一种电极板清洗装置制造方法及图纸

技术编号:18473747 阅读:19 留言:0更新日期:2018-07-18 23:17
本实用新型专利技术提出了一种电极板清洗装置,包括箱体,箱体内设置支撑件,支撑件上放置电极板,箱体的顶部设置等离子喷嘴;若干个电极板的侧面连接有连接件,连接件与推拉装置连接,推拉装置用于控制连接件的往复运动;电极板上设置若干个槽。有以下有益效果:通过在电极板上开设栅栏槽的方式,很大程度上增强了反应气体的流通,溢散性。且多排电极板清洗时,将电极板错位运动,使等离子气体在不同的栅栏槽上均匀接触,产品的均匀性显著提高,电源负载也有部分降低。

A cleaning device for electrode plate

The utility model provides an electrode plate cleaning device, which includes a box body, a supporting part in the box body, an electrode plate on the supporting part, a plasma nozzle at the top of the box, a connector on the side of the electrode plate, a connecting piece with a push and pull device, and a push and pull to control the reciprocating motion of the connecting parts. A number of grooves are arranged on the electrode plate. It has the following beneficial effects: by way of hurdle grooves on the electrode plate, the flow and overflow of the reaction gas are greatly enhanced. When the multi row electrode is cleaned, the electrode plate is misplaced to make the plasma gas contact evenly on the different fence grooves, the uniformity of the product is greatly improved and the power load is partly reduced.

【技术实现步骤摘要】
一种电极板清洗装置
本技术属于等离子清洗
,具体涉及一种电极板清洗装置。
技术介绍
现有的真空等离子清洗处理设备,是将整块电极板水平放置在清洗装置内,这种结构不利于等离子气体的流通、溢散,影响处理整批产品的均匀性,且当大量的电极板待清洗时,处理速度慢;整片板的结构会给电源负载增加很多压力,被迫选择功率较大的电源。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提出了一种电极板清洗装置,包括箱体,箱体内设置支撑件,支撑件上放置电极板,箱体的顶部设置等离子喷嘴;若干个电极板的侧面连接有连接件,连接件与推拉装置连接,推拉装置用于控制连接件的往复运动;电极板上设置若干个槽。优选的,推拉装置设置为气缸或齿轮齿条与电机连接的传动装置。优选的,槽设置为栅栏状,在电极板上平行设置若干个。优选的,电极板从上到下与连接件交错连接。优选的,支撑件设置为网状。本技术有以下有益效果:通过在电极板上开设栅栏槽的方式,很大程度上增强了反应气体的流通,溢散性。且多排电极板清洗时,将电极板错位运动,使等离子气体在不同的栅栏槽上均匀接触,产品的均匀性显著提高,电源负载也有部分降低。。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本技术一种电极板清洗装置的结构示意图;图2为本技术一种电极板清洗装置的电极板的结构示意图;图3为本技术一种电极板清洗装置的支撑件的俯视图;其中,1、电极板;11、栅栏槽;12、电极接入头;1’、错位电极板;2、箱体;21、支撑件;3、气缸;31、连接件;4、等离子喷嘴。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。如图1-图3所示,本技术提出了一种电极板1清洗装置,包括箱体2,箱体2内设置支撑件21,支撑件21上放置电极板1,箱体2的顶部设置等离子喷嘴4;若干个电极板1的侧面连接有连接件31,连接件31与推拉装置连接,推拉装置用于控制连接件31的往复运动;具体地,推拉装置设置为气缸3或齿轮齿条与电机连接的传动装置,本实施例选用气缸3作为该推拉装置,气缸3的输出端连接着连接件31,由连接件31连接着错位电极板1’运动,等离子喷嘴4将等离子气体喷出,喷出的气体与下方的电极板1和错位电极板1’的表面发生反应;电极板1从上到下与连接件31交错连接,即电极板1一个间一个的与连接件31连接做往复的推拉运动。电极板1上设置若干个槽;槽设置为栅栏状,在电极板1上平行设置若干个;由于电极板1用于连接电源的正负极,电极板1的表面无特殊的安装要求,因此在电极板1的表面开槽不影响电极板1的正常使用和正常属性,但能增强了电极板1之间的等离子反应气体的流通和溢散性;通过设置为平行设置的栅栏状的槽,当气缸3带动错位电极板1’做交替运动时,电极板1与错位电极板1’之间的位置不断发生变化,从而同一竖直面内的槽之间的位置也不断发生变化,有利于反应气体更均匀的与电极板1和错位电极板1’反应。支撑件21设置为网状,如图3所示,支撑件21将不影响电极板1本身发生的反应,且方便气体的流动,不产生负面的影响。对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电极板清洗装置,其特征在于:包括箱体,所述箱体内设置支撑件,所述支撑件上放置电极板,所述箱体的顶部设置等离子喷嘴;若干个所述电极板的侧面连接有连接件,所述连接件与推拉装置连接,所述推拉装置用于控制所述连接件的往复运动;所述电极板上设置若干个槽。

【技术特征摘要】
1.一种电极板清洗装置,其特征在于:包括箱体,所述箱体内设置支撑件,所述支撑件上放置电极板,所述箱体的顶部设置等离子喷嘴;若干个所述电极板的侧面连接有连接件,所述连接件与推拉装置连接,所述推拉装置用于控制所述连接件的往复运动;所述电极板上设置若干个槽。2.根据权利要求1所述的一种电极板清洗装置,其特征在于:所述推拉装置...

【专利技术属性】
技术研发人员:张斌
申请(专利权)人:昆山国华电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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