The utility model provides an electrode plate cleaning device, which includes a box body, a supporting part in the box body, an electrode plate on the supporting part, a plasma nozzle at the top of the box, a connector on the side of the electrode plate, a connecting piece with a push and pull device, and a push and pull to control the reciprocating motion of the connecting parts. A number of grooves are arranged on the electrode plate. It has the following beneficial effects: by way of hurdle grooves on the electrode plate, the flow and overflow of the reaction gas are greatly enhanced. When the multi row electrode is cleaned, the electrode plate is misplaced to make the plasma gas contact evenly on the different fence grooves, the uniformity of the product is greatly improved and the power load is partly reduced.
【技术实现步骤摘要】
一种电极板清洗装置
本技术属于等离子清洗
,具体涉及一种电极板清洗装置。
技术介绍
现有的真空等离子清洗处理设备,是将整块电极板水平放置在清洗装置内,这种结构不利于等离子气体的流通、溢散,影响处理整批产品的均匀性,且当大量的电极板待清洗时,处理速度慢;整片板的结构会给电源负载增加很多压力,被迫选择功率较大的电源。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提出了一种电极板清洗装置,包括箱体,箱体内设置支撑件,支撑件上放置电极板,箱体的顶部设置等离子喷嘴;若干个电极板的侧面连接有连接件,连接件与推拉装置连接,推拉装置用于控制连接件的往复运动;电极板上设置若干个槽。优选的,推拉装置设置为气缸或齿轮齿条与电机连接的传动装置。优选的,槽设置为栅栏状,在电极板上平行设置若干个。优选的,电极板从上到下与连接件交错连接。优选的,支撑件设置为网状。本技术有以下有益效果:通过在电极板上开设栅栏槽的方式,很大程度上增强了反应气体的流通,溢散性。且多排电极板清洗时,将电极板错位运动,使等离子气体在不同的栅栏槽上均匀接触,产品的均匀性显著提高,电源负载也有部分降低。。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本技术一种电极板清洗装置的结构示意图;图2为本技术一种电极板清洗装置的电极板的结构示意图;图3为本技术一种电极板清洗装置的支撑件的俯视图;其中,1、电极板;11、栅栏槽;12、电极接入头;1’、错位电极板;2、箱体;21、支撑件;3、气缸;31、连接件;4、等离子喷嘴。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本 ...
【技术保护点】
1.一种电极板清洗装置,其特征在于:包括箱体,所述箱体内设置支撑件,所述支撑件上放置电极板,所述箱体的顶部设置等离子喷嘴;若干个所述电极板的侧面连接有连接件,所述连接件与推拉装置连接,所述推拉装置用于控制所述连接件的往复运动;所述电极板上设置若干个槽。
【技术特征摘要】
1.一种电极板清洗装置,其特征在于:包括箱体,所述箱体内设置支撑件,所述支撑件上放置电极板,所述箱体的顶部设置等离子喷嘴;若干个所述电极板的侧面连接有连接件,所述连接件与推拉装置连接,所述推拉装置用于控制所述连接件的往复运动;所述电极板上设置若干个槽。2.根据权利要求1所述的一种电极板清洗装置,其特征在于:所述推拉装置...
【专利技术属性】
技术研发人员:张斌,
申请(专利权)人:昆山国华电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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