一种半导体生产线的节能装置制造方法及图纸

技术编号:18473758 阅读:19 留言:0更新日期:2018-07-18 23:18
本实用新型专利技术公开了一种半导体生产线的节能装置,包括箱体和活动箱16,所述箱体的左侧贯穿有进气管,进气管的左端固定安装有冷风外机,所述箱体内壁的两侧之间固定连接有过滤网,且箱体内壁的两侧之间位于过滤网的右侧固定连接有消毒网,所述吸板的右侧连通有加热管,所述水箱的底部贯穿有竖管,所述竖管的底端位于水箱外部一端贯穿箱体且延伸至箱体的内部,所述竖管延伸至箱体内部的一端与箱体内壁的底部固定连接,本实用新型专利技术涉及半导体生产节能设备技术领域。该半导体生产线的节能装置,冷却后的气体可以对需要的地方进行降温,同时可以用作压缩对装置进行除尘以及其他用途。使用十分方便,装置结构简单,实用性强。

An energy saving device for semiconductor production line

The utility model discloses an energy-saving device for a semiconductor production line, including a box and an active box 16. The left side of the box is penetrated with an inlet pipe, and the left end of the intake pipe is fixed with a cold air cooler. The two sides of the inner wall of the box are fixed with a filter net, and the two sides of the inner wall of the box are located on the right side of the filter net. The bottom end of the water tank is penetrated with a vertical tube, the bottom end of the vertical pipe is located on the outside end of the water tank and extends to the inner of the box, and the vertical pipe is extended to the inner part of the box and is fixed to the bottom of the inner wall of the box. The technology field of energy saving equipment for semiconductor production. The energy saving device of the semiconductor production line, the cooling gas can cool the place where it is needed, and can be used as a compression device for dust removal and other uses. The utility model has the advantages of convenient use, simple structure and strong practicability.

【技术实现步骤摘要】
一种半导体生产线的节能装置
本技术涉及半导体生产节能设备
,具体为一种半导体生产线的节能装置。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料,无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的,今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联,常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,而硅更是各种半导体材料中,在商业应用上最具有影响力的一种。半导体的应用十分广泛,半导体在生产的过程中,冷风机需要一直鼓风,这样外机就会产生较多的热量,但是现有半导体生产的过程中,这种热量没有得以利用,直接排放,不仅十分浪费资源,不节能而且不环保。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术提供了一种半导体生产线的节能装置,解决了现有半导体生产的过程中,这种热量没有得以利用,直接排放,不仅十分浪费资源,不节能而且不环保的问题。为实现以上目的,本技术通过以下技术方案予以实现:一种半导体生产线的节能装置,包括箱体和活动箱,所述箱体的左侧贯穿有进气管,所述进气管的左端固定安装有冷风外机,所述箱体内壁的两侧之间固定连接有过滤网,且箱体内壁的两侧之间位于过滤网的右侧固定连接有消毒网,所述箱体内壁的两侧之间位于消毒网的右侧固定连接有吸板,所述吸板的右侧连通有加热管,所述箱体的顶部固定连接有水箱,所述水箱的底部贯穿有竖管,所述竖管的底端位于水箱外部一端贯穿箱体且延伸至箱体的内部,所述竖管延伸至箱体内部的一端与箱体内壁的底部固定连接。优选的,所述加热管的右端贯穿箱体且延伸至箱体的外部,所述加热管的右端连通有连通管,且连通管上设置有增压泵。优选的,所述连通管的右端通过分流管分别连通有第一推动管和第二推动管,且第一推动管和第二推动管上分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀。优选的,所述活动箱左侧的顶部和底部分别与第一推动管和第二推动管连通,且活动箱内壁的两侧之间滑动连接有振动箱,所述振动箱的顶部和底部均固定连接有减震块。优选的,所述活动箱的右侧通过横管连通有气体箱,所述气体箱的右侧贯穿有降温板,所述气体箱内壁的底部固定连接有抽风机,所述抽风机的出气口连通有软管,所述软管的一端贯穿气体箱且延伸至气体箱的外部,所述软管延伸至气体箱外部的一端连通有喷头。优选的,所述竖管与加热管呈交叉设置,所述气体箱的顶部开设有通风条孔。有益效果本技术提供了一种半导体生产线的节能装置。具备以下有益效果:(1)、该半导体生产线的节能装置,通过箱体的左侧贯穿有进气管,所述进气管的左端固定安装有冷风外机,所述箱体内壁的两侧之间固定连接有过滤网,且箱体内壁的两侧之间位于过滤网的右侧固定连接有消毒网,所述箱体内壁的两侧之间位于消毒网的右侧固定连接有吸板,所述吸板的右侧连通有加热管,所述箱体的顶部固定连接有水箱,所述水箱的底部贯穿有竖管,所述竖管的底端位于水箱外部一端贯穿箱体且延伸至箱体的内部,所述竖管延伸至箱体内部的一端与箱体内壁的底部固定连接,可以有效的将产生的热气体进行收集,能够对气体进行过滤和消毒,防止对半导体生产造成影响,可以进行加热,对半导体生产过程中需要的热量进行一定程度的供给。(2)、该半导体生产线的节能装置,通过加热管的右端贯穿箱体且延伸至箱体的外部,所述加热管的右端连通有连通管,且连通管上设置有增压泵,所述连通管的右端通过分流管分别连通有第一推动管和第二推动管,且第一推动管和第二推动管上分别设置有第一电磁阀和第二电磁阀,所述活动箱左侧的顶部和底部分别与第一推动管和第二推动管连通,且活动箱内壁的两侧之间滑动连接有振动箱,所述振动箱的顶部和底部均固定连接有减震块,加热后的气体可以提供动力,对于需要摆动或者振动的装置提供能量,降低了能源的消耗。(3)、该半导体生产线的节能装置,通过活动箱的右侧通过横管连通有气体箱,所述气体箱的右侧贯穿有降温板,所述气体箱内壁的底部固定连接有抽风机,所述抽风机的出气口连通有软管,所述软管的一端贯穿气体箱且延伸至气体箱的外部,所述软管延伸至气体箱外部的一端连通有喷头,冷却后的气体可以对需要的地方进行降温,同时可以用作压缩对装置进行除尘以及其他用途,使用十分方便,装置结构简单,实用性强。附图说明图1为本技术整体的结构示意图;图2为本技术竖管和加热管的结构示意图;图3为本技术气体箱的结构示意图。图中:1-箱体、2-进气管、3-冷风外机、4-过滤网、5-消毒网、6-吸板、7-加热管、8-竖管、9-水箱、10-连通管、11-增压泵、12-第一推动管、13-第一电磁阀、14-第二推动管、15-第二电磁阀、16-活动箱、17-振动箱、18-减震块、19-气体箱、20-抽风机、21-软管、22-喷头、23-降温板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3,本技术提供一种技术方案:一种半导体生产线的节能装置,包括箱体1和活动箱16,箱体1的左侧贯穿有进气管2,进气管2的左端固定安装有冷风外机3,箱体1内壁的两侧之间固定连接有过滤网4,对气体进行过滤,且箱体1内壁的两侧之间位于过滤网4的右侧固定连接有消毒网5,对气体进行消毒,箱体1内壁的两侧之间位于消毒网5的右侧固定连接有吸板6,方便气体进入加热管7,吸板6的右侧连通有加热管7,竖管8与加热管7呈交叉设置,确保能够对竖管8进行升温,气体箱19的顶部开设有通风条孔,方便排放,箱体1的顶部固定连接有水箱9,水箱9的顶部贯穿有进水斗,水箱9的底部贯穿有竖管8,竖管8的底端位于水箱9外部一端贯穿箱体1且延伸至箱体1的内部,竖管8延伸至箱体1内部的一端与箱体1内壁的底部固定连接,加热管7的右端贯穿箱体1且延伸至箱体1的外部,加热管7的右端连通有连通管10,且连通管10上设置有增压泵11,对气体进行增压,连通管10的右端通过分流管分别连通有第一推动管12和第二推动管14,且第一推动管12和第二推动管14上分别设置有第一电磁阀13和第二电磁阀15,活动箱16左侧的顶部和底部分别与第一推动管12和第二推动管14连通,且活动箱16内壁的两侧之间滑动连接有振动箱17,活动箱16的内壁上开设有与振动箱17相适配的滑轨,振动箱17的顶部和底部均固定连接有减震块18,活动箱16的右侧通过横管连通有气体箱19,气体箱19的右侧贯穿有降温板23,气体箱19内壁的底部固定连接有抽风机20,抽风机20的出气口连通有软管21,软管21的一端贯穿气体箱19且延伸至气体箱19的外部,软管21延伸至气体箱19外部的一端连通有喷头22,可以有效的将产生的热气体进行收集,能够对气体进行过滤和消毒,防止对半导体生产造成影响,可以进行加热,对半导体生产过程中需要的热量进行一定程度的供给,加热后的气体可以提供动力,对于需要摆动或者振动的装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体生产线的节能装置,包括箱体(1)和活动箱(16),其特征在于:所述箱体(1)的左侧贯穿有进气管(2),所述进气管(2)的左端固定安装有冷风外机(3),所述箱体(1)内壁的两侧之间固定连接有过滤网(4),且箱体(1)内壁的两侧之间位于过滤网(4)的右侧固定连接有消毒网(5),所述箱体(1)内壁的两侧之间位于消毒网(5)的右侧固定连接有吸板(6),所述吸板(6)的右侧连通有加热管(7),所述箱体(1)的顶部固定连接有水箱(9),所述水箱(9)的底部贯穿有竖管(8),所述竖管(8)的底端位于水箱(9)外部一端贯穿箱体(1)且延伸至箱体(1)的内部,所述竖管(8)延伸至箱体(1)内部的一端与箱体(1)内壁的底部固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种半导体生产线的节能装置,包括箱体(1)和活动箱(16),其特征在于:所述箱体(1)的左侧贯穿有进气管(2),所述进气管(2)的左端固定安装有冷风外机(3),所述箱体(1)内壁的两侧之间固定连接有过滤网(4),且箱体(1)内壁的两侧之间位于过滤网(4)的右侧固定连接有消毒网(5),所述箱体(1)内壁的两侧之间位于消毒网(5)的右侧固定连接有吸板(6),所述吸板(6)的右侧连通有加热管(7),所述箱体(1)的顶部固定连接有水箱(9),所述水箱(9)的底部贯穿有竖管(8),所述竖管(8)的底端位于水箱(9)外部一端贯穿箱体(1)且延伸至箱体(1)的内部,所述竖管(8)延伸至箱体(1)内部的一端与箱体(1)内壁的底部固定连接。2.根据权利要求1所述的一种半导体生产线的节能装置,其特征在于:所述加热管(7)的右端贯穿箱体(1)且延伸至箱体(1)的外部,所述加热管(7)的右端连通有连通管(10),且连通管(10)上设置有增压泵(11)。3.根据权利要求2所述的一种半导体生产线的节能装置,其特征在于:所述连通管(10)的右端通过分流管分...

【专利技术属性】
技术研发人员:张俊杰
申请(专利权)人:上海图双精密装备有限公司
类型:新型
国别省市:上海,31

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