一种正面金属为银的瞬态电压抑制器制造技术

技术编号:18473776 阅读:104 留言:0更新日期:2018-07-18 23:19
本实用新型专利技术提出一种正面金属为银的瞬态电压抑制器,包括芯片本体,芯片本体的正面金属层采用铝铜或铝硅铜制作,背面金属层采用钛镍银制作,其中,正面金属层上具有附加金属层,附加金属层采用钛镍银制作。正面钛镍银中银的厚度大于3μm。附加金属层表面通过压焊连接正面极板,背面金属层表面通过压焊连接背面极板。该瞬态电压抑制器的正面金属为钛镍银,可以通过焊锡直接与极板压焊在一起,接触面积较大,能起到更好的接触,寄生电容较小。

A transient voltage suppressor with a positive metal as silver

The utility model provides a transient voltage suppressor with a positive metal as silver, which comprises a chip body, the front metal layer of the chip body is made of aluminum copper or aluminum silicon copper, and the back metal layer is made of titanium nickel silver, in which the metal layer is attached to the front metal layer and the additional gold layer is made of titanium nickel silver. The thickness of silver in the positive titanium nickel silver is more than 3 u m. The surface of the additional metal layer is connected to the front pole plate by pressure welding, and the surface of the back metal layer is connected to the back electrode plate by pressure welding. The front metal of the transient voltage suppressor is titanium nickel silver, which can be welded directly with the plate by welding tin. The contact area is larger, and the contact is better. The parasitic capacitance is small.

【技术实现步骤摘要】
一种正面金属为银的瞬态电压抑制器
本技术涉及半导体器件,尤其涉及一种正面金属为银的瞬态电压抑制器。
技术介绍
目前市场上的TVS芯片正面金属一般为铝铜(ALCU)和铝硅铜(ALSICU),封装时通过打线的方式,将正面金属和封装体引脚连接。正面金属铝铜(ALCU)和铝硅铜(ALSICU)存在以下不足之处:1、芯片与引脚间的串联电阻高;2、打线容易造成芯片内部损伤;3、连接不牢固,容易造成接触不良;4、寄生电容大。因此,有必要对这种进行结构优化,以克服上述缺陷。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种正面金属为银的瞬态电压抑制器,以保证接触良好,降低寄生电容。本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是:一种正面金属为银的瞬态电压抑制器,包括芯片本体,芯片本体的正面金属层采用铝铜或铝硅铜制作,背面金属层采用钛镍银制作,其中,正面金属层上具有附加金属层,附加金属层采用钛镍银制作。正面钛镍银中银的厚度大于3μm。附加金属层表面通过压焊连接正面极板,背面金属层表面通过压焊连接背面极板。本技术的优点在于:该瞬态电压抑制器的正面金属为钛镍银,可以通过焊锡直接与极板压焊在一起,接触面积较大,能起到更好的接触,寄生电容较小。附图说明图1是本技术提出的瞬态电压抑制器的结构示意图;图2是该瞬态电压抑制器的制作工艺流程图。具体实施方式为了使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合图示与具体实施例,进一步阐述本技术。如图1所示,本技术提出的正面金属为银的瞬态电压抑制器包括芯片本体1,芯片本体的正面金属层2采用铝铜或铝硅铜制作,背面金属层3采用钛镍银制作,其中,正面金属层上具有附加金属层4,附加金属层采用钛镍银制作。正面钛镍银中银的厚度大于3μm。附加金属层表面通过压焊连接正面极板5,背面金属层表面通过压焊连接背面极板6。该瞬态电压抑制器的制作工艺与一般设计的区别在于,接触孔刻蚀之前的工艺步骤一致,接触孔刻蚀后的工艺步骤有所不同,如图2,接触孔刻蚀后的工艺步骤如下:1、清洗,去除硅表面的氧化层等;2、AlSiCu溅射,金属总厚度一般4μm左右;3、AlSiCu光刻,包含涂胶、曝光、显影过程;4、AlSiCu刻蚀,采用湿法腐蚀;5、去除光刻胶,采用湿法去除晶圆表面的光刻胶;6、金属合金,温度保持400℃,持续时间30min;7、钝化淀积,采用USG+SI3N4;8、钝化层光刻,包含涂胶、曝光、显影过程;9、钝化刻蚀,采用干法刻蚀;10、去除光刻胶,采用湿法去胶;11、清洗,去除硅表面的氧化层等;12、TiNiAg蒸发,厚度分别为TiNiAg13、TiNiAg光刻,包含涂胶、曝光、显影过程;14、NiAg腐蚀,采用湿法腐蚀,Ag的腐蚀速率快,Ni的腐蚀速率慢,需适当控制;15、Ti腐蚀,采用湿法腐蚀;16、去除光刻胶,湿法去除晶圆表面的光刻。需要注意:1、正面TiNiAg的Ag的厚度要足够厚,大于3μm为佳;2、TiNiAg腐蚀工艺要求,在设计时要控制好最终需刻蚀掉的TiNiAg下方区域的台阶,要足够少,最好不要有台阶;3、TiNiAg腐蚀后,留有TiNiAg的区域需覆盖住孤立焊盘;4、封装时选用压焊代替打线。以上实施方式只为说明本技术的技术构思及特点,其目的在于让本领域的技术人员了解本技术的内容并加以实施,并不能以此限制本技术的保护范围,凡根据本技术精神实质所做的等效变化或修饰,都应涵盖在本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种正面金属为银的瞬态电压抑制器,包括芯片本体,芯片本体的正面金属层采用铝铜或铝硅铜制作,背面金属层采用钛镍银制作,其特征在于,正面金属层上具有附加金属层,附加金属层采用钛镍银制作。

【技术特征摘要】
1.一种正面金属为银的瞬态电压抑制器,包括芯片本体,芯片本体的正面金属层采用铝铜或铝硅铜制作,背面金属层采用钛镍银制作,其特征在于,正面金属层上具有附加金属层,附加金属层采用钛镍银制作。2.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴昊余晓明
申请(专利权)人:深圳傲威半导体有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

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