一种格栅式电极板等离子处理真空腔制造技术

本实用新型专利技术提出了一种格栅式电极板等离子处理真空腔，包括真空腔体，所述真空腔体上转动连接有门体，所述门体上设有密封圈；所述真空腔体内顶部和底部设有阴极板，顶部的所述阴极板下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板设置的阳极板；所述卡槽内卡合有板体定位机构，所述板体定位机构上连接有手拉板；所述阳极板表面排列设有开槽，本真空腔体将垂直的电极板开槽变成栅栏式，在保证电极板强度和不影响反应区面积的情况下，解决反应气体的流通，溢散不畅，产品的均匀性不好，电源负载大的问题；将电极和产品固定都设置成竖直结构，能够保证每个产品与气体接触均匀。

A grid type electrode plate plasma treatment vacuum cavity

The utility model provides a grid type electrode plate plasma processing vacuum cavity, including a vacuum cavity, the vacuum cavity is connected with a door body, the door body is provided with a seal ring, the top and the bottom of the vacuum chamber are provided with a cathode plate, and the lower surface of the cathode plate at the top is arranged with a number of card grooves. There are several anode plates perpendicular to the cathode plate between the card grooves. The card slot is stuck with a plate body positioning mechanism, and the plate body positioning mechanism is connected with a hand pulling plate. The surface of the anode plate is arranged with a slot, and the true cavity body turns the vertical electrode plate slot into a fence type, so as to ensure the strength and not the electrode plate. When the area of the reaction zone is affected, the flow of reaction gas is solved, the overflow is not smooth, the uniformity of the product is not good, the power load is large, the electrode and the product are fixed to a vertical structure, which can ensure the uniform contact of each product with the gas.

【技术实现步骤摘要】
一种格栅式电极板等离子处理真空腔
本技术涉及等离子处理设备领域，尤其涉及格栅式电极板等离子处理真空腔。
技术介绍
等离子清洗机(plasmacleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。现有真空离子处理设备水平结构的电极板为保证放电面积和节约加工本都是使用整块电极板结构，这种结构不利于反应气体的流通，溢散，影响处理整批产品的均匀性，且整片板的结构会给电源负载增加很多压力被迫选择功率较大的电源。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提出了一种格栅式电极板等离子处理真空腔，包括真空腔体，所述真空腔体上转动连接有门体，所述门体上设有密封圈；所述真空腔体内顶部和底部设有阴极板，顶部的所述阴极板下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板设置的阳极板；所述卡槽内卡合有板体定位机构，所述板体定位机构上连接有手拉板；所述阳极板表面排列设有开槽。优选的，所述板体定位机构包括T形卡合板，所述T形卡合板下部设有定位架，所述定位架包括两块定位卡块，所述定位卡块下设有卡位，所述定位卡块下部设有定位杆所述定位杆下部设有底部支撑机构。优选的，所述底部支撑机构包括连接于所述定位杆上的卡合块，所述卡合块上设有定位钉，两个定位杆之间的卡合块上连接有支撑板。本技术提出的格栅式电极板等离子处理真空腔有以下有益效果：1、将垂直的电极板开槽变成栅栏式，在保证电极板强度和不影响反应区面积的情况下，解决反应气体的流通，溢散不畅，产品的均匀性不好，电源负载大的问题；2、将电极和产品固定都设置成竖直结构，能够保证每个产品与气体接触均匀。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本技术的结构示意图；图2为本技术的板体定位机构的示意图；图3为本技术的阳极板的示意图；其中，1、真空腔体；2、门体；3、密封圈；4、阴极板；5、手拉板；6、阳极板；7、开槽；8、T形卡合板；9、定位卡块；10、定位杆；11、卡合块；12、定位钉；13、支撑板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。如图1、图2、图3所示，本技术提出了一种格栅式电极板等离子处理真空腔，包括真空腔体1，所述真空腔体1上转动连接有门体2，所述门体2上设有密封圈3，门体2盖合于真空腔上时，密封圈3将门体2密封闭合，保证真空腔体1的密封性；所述真空腔体1内顶部和底部设有阴极板4，顶部的所述阴极板4下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板4设置的阳极板6，所述卡槽内卡合有板体定位机构，定位机构和阳极板6相错设置，定位机构用于固定产品，一般为片形的玻璃制品，或者PCB板等，将产品竖直排列设置，保证每块板体能够均匀与流体接触，保证表面处理的均匀性。具体的说：所述板体定位机构包括T形卡合板8，T形卡合板8为磁性材料，能够压于卡槽内，沿着卡槽滑动，所述T形卡合板8下部设有定位架，所述定位架包括两块定位卡块9，所述定位卡块9下设有卡位，产品卡于卡位内，所述定位杆10限定位置，所述定位杆10下部设有底部支撑机构，支撑机构能够限定产品底部位置，根据不同规格大小的产品进行限定。所述板体定位机构上连接有手拉板5，拉动手拉板5，能够将整排的T形卡合板8拉出，便于产品的上下料；所述阳极板6表面排列设有开槽7，能在增强了反应气体的流通，溢散性，提高产品的均匀性，降低，电源负载上有比较明显的改善。其中，所述底部支撑机构包括连接于所述定位杆10上的卡合块11，所述卡合块11上设有定位钉12，两个定位杆10之间的卡合块11上连接有支撑板13，卡合块11通过定位钉12固定于定位杆10上，将支撑杆限定于定位杆10下部，支撑板13能够在定位杆10上上下活动，便于支撑不同大小的产品。对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种格栅式电极板等离子处理真空腔，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体上转动连接有门体，所述门体上设有密封圈；所述真空腔体内顶部和底部设有阴极板，顶部的所述阴极板下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板设置的阳极板；所述卡槽内卡合有板体定位机构，所述板体定位机构上连接有手拉板；所述阳极板表面排列设有开槽。

【技术特征摘要】
1.一种格栅式电极板等离子处理真空腔，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体上转动连接有门体，所述门体上设有密封圈；所述真空腔体内顶部和底部设有阴极板，顶部的所述阴极板下表面排列设置有若干卡槽，所述卡槽之间设置有若干垂直于所述阴极板设置的阳极板；所述卡槽内卡合有板体定位机构，所述板体定位机构上连接有手拉板；所述阳极板表面排列设有开槽。2.根据权利要求1所述的格栅式电极板等离...

【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，
申请(专利权)人：昆山国华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32