The utility model relates to a laser cashmere equipment, which includes a base, a silicon wafer conveying mechanism, a silicon chip and a feeding mechanism, a laser mirror seat supporting mechanism, and a laser parallel processing system. The silicon conveyor is arranged on the base. The silicon wafer feeding mechanism and the laser mirror support mechanism are spaced around the base of the silicon wafer conveying mechanism. A laser parallel processing system is installed on the supporting mechanism of the optical support. The silicon wafer mechanism is used to automate the silicon chip on the silicon chip, and the silicon chip is used to drive the silicon chip to rotate intermittently, and the silicon wafer is rotated intermittently. The laser parallel processing system is etching the silicon chip and forming the trapping structure on the surface of the silicon wafer. The mirror is used for parallel processing of the dividing area to improve the efficiency of the pile making.
【技术实现步骤摘要】
激光制绒装备
本技术涉及一种激光制绒装备,属于激光加工装备
技术介绍
目前,近年来光伏发电越来越普及,晶硅太阳能电池的市场需求量不断增加。在晶硅电池的制造过程中,为了减少硅片表面的反射率,增加了制绒处理环节。在现有的制绒方法中,化学腐蚀制绒因为成本低,而被用作大规模生产。但是化学腐蚀制绒对硅片表面的减反效果并不是十分明显。激光制绒技术具有非接触式加工、绒面形貌易于控制等优点,可以有效地降低硅片表面反射率。化学腐蚀制绒的装备应用已经十分普遍,将大量的硅片插入片盒内,同时浸入腐蚀液中进行腐蚀。激光刻蚀需要对硅片进行逐一加工,因此化学腐蚀制绒装备并不适用于激光制绒。而且由于激光刻蚀硅片需要单片加工,导致了制绒效率十分低下,影响了激光制绒技术的产业化应用。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的不足,提供一种激光制绒装备。本技术的目的通过以下技术方案来实现:激光制绒装备,特点是:包含底座、硅片输送机构、硅片上下料机构、激光镜座支撑机构以及激光并行加工系统,硅片输送机构置于底座上,硅片上下料机构和激光镜座支撑机构围绕硅片输送机构间隔分布于底座上,激光镜座支撑机构上安装激光并行加工系统。进一步地,上述的激光制绒装备,其中,所述硅片输送机构包括转盘和硅片固定装置,动力单元与转盘驱动连接,驱动转盘在底座上做间歇性圆周运动,转盘上设置有定位孔,硅片固定装置通过定位孔安装于转盘上,硅片固定装置上设有卡槽。进一步地,上述的激光制绒装备,其中,所述硅片上下料机构包括机构支撑架、气动伸缩杆、滑块、吸盘、丝杠以及导轨,机构支撑架上安装导轨,滑块置于导轨上,丝杠与滑块传动连接 ...
【技术保护点】
1.激光制绒装备,其特征在于:包含底座(100)、硅片输送机构(200)、硅片上下料机构(300)、激光镜座支撑机构(400)以及激光并行加工系统(500),硅片输送机构(200)置于底座(100)上,硅片上下料机构(300)和激光镜座支撑机构(400)围绕硅片输送机构(200)间隔分布于底座(100)上,激光镜座支撑机构(400)上安装激光并行加工系统(500)。
【技术特征摘要】
1.激光制绒装备,其特征在于:包含底座(100)、硅片输送机构(200)、硅片上下料机构(300)、激光镜座支撑机构(400)以及激光并行加工系统(500),硅片输送机构(200)置于底座(100)上,硅片上下料机构(300)和激光镜座支撑机构(400)围绕硅片输送机构(200)间隔分布于底座(100)上,激光镜座支撑机构(400)上安装激光并行加工系统(500)。2.根据权利要求1所述的激光制绒装备,其特征在于:所述硅片输送机构(200)包括转盘(201)和硅片固定装置(203),动力单元与转盘(201)驱动连接,驱动转盘(201)在底座(100)上做间歇性圆周运动,转盘(201)上设置有定位孔(202),硅片固定装置(203)通过定位孔(202)安装于转盘(201)上,硅片固定装置(203)上设有卡槽。3.根据权利要求1所述的激光制绒装备,其特征在于:所述硅片上下料机构(300)包括机构支撑架(301)、气动伸缩杆(303)、滑块(304)、吸盘(305)、丝杠(306)以及导轨(307),机构支撑架(301)上安装导轨(307),滑块(304)置...
【专利技术属性】
技术研发人员:冯爱新,贾天代,陈欢,刘勇,
申请(专利权)人:温州大学,温州大学激光与光电智能制造研究院,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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