一种有机发光显示面板的制造方法技术

本发明专利技术揭示一种有机发光显示面板的制造方法，所述有机发光显示面板的制造方法包括如下步骤：提供一基板，所述基板包括多个发光区以及位于多个所述发光区之间的非发光区，且在所述基板的一侧形成像素定义层，所述像素定义层形成于所述非发光区；在所述像素定义层远离所述基板的一侧形成间隔物；在所述基板上的所述发光区中形成有机发光层；以及在所述像素定义层以及所述有机发光层远离所述基板的一侧沉积公共层，所述公共层覆盖所述间隔物；其中，所述公共层的沉积方向与所述基板所在的第一平面之间形成的第一夹角大于0度且小于90度。

The manufacturing method of an organic light-emitting display panel

The invention discloses a manufacturing method of an organic light emitting display panel. The manufacturing method of the organic light-emitting display panel includes the following steps: providing a substrate, which includes a plurality of light emitting regions and a non luminous area between the plurality of luminescent regions, and forming a pixel definition layer on one side of the substrate, the image of the image. The element definition layer is formed in the non luminous area; the pixel definition layer is far away from one side of the substrate; an organic light layer is formed in the light emitting region on the substrate; and a side of the pixel definition layer and the organic light layer is far away from the substrate, and the public layer covers the common layer. The spacer, wherein the first angle between the deposition direction of the common layer and the first plane of the substrate is greater than 0 degrees and is less than 90 degrees.

【技术实现步骤摘要】
一种有机发光显示面板的制造方法
本专利技术涉及显示
，特别涉及一种有机发光显示面板的制造方法。
技术介绍
有机发光显示面板与传统的液晶显示器相比，具有响应速度快、对比度高、色彩绚丽、更耐高低极限温度、更薄更轻等优势，因而逐渐成为显示领域主流技术，被广泛应用于手机、平板电脑、电视、虚拟现实等产品中。现有的有机发光显示面板在制程的过程中，通常是使用高精度金属掩膜板(FMM)将有机材料沉积于基板上的，而高精度金属掩膜板在使用的过程中是置于间隔物(PS)上的，高精度金属掩膜板的开口边缘会因材料堆积而压损间隔物，在间隔物表面形成粗糙表面。请参见图1，其示出了现有技术的有机发光显示面板中压损后的间隔物结构示意图。如图1所示，间隔物300被高精度金属掩膜板压损后会在其表面形成若干凹部301(图1示出了其中的一个凹部301)。目前，公共层600的沉积方向通常垂直于间隔物300的表面(如图1中沉积方向D所示)。在该沉积方式下，当凹部301的深度大于公共层600的沉积厚度时，公共层600会在凹部301处断开，无法覆盖凹部301。因此，外界水氧W可以由凹部301处侵入、与有机发光显示面板的有机发光层接触，进而，造成有机发光显示面板在显示过程中出现画素内缩、形成黑点，影响了有机发光显示面板的显示性能。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种有机发光显示面板的制造方法。相比现有技术中的有机发光显示面板的制造方法，可以在无需填满间隔物的凹部的情况下，形成连续且覆盖凹部的公共层，从而避免外界水氧入侵，保障有机发光显示面板的显示性能以及使用寿命。根据本专利技术的一个方面提供一种有机发光显示面板的制造方法，所述制造方法包括如下步骤：提供一基板，所述基板包括多个发光区以及位于多个所述发光区之间的非发光区，且在所述基板的一侧形成像素定义层，所述像素定义层形成于所述非发光区；在所述像素定义层远离所述基板的一侧形成间隔物；在所述基板上的所述发光区中形成有机发光层；以及在所述像素定义层以及所述有机发光层远离所述基板的一侧沉积公共层，所述公共层覆盖所述间隔物；其中，所述公共层的沉积方向与所述基板所在的第一平面之间形成的第一夹角大于0度且小于90度。优选地，所述第一夹角为30～80度。优选地，所述公共层通过一蒸镀装置蒸镀后形成，所述蒸镀装置包括一喷嘴，通过转动所述喷嘴调节所述第一夹角。优选地，所述蒸镀装置的蒸镀速率为0.5～10埃米/秒。优选地，所述蒸镀速率通过蒸镀的温度进行调节。优选地，所述公共层包括电子传输层、阴极层和覆盖层，所述沉积公共层的步骤中还包括如下步骤：在所述像素定义层以及有机发光层远离所述基板的一侧形成所述电子传输层；在所述电子传输层远离所述基板的一侧形成所述阴极层；在所述阴极层远离所述基板的一侧形成所述覆盖层。优选地，所述电子传输层和所述覆盖层通过蒸镀的方法沉积，所述阴极层通过磁控溅射方法沉积。优选地，所述磁控溅射的功率小于150瓦。优选地，在形成所述像素定义层和有机发光层之前，还包括如下步骤：在所述基板靠近所述像素定义层和有机发光层的一侧形成驱动元件层，所述像素定义层和有机发光层形成于所述驱动元件层远离所述基板的一侧。优选地，在形成所述有机发光层之前还包括如下步骤：在所述发光区形成像素电极层，所述像素电极层形成于所述驱动元件层远离所述基板的一侧，所述有机发光层形成于所述像素电极层远离所述基板的一侧。本专利技术实施例提供的有机发光显示面板的制造方法在沉积公共层的步骤中，由于公共层的沉积方向与基板所在的第一平面之间形成的第一夹角大于0度且小于90度。因此，当公共层沉积于具有粗糙度的间隔物(即具有凹部的间隔物)的表面时，可以在无需填满间隔物的凹部的情况下，形成连续且覆盖凹部的公共层，从而避免外界水氧入侵、与有机发光层接触后，使有机发光显示面板在显示过程中出现画素内缩、形成黑点等问题，保证了有机发光显示面板的显示性能以及使用寿命。此外，该有机发光显示面板的制造方法中还通过提高沉积离子动能(即提高蒸镀的速率和磁控溅射沉积阴极层等)的方式，使粒子在达到间隔物的表面后可沿间隔物的表面形成一定距离的迁移，进一步确保公共层覆盖凹部，避免水氧的侵入，以保证有机发光显示面板的显示性能。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为现有技术的有机发光显示面板中压损后的间隔物结构示意图；图2为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法的流程图；图3为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中基板上形成像素定义层后的截面结构示意图；图4为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中在像素定义层上形成间隔物的后的截面结构示意图；图5为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中在基板上形成有机发光层的后的截面结构示意图；图6为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中间隔物的局部放大图；图7为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中沉积公共层过程中的结构示意图；图8为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中沉积公共层过程中蒸镀角度与基板所在平面的关系示意图；图9为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中沉积公共层过程中沉积公共层后的间隔物的结构示意图；图10为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中形成公共层后截面结构示意图；图11为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中形成驱动元件层后的有机发光显示面板的截面结构示意图；图12为本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中形成像素电极后的有机发光显示面板的截面结构示意图；以及图13为本专利技术的另一种有机发光显示面板的制造方法中形成公共层的流程图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术的
技术实现思路
进行进一步地说明。请参见图2，其示出了本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法的流程图。在本专利技术的实施例中，所述制造方法包括如下步骤：步骤S10：提供一基板，所述基板包括多个发光区以及位于多个所述发光区之间的非发光区，并且在所述基板的一侧形成像素定义层，所述像素定义层形成于所述非发光区。具体来说，请参见图3，其示出了本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中基板上形成像素定义层后的截面结构示意图。图3中以有机发光显示面板中一个发光区及其周围的两个相邻非发光区为例进行说明。在图3所示的实施例中，基板1的发光区11位于两个相邻的非发光区12之间。像素定义层2形成于非发光区12。步骤S20：在所述像素定义层远离所述基板的一侧形成间隔物。请参见图4，其示出了本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中在像素定义层上形成间隔物的后的截面结构示意图。具体来说，在图4所示的实施例中，在发光区11左侧的像素定义层2上形成一间隔物3。间隔物3用于支撑有机发光显示面板的盖板(图中未示出)，且控制盖板与基板1之间的间距。需要说明的是，在本专利技术的实施例中，间隔物3的数量和位置可以根据实际的需要进行设置，例如，图4中发光区11右侧的像素定义层2上也可以形成有间隔物3，在此不予赘述。步骤S30：在所述基板上与所述像素定义层的同一侧形成有机发光层，所述有机发光层形成于所述发光区。具体来说，请一并参见图5和图6，其分别示出了本专利技术的一种有机发光显示面板的制造方法中在基板上形成有机发光层的后本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机发光显示面板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括如下步骤：提供一基板，所述基板包括多个发光区以及位于多个所述发光区之间的非发光区，且在所述基板的一侧形成像素定义层，所述像素定义层形成于所述非发光区；在所述像素定义层远离所述基板的一侧形成间隔物；在所述基板上的所述发光区中形成有机发光层；以及在所述像素定义层以及所述有机发光层远离所述基板的一侧沉积公共层，所述公共层覆盖所述间隔物；其中，所述公共层的沉积方向与所述基板所在的第一平面之间形成的第一夹角大于0度且小于90度。

【技术特征摘要】
1.一种有机发光显示面板的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括如下步骤：提供一基板，所述基板包括多个发光区以及位于多个所述发光区之间的非发光区，且在所述基板的一侧形成像素定义层，所述像素定义层形成于所述非发光区；在所述像素定义层远离所述基板的一侧形成间隔物；在所述基板上的所述发光区中形成有机发光层；以及在所述像素定义层以及所述有机发光层远离所述基板的一侧沉积公共层，所述公共层覆盖所述间隔物；其中，所述公共层的沉积方向与所述基板所在的第一平面之间形成的第一夹角大于0度且小于90度。2.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述第一夹角为30～80度。3.根据权利要求1所述的制造方法，其特征在于，所述公共层通过一蒸镀装置蒸镀后形成，所述蒸镀装置包括一喷嘴，通过转动所述喷嘴调节所述第一夹角。4.根据权利要求3所述的制造方法，其特征在于，所述蒸镀装置的蒸镀速率为0.5～10埃米/秒。5.根据权利要求4所述的制造方法，其特征在于，所述蒸镀速率通过蒸镀的温度进行调节。6.根据权利要求1所述的制造方法，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：欧阳攀，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31