一种针对卷材的真空等离子设备制造技术

本实用新型专利技术提出了一种针对卷材的真空等离子设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框，所述外框内设有竖直排列的若干电极板，所述电极板之间的外框上设有通孔；所述外框侧边通过铰链连接有进气门，所述进气门上连接有进气管，本设备专门针对卷性材料的真空等离子设备，将有效的收卷、放卷功能集成到真空腔体内，能够成功的将收卷放卷功能增加到真空等离子的腔体内，并确保收放的松紧度合适，整齐度良好，等离子处理效果良好。

A vacuum plasma equipment for rolling material

The utility model provides a vacuum plasma device for a rolling material, including a vacuum chamber. The vacuum chamber is provided with an electrode group and a rolling material conveying device. The electrode group includes a outer frame, and the outer frame is provided with a number of electrode plates arranged vertically, and the outer frame between the electrode plates is provided with a through hole; the outer frame side is provided. The intake valve is connected with the inlet valve through the hinges. The intake valve is connected with the inlet pipe. The equipment is specially designed for the vacuum plasma equipment of the volume material. The effective rewinding and rewinding function is integrated into the vacuum chamber. The rewinding function can be successfully added to the cavity of the vacuum plasma and the tightness of the reeling is ensured. Suitable, neat and good plasma treatment effect.

【技术实现步骤摘要】
一种针对卷材的真空等离子设备
本技术涉及等离子处理设备领域，尤其涉及针对卷材的真空等离子设备。
技术介绍
等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光。等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。现有技术中，一般的等离子设备使用的竖直电极板，一般将需要清洗的产品放置于电极板上，但对于一些特殊材料，比如卷材等，等离子设备中需要保持真空状态，固必须在腔体内设置卷材输送的结构，但现有的设备中并没有此类设备。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提出了一种针对卷材的真空等离子设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框，所述外框内设有竖直排列的若干电极板，所述电极板之间的外框上设有通孔；所述外框侧边通过铰链连接有进气门，所述进气门上连接有进气管；所述卷材输送装置包括放线辊、收线辊、若干导向辊和纠偏装置，所述放线辊和收线辊上分别连接有伺服电机；所述通孔处分别设有所述导向辊。优选的，所述纠偏装置包括固定底板，所述固定底板上设置有气缸，所述气缸输出端连接有滑动板，所述滑动板上活动连接有固定板，所述固定板上设有两个纠偏辊，所述固定板下部设有若干C形块和卡合轮，所述卡合轮卡合于所述C形块内。优选的，所述通孔内设有亚克力层套。优选的，所述电极板包括板体，所述板体上部和下部分别排列设置有若干导流孔。优选的，所述真空腔体上设有门体，所述门体上设有透视窗。本技术提出的针对卷材的真空等离子设备有以下有益效果：本设备专门针对卷性材料的真空等离子设备，将有效的收卷、放卷功能集成到真空腔体内，能够成功的将收卷放卷功能增加到真空等离子的腔体内，并确保收放的松紧度合适，整齐度良好，等离子处理效果良好。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。图1为本技术的腔体内部结构示意图；图2为本技术的电极板的结构示意图；其中，1、真空腔体；2、外框；3、电极板；4、通孔；5、进气门；6、进气管；7、放线辊；8、收线辊；9、导向辊；10、固定底板；11、气缸；12、滑动板；13、固定板；14、纠偏辊；15、C形块；16、卡合轮；17、导流孔；18、门体；19、透视窗。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。如图1、图2所示，本技术提出了一种针对卷材的真空等离子设备，包括真空腔体1，所述真空腔体1内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框2，所述外框2内设有竖直排列的若干电极板3，所述电极板3之间的外框2上设有通孔4；所述外框2侧边通过铰链连接有进气门5，所述进气门5上连接有进气管6；所述卷材输送装置包括放线辊7、收线辊8、若干导向辊9和纠偏装置，所述放线辊7和收线辊8上分别连接有伺服电机；放线辊7和收线辊8都位于真空腔体1的下方；所述通孔4处分别设有所述导向辊9。本设备的工作方式是：将卷材放置于放线辊7上，并将卷材拉出，经过下部的导向辊9，沿着导向辊9穿过外框2的通过，并经过电极板3之间，并通过各个导向辊9成S形，在不同的电极板3之间穿过，能够增加在电极板3之间经过的时间，通过电极板3之间时，外框2上的进气门5从进气管6通稀有气体进入后，电离对卷材进行清洗，最终伸出外框2，并经过纠偏装置，收到收线辊8上。其中，所述纠偏装置包括固定底板10，所述固定底板10上设置有气缸11，所述气缸11输出端连接有滑动板12，所述滑动板12上活动连接有固定板13，所述固定板13上设有两个纠偏辊14，所述固定板13下部设有若干C形块15和卡合轮16，所述卡合轮16卡合于所述C形块15内，C形块15和卡合轮16分别设置在滑动板12的四个角上，两个C形块15上设有轴，卡合轮16套于轴上，两个卡合轮16卡于C形块15内，由于长时间传送，卷材会发生偏移，纠偏装置上的气缸11，能够推动整个滑动板12，根据卷材在纠偏辊14上的位置进行调整，同时设置的多个C形块15，与卡合轮16卡合，当拉动卷材时，能够略微进行浮动调整。优选的，所述通孔4内设有亚克力层套，防止卷材在外框上出现磨损的现象。为了增加电离气体的流通形，所述电极板3包括板体，所述板体上部和下部分别排列设置有若干导流孔17，增设了导流孔17后，气体能够在电极之间接触更充分，电离效果更好。为了保证真空腔体1的密封性，所述真空腔体1上设有门体18，门体18上设置密封圈，所述门体18上设有透视窗19，能过通过透视窗19查看内部的电离情况。对实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种针对卷材的真空等离子设备，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框，所述外框内设有竖直排列的若干电极板，所述电极板之间的外框上设有通孔；所述外框侧边通过铰链连接有进气门，所述进气门上连接有进气管；所述卷材输送装置包括放线辊、收线辊、若干导向辊和纠偏装置，所述放线辊和收线辊上分别连接有伺服电机；所述通孔处分别设有所述导向辊。

【技术特征摘要】
1.一种针对卷材的真空等离子设备，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框，所述外框内设有竖直排列的若干电极板，所述电极板之间的外框上设有通孔；所述外框侧边通过铰链连接有进气门，所述进气门上连接有进气管；所述卷材输送装置包括放线辊、收线辊、若干导向辊和纠偏装置，所述放线辊和收线辊上分别连接有伺服电机；所述通孔处分别设有所述导向辊。2.根据权利要求1所述的针对卷材的真空等离子设备，其特征在于，所述纠偏装置包括固定底板，所述固定底板上设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：张斌，
申请(专利权)人：昆山国华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32