用于经模制引线框薄片的单个化组合件制造技术

本申请案涉及一种集成电路封装单个化组合件。用于经模制引线框薄片(142W)的单个化组合件包含锯切卡盘台(110)，所述锯切卡盘台(110)具有其中具有多个孔(114)的平坦上表面(115)。真空源(113)与所述多个孔(114)流体连通。与所述锯切卡盘台(110)以操作方式相关联的机械夹紧组合件(180)适于与支撑于所述锯切卡盘台(110)的所述平坦上表面(115)上的翘曲经模制引线框薄片(42W、142W)的预定部分可选择性地啮合。

Single modular assembly for molded lead frame sheets

The application relates to a single package for integrated circuit encapsulation. A single assembly for a molded lead frame sheet (142W) includes a sawing disc table (110), and the sawing chuck table (110) has a flat upper surface (115) with a plurality of holes (114). The vacuum source (113) is communicated with the plurality of holes (114). A mechanical clamping assembly (180) associated with the operating mode of the sawing table (110) is suitable for selectively engaging with a predetermined portion of the molded lead frame thin sheet (42W, 142W) warped on the flat upper surface (115) supported by the sawing chipping table (110).

【技术实现步骤摘要】
用于经模制引线框薄片的单个化组合件
本申请案涉及集成电路封装技术，且特定来说涉及一种集成电路封装单个化组合件。
技术介绍
制造集成电路(IC)封装的过程一般以引线框薄片(其一般为铜薄片)的冲压或蚀刻开始。典型引线框薄片具有数个单独嵌板，且每一嵌板包含整体地连接的引线框的阵列。虽然引线框仍整体地连接在引线框薄片上，但集成电路裸片附接到引线框中的每一者。这些裸片接着电附接到对应引线框，如通过线接合。在下一程序中，引线框薄片的每一嵌板部分中的引线框及相关联裸片囊封于熔化模制化合物中。模制化合物固化以成为包围整个引线框嵌板及相关联裸片的硬塑料块同时使每一引线框的若干部分通过模制化合物暴露。所执行的下一操作为切割(“单个化”或“切削”)囊封每一引线框嵌板的模制化合物块。在单个化期间，覆盖每一嵌板的经囊封块被切成多个更小块。为完成此，将引线框薄片放置在锯切卡盘台的顶部表面上。通过锯切卡盘台顶板中的孔施加真空。当由旋转锯片沿着多个“锯切道”锯切块时真空将引线框薄片牢固地固持到锯切卡盘台顶板。锯切道为布置成矩形网格的直线。网格矩形对应于每一引线框嵌板中的个别IC封装单元。在单个化之后对个别IC封装执行各种其它电镀及引线形成步骤。
技术实现思路
一种用于经模制引线框薄片的单个化组合件包含具有其中具有多个孔的平坦上表面的锯切卡盘台。真空源与所述多个孔流体连通。与所述锯切卡盘台以操作方式相关联的机械夹紧组合件适于与支撑于所述锯切卡盘台的所述平坦上表面上的翘曲经模制引线框薄片的预定部分可选择性地啮合。一种在具有支撑表面的锯切卡盘台上将翘曲经模制引线框薄片单个化的方法包含：将所述翘曲经模制引线框薄片放置在所述支撑表面上且通过所述支撑表面将真空力施加到所述翘曲经模制引线框薄片。所述方法还包含：将夹紧力施加到所述经模制引线框薄片直到在所述翘曲经模制引线框薄片与所述支撑表面之间产生真空密封为止。一种将包含平坦薄片及翘曲薄片的多个经模制引线框薄片单个化的方法。所述方法包含：将经模制引线框薄片放置在锯切卡盘台的支撑表面上且通过所述支撑表面将真空力施加到所述所放置薄片。所述方法还包含：确定所述薄片是平坦还是翘曲的。所述方法进一步包含：响应于确定所述薄片是翘曲的，将夹紧力施加到所述翘曲薄片直到在所述薄片与所述支撑表面之间形成真空密封为止，且接着去除所述夹紧力并将所述薄片的经模制部分单个化。所述方法还包含：响应于确定所述薄片是平坦的，将所述薄片的所述经模制部分单个化。附图说明图1是锯切卡盘台的顶板的等距俯视图。图2是具有图1中所展示的顶板的锯切卡盘台的等距视图且展示具有支撑于顶板上的经囊封引线框嵌板的引线框薄片。图3是由图1及2的锯切卡盘台顶板支撑的经囊封引线框薄片的示意性侧视立面图且展示通过产生引线框薄片与台之间的真空密封的真空而固持于适当位置中的引线框薄片。图4是由例如图1及2中所展示的锯切卡盘台顶板支撑的翘曲经囊封引线框薄片的示意性侧视立面图，其中未在薄片与台之间形成真空密封。图5是图4的锯切卡盘台及翘曲经囊封引线框薄片的侧视立面详图。图6是具有啮合图4的翘曲引线框薄片的夹紧组合件的锯切卡盘台的顶部等距视图。图7是图6的锯切卡盘台及经囊封引线框薄片的翘曲端部分的侧视立面详图，其中引线框薄片由夹紧组合件啮合。图8是处于夹紧位置中的图6的夹紧组合件的示意性等距详图。图9是处于夹紧位置中的图6的夹紧组合件的示意性侧视立面详图。图10是在具有顶部支撑表面的锯切卡盘台上将翘曲经模制引线框薄片单个化的方法的流程图。图11是将包括平坦薄片及翘曲薄片的多个经模制引线框薄片单个化的方法的流程图。具体实施方式图1是锯切卡盘台的顶板12的等距视图。多个真空孔14延伸穿过顶板12的顶部表面15。所述多个真空孔14定位于顶板12的单独的间隔开区域16、18、20中。图2是具有图1中所展示的顶板12的锯切卡盘台10的等距视图。经囊封引线框薄片42支撑于顶板12上。经囊封引线框薄片42包含第一经囊封引线框嵌板44、第二经囊封引线框嵌板46及第三经囊封引线框嵌板48。嵌板44、46、48由于其囊封于模制化合物40中而比未经囊封部分稍微厚一些。嵌板44、46、48由间隙52、54分开。每一嵌板44、46、48的位置对应于锯切卡盘台顶板12的单独含真空孔区域16、18、20(图1)中的每一者的位置。将在每一嵌板上沿着布置成矩形网格图案的锯切道43、45、47等将嵌板44、46、48单个化。通过沿着其对应锯切道(例如，锯切道43)锯切每一嵌板(例如嵌板44)，每一嵌板被切成多个矩形块。每一块对应于单独IC封装。如由图2进一步展示，除间隙52、54之外，经囊封引线框薄片42还具有未用模制化合物40囊封的外围端部分56、58及外围侧部分57、59。由于嵌板44、46、48用模制化合物40囊封，因此其比未经囊封部分52、54、56、57、58、59稍微厚一些。图3是支撑于锯切卡盘台10的顶板12上的经囊封引线框薄片42的示意性侧视立面图。引线框薄片42通过由在板12下面的真空供应源13施加的真空抽吸/力11固持于适当位置中，真空供应源13与区域16、18及20中的顶板12中的真空孔14(图3中展示仅两个代表性孔14)流体连通。如果薄片42是平坦的，那么真空力11足以将经囊封引线框薄片42与锯切卡盘台顶板12的顶部表面15以固定关系固持在一起。真空密封围绕薄片42的嵌板44、46、48的外围形成。此真空密封阻止真空洩漏且因此在经囊封引线框薄片42上维持恒定固持力。图4是翘曲经囊封引线框薄片42W的示意性侧视立面图，翘曲囊封引线框薄片42W与上文所描述的薄片42相同，只不过其是翘曲的。在此实例性实施例中，翘曲薄片42W的端部分72、74向上且远离顶板12的顶部表面15弯曲。真空力17不足以克服由薄片42W的翘曲端部分72、74施加的弹性恢复力19。换句话说，真空力17不具有足以使薄片端部分72、74向下偏转且抵靠顶板12固持薄片端部分72、74的量值。因此，薄片42W与锯切卡盘台顶板12的顶部表面15之间不存在真空密封。图5中展示其中发生真空泄漏21的薄片42W的端部分72中的一者，端部分72中的所述一者为图4的右端部分的细节。(此真空泄漏21在图5中表示为向内气流且包含在端74处的向内气流以及在端72处的向内气流。)真空泄漏21弱化本来在未发生真空泄漏21的情况下跨越薄片42W均匀地施加的真空力17。由真空泄漏21导致的真空力17的经减少量值妨碍薄片42W稳定地支撑于锯切卡盘台10上。此不稳定性干扰嵌板44、46、48沿着单个化锯切道43、45、47等(图2)的准确切割。申请人已借助具有对翘曲引线框薄片供应充足向下力以使其抵靠锯切卡盘台的顶部表面平坦化的夹紧组合件的锯切卡盘台克服上文所描述的与翘曲经囊封引线框薄片相关联的问题。抵靠台面的此平坦化使得能够在台面与翘曲薄片之间形成真空密封。下文参考图6到9描述此设备及其操作方法。图6是具有啮合翘曲经囊封引线框薄片142W(其可与上文参考图4所描述的翘曲经囊封引线框薄片42W相同)的夹紧组合件180的锯切卡盘台110的顶部等距视图。说明性实例性锯切卡盘台110与锯切卡盘台10相同，只不过其中并入有夹紧组合件180。图6及7中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于经模制引线框薄片的单个化组合件，其特征在于所述单个化组合件包括：锯切卡盘台，其具有其中具有多个孔的上表面；真空源，其与所述多个孔流体连通；及机械夹紧组合件，其与所述锯切卡盘台以操作方式相关联且适于与支撑于所述锯切卡盘台的所述上表面上的翘曲经模制引线框薄片的预定部分可选择性地啮合。

【技术特征摘要】
2016.11.15 US 15/352,3351.一种用于经模制引线框薄片的单个化组合件，其特征在于所述单个化组合件包括：锯切卡盘台，其具有其中具有多个孔的上表面；真空源，其与所述多个孔流体连通；及机械夹紧组合件，其与所述锯切卡盘台以操作方式相关联且适于与支撑于所述锯切卡盘台的所述上表面上的翘曲经模制引线框薄片的预定部分可选择性地啮合。2.根据权利要求1所述的单个化组合件，其特征在于所述夹紧组合件包括定位于所述锯切卡盘台的第一侧上的第一夹紧单元及定位于所述锯切卡盘台的与所述第一侧相对的第二侧上的第二夹紧单元。3.根据权利要求2所述的单个化组合件，其特征在于所述第一夹紧单元可围绕平行于所述锯切卡盘台的所述第一侧延伸的枢转轴线以枢转方式位移。4.根据权利要求3所述的单个化组合件，其特征在于所述第一夹紧单元包括适于啮合所述翘曲经模制引线框薄片的非模制边缘部分的伸长部件及附接到所述伸长部件且横向于所述伸长部件延伸的横向部件。5.根据权利要求4所述的单个化组合件，其特征在于所述横向部件以枢转方式附接到所述锯切卡盘台。6.根据权利要求3所述的单个化组合件，其特征在于所述第一夹紧单元可通过旋转式传动器旋转。7.根据权利要求1所述的单个化组合...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·J·希德劳，L·阿奎诺，J·友肃，
申请(专利权)人：德州仪器公司，
类型：新型
国别省市：美国,US