技术的第2实施例的试料输送部的主视图。图11涉及本专利技术的第2实施例的另一方式的试料输送部，(a)是俯视图，(b)是主视图。图12A是本专利技术的第2实施例的又另一方式的试料输送部的俯视图。图12B是本专利技术的第2实施例的又另一方式的试料输送部的主视图。图13A是本专利技术的第2实施例的再另一方式的试料输送部的俯视图。图13B是本专利技术的第2实施例的再另一方式的试料输送部的主视图。图14A是本专利技术的第2实施例的再另一方式的试料输送部的俯视图。图14B是本专利技术的第2实施例的再另一方式的试料输送部的主视图。图15是将本专利技术的第2实施例的试料输送部的X射线光学系统示意地表示的俯视图。图16A是本专利技术的第2实施例的以多个试料方向进行摄影的试料输送部的俯视图。图16B是将本专利技术的第2实施例的试料输送部的试料方位角和倾斜角的组合条件进行一览表示的表。图17是表示本专利技术的第2实施例的以多个试料方向进行摄影的、试料输送部将收纳有试料的容器一边使其以垂直的姿势旋转一边输送的状态的试料输送部的主视图。图18是表示本专利技术的第2实施例的以多个试料方向进行摄影的、试料输送部将收纳有试料的容器一边使其以倾斜的姿势旋转一边输送的状态的试料输送部的主视图。具体实施方式本专利技术中，使X射线检查装置的特征在于，具备以下部分而构成：X射线源，从焦点向放射状的光线方向产生X射线，并向试料照射；TDI(时间延迟积分)型的检测器，检测从X射线源放射并透射了试料的X射线；以及缺陷检测部，基于由X射线TDI检测器检测到的X射线透射像，检测缺陷；在TDI型的检测器进行的积分时间内的任意的时刻，试料相对于X射线的光线方向的相对方向实质上相等。本实施例中，说明向试料照射X射线、基于透射了试料的X射线的强度分布来检查试料的X射线检查装置的例子。实施例1图1是本实施例的X射线检查装置100的结构图的例子。X射线检查装置100具备X射线管1、试料输送部3、TDI相机4、X射线遮蔽部5、缺陷判定部7、控制部8、显示部9、输入部10。X射线管1向试料S照射X射线。X射线管1内置有靶(阳极)，电子加速并与靶碰撞而产生X射线。将电子碰撞的靶上的区域、即产生X射线的区域设为焦点2。照射到试料S的X射线透射试料S，被TDI相机4检测为X射线透射图像。通过使用TDI相机4作为检测器，可不间断地取得试料输送部3连续输送的试料S的X射线透射图像。此外，与使用通常的X射线线阵相机的情况相比，能够取得与TDI的级数相应地多的积蓄时间，X射线光量增加，从而得到SN比高的图像，提高检查灵敏度。TDI相机4是将在表面形成有闪烁器层的光纤面板与图像传感器结合而成的结构。通过使用TDI(TimeDelayIntegration，时间延迟积分)型的CCD传感器作为图像传感器，能够以X射线的TDI方式进行拍摄。X射线遮蔽部5用于将X射线管1发出的X射线、以及该X射线的反射/散射X射线成分进行遮蔽，并且将被照射X射线的空间进行隔离，防止人的手等进入该空间。在X射线遮蔽部5没有被设置为规定的条件的情况下，联锁件进行动作，X射线源1的X射线的照射停止。根据以上结构，可避免装置操作者等的X射线辐射，确本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种X射线检查装置，其特征在于，具备：X射线源，产生X射线；输送部，输送试料；检测部，具备时间延迟积分型的检测器，该时间延迟积分型的检测器检测由所述X射线源产生并透射了由所述输送部输送的所述试料的X射线；以及缺陷判定部，对由所述检测部的时间延迟积分型的检测器检测透射了所述试料的X射线而得到的信号进行处理，判定所述试料中的缺陷，所述输送部在所述试料通过所述检测部的所述时间延迟积分型的检测器前时，一边与所述输送同步地使所述试料旋转一边输送。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.09.10 JP 2015-1789541.一种X射线检查装置，其特征在于，具备：X射线源，产生X射线；输送部，输送试料；检测部，具备时间延迟积分型的检测器，该时间延迟积分型的检测器检测由所述X射线源产生并透射了由所述输送部输送的所述试料的X射线；以及缺陷判定部，对由所述检测部的时间延迟积分型的检测器检测透射了所述试料的X射线而得到的信号进行处理，判定所述试料中的缺陷，所述输送部在所述试料通过所述检测部的所述时间延迟积分型的检测器前时，一边与所述输送同步地使所述试料旋转一边输送。2.如权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，所述输送部一边使所述试料以所述试料的中心轴为旋转中心轴与所述输送同步地旋转，一边输送。3.如权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，所述输送部一边使所述试料以倾斜的状态以所述倾斜的试料的中心轴为旋转中心轴与所述输送同步地旋转，一边输送。4.如权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，所述输送部一边使所述试料与所述输送同步地以从所述X射线源产生的X射线的焦点位置为旋转中心而旋转，一边输送。5.权利要求1记载的X射线检查装置，其特征在于，所述输送部一边使所述试料以倾斜的状态与所述输送同步地以从所述X射线源产生的X射线的焦点位置为旋转中心而旋转，一边输送。6.如权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，所述检测部具备多个所述时间延迟积分型的检测器，所述输送部在使所述试料通过所述检测部的所述多个时间延迟积分型的检测器前时，一边按各个所述时间延迟积分型的检测器改变所述试料的倾斜角或方位角来与所述输送同步地使所述试料旋转，一边输送。7.如权利要求1所述的X射线检查装置，其特征在于，所述输送部将所述试料收纳在透射X射线的容器中来输送。8.如权利要求7所述的X射线检查装置，其特征在于，所述容器为医药用管瓶，在所述检测部中，所述时间延迟积分型的检测器检测从所述容器的侧面对收纳在所述容器中的试料照射由所述X射线源产生的X射线并透...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦野雄太，张开锋，的场吉毅，竹田明弘，
申请(专利权)人：日本株式会社日立高新技术科学，
类型：发明
国别省市：日本,JP