工作台装置、输送装置和半导体制造装置制造方法及图纸

技术编号:18473501 阅读:28 留言:0更新日期:2018-07-18 23:03
本实用新型专利技术涉及工作台装置、输送装置和半导体制造装置,其中,工作台装置(100)包括:第一部件(1),其能够在规定面内移动;第二部件(2),其能够相对于第一部件进行相对移动;第一导向装置(4),其至少一部分配置于第一部件,引导第二部件以使第二部件通过第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动,第一轴与规定面正交;工作台,其具有由第二部件支承的第一部分;以及多个第二导向装置(5),其至少一部分与工作台的多个第二部分分别连接,引导工作台以使工作台在与第一轴平行的方向上移动,上述多个第二部分以包围第一部分的方式配置。

Table device, conveying device and semiconductor manufacturing device

The utility model relates to a workbench device, a conveying device and a semiconductor manufacturing device, in which a workbench device (100) comprises a first part (1), which can move within a specified surface; the second part (2) can move relative to the first part; the first guide device (4) is at least one distribution. In the first part, the second part is guided to move the second part in a direction parallel to the first axis in a direction parallel to the first axis, and the first axis is orthogonal to the face; the worktable has a first part supported by a second part; and a plurality of second guiding devices (5), at least one part of the table and a plurality of worktable. The second parts are connected separately, and the worktable is guided to move the worktable in the direction parallel to the first axis, and the above second parts are configured to encircle the first part.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】工作台装置、输送装置和半导体制造装置
本技术涉及工作台装置、输送装置和半导体制造装置。
技术介绍
在输送装置中,使用例如如专利文献1中公开的设置有能够移动的工作台的工作台装置。专利文献1:日本特开2004-195620号公报
技术实现思路
在工作台装置中,如果在需要使工作台沿目标轨道移动时,该工作台偏离目标轨道,则有可能导致设置有该工作台装置的输送装置的性能降低。例如虽然需要使工作台在铅垂方向上笔直地移动,但是如果该工作台不笔直地移动,则工作台的定位精度降低。由此,有可能无法将载置于该工作台上的物体配置于期望的位置。本技术的目的在于提供一种能够使工作台沿目标轨道移动的工作台装置。此外,本技术的目的在于提供一种能够抑制性能降低的输送装置。本技术的第一形态,提供一种工作台装置,其包括:第一部件,其能够在规定面内移动;第二部件,其能够相对于上述第一部件进行相对移动;第一导向装置,其至少一部分配置于上述第一部件,引导上述第二部件以使上述第二部件通过上述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动,上述第一轴与上述规定面正交;工作台,其具有由上述第二部件支承的第一部分;以及多个第二导向装置,其至少一部分与上述工作台的多个第二部分分别连接,引导上述工作台以使述工作台在与上述第一轴平行的方向上移动,上述多个第二部分以包围上述第一部分的方式配置。根据本技术的第一形态,由于以包围第二部件的方式设置多个第二导向装置,能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。第二导向装置在与第一轴平行的方向上对工作台进行引导。因此,工作台能够在与第一轴平行的方向上笔直地移动。由此,能够抑制工作台的定位精度的降低。因此,能够将工作台及由该工作台支承的物体配置在目标位置。在本技术的第一形态中,也可以是上述第一部分在上述规定面内包含上述工作台的中央部,上述第二部分在上述规定面内配置于上述工作台的边缘部。由此,能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。在本技术的第一形态中,也可以是在上述规定面内上述工作台呈矩形,上述第二导向装置与上述工作台的四个角部分别连接。由此,能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。在本技术的第一形态中,也可以是上述第一部分包含上述工作台的重心,上述第一部分与规定于上述角部的多个上述第二部分中的每个第二部分之间的距离都相等。由此,能够使工作台沿目标轨道高精度地移动。在本技术的第一形态中,也可以是上述第一导向装置具有直线运动式滚动轴承,该滚动轴承包括:第一导轨;以及第一滑动件,其能够相对于上述第一导轨进行相对移动,上述第二导向装置具有直线运动式滚动轴承,该滚动轴承包括:第二导轨;以及第二滑动件,其能够相对于上述第二导轨进行相对移动。由此,第一导向装置和第二导向装置能够分别对工作台进行高精度的引导。在本技术的第一形态中,也可以是上述第二滑动件在与上述第一轴平行的方向上配置有多个。由此,第二导向装置能够对工作台进行高精度的引导。在本技术的第一形态中,也可以是包括:致动器,其产生动力,以使上述第一部件在与上述规定面内的第二轴平行的方向上移动;以及第三导向装置,其在与上述第二轴平行的方向上对上述第一部件进行引导,上述第三导向装置具有直线运动式滚动轴承,该滚动轴承包括:第三导轨;以及第三滑动件,其能够相对于上述第三导轨进行相对移动。由此,第一导向装置、第二导向装置和第三导向装置分别由直线运动式滚动轴承构成。因此,能够分别在与第一轴平行的方向和与第二轴平行的方向上对工作台进行高精度的引导。在本技术的第一形态中,也可以是上述第三导轨配置于上述第一部件,且上述第三滑动件被固定。由此,即使第一部件移动,第三滑动件的位置也不变。因此,第一部件能够经由第二部件稳定地支承工作台。本技术的第二形态提供具有第一形态的工作台装置的输送装置。根据本技术的第二形态,能够抑制输送装置的性能降低。因此,能够将由工作台支承的物体输送到目标位置。本技术的第三形态提供具有第一形态的工作台装置的半导体制造装置。根据本技术的工作台装置,能够抑制工作台脱离目标轨道。此外,根据本技术的输送装置,能够抑制性能降低。附图说明图1是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的主视图。图2是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的俯视图。图3是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的侧视图。图4是表示第一实施方式涉及的工作台装置的一个示例的侧视图。图5是将第一实施方式涉及的工作台装置的一部分放大的图。图6是表示第一实施方式涉及的导向装置的一个示例的图。图7是用于说明第一实施方式涉及的工作台与导向装置的位置关系的示意图。图8是表示第二实施方式涉及的输送装置和半导体制造装置的一个示例的图。图9是表示第二实施方式涉及的输送装置和检查装置的一个示例的图。符号说明1第一部件2第二部件4导向装置5导向装置6支承部件7致动器8基座部件9导向装置10工作台10P部分10R部分11动力传递装置41导轨42滑动件51导轨52滑动件91导轨92滑动件100工作台装置200半导体制造装置300输送装置400检查装置具体实施方式以下,参照附图来说明本技术的实施方式。本技术不限于该实施方式。以下说明的各实施方式的要素能够适当组合。此外,也存在不使用一部分结构要素的情况。在以下的说明中,设定XYZ正交坐标系,参照该XYZ正交坐标系对各部的位置关系进行说明。设规定面内的一个方向为X轴方向,在规定面内与X轴方向正交的方向为Y轴方向,与X轴方向及Y轴方向都正交的方向为Z轴方向。此外,分别将围绕X轴、Y轴和Z轴的旋转(倾斜)方向设为θX、θY和θZ方向。X轴与YZ平面正交。Y轴与XZ平面正交。Z轴与XY平面正交。XY平面与规定面平行。在本实施方式中,设为XY平面与水平面平行。Z轴方向是铅垂方向。第一实施方式对第一实施方式进行说明。图1是表示本实施方式涉及的工作台装置100的一个示例的主视图。图2是从+Z侧观察图1的工作台装置100的俯视图。图3是从-X侧观察图1的工作台装置100的侧视图。图4是从+X侧观察图1的工作台装置100的侧视图。图5是将图1的一部分放大的图。工作台装置100包括:工作台10,其能够支承物体S;第一部件1,其能够在XY平面内(水平面内)移动;第二部件2,其能够相对于第一部件1相对移动;导向装置4,其至少一部分配置于第一部件1,通过第一部件1的移动引导第二部件2以使第二部件2在Z轴方向上移动;以及多个导向装置5,其至少一部分与工作台10连接,引导工作台10以使工作台10在Z轴方向上移动。工作台装置100具有基座部件8。在本实施方式中,基座部件8包括:第一基座部件81、以及支承第一基座部件81的第二基座部件82。基座部件8例如配置于设置工作台装置100的设施的地面等。设施例如包括工厂。工作台10具有朝向+Z方向的上表面10A、以及朝向上表面10A的相反方向(-Z方向)的下表面10B。物体S载置于工作台10的上表面10A。上表面10A能够支承物体S。工作台10包括部分10P以及多个部分10R。多个部分10R以包围部分10P的方式配置。在XY平面内部分10P包含工作台10的中央部。工作台10的部分10P包含工作台10在XY平面内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工作台装置,其特征在于,包括:第一部件,其能够在规定面内移动;第二部件,其能够相对于所述第一部件进行相对移动;第一导向装置,其至少一部分配置于所述第一部件,引导所述第二部件以使所述第二部件通过所述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动,所述第一轴与所述规定面正交;工作台,其具有由所述第二部件支承的第一部分;以及多个第二导向装置,其至少一部分与所述工作台的多个第二部分分别连接,引导所述工作台以使所述工作台在与所述第一轴平行的方向上移动,所述多个第二部分以包围所述第一部分的方式配置,在所述规定面内所述工作台呈矩形,所述第二导向装置与所述工作台的四个角部分别连接,四个所述第二导向装置分别连接于在所述规定面内与所述工作台的重心在放射方向上距离相等的所述第二部分。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.02.17 JP 2014-0277141.一种工作台装置,其特征在于,包括:第一部件,其能够在规定面内移动;第二部件,其能够相对于所述第一部件进行相对移动;第一导向装置,其至少一部分配置于所述第一部件,引导所述第二部件以使所述第二部件通过所述第一部件的移动而在与第一轴平行的方向上移动,所述第一轴与所述规定面正交;工作台,其具有由所述第二部件支承的第一部分;以及多个第二导向装置,其至少一部分与所述工作台的多个第二部分分别连接,引导所述工作台以使所述工作台在与所述第一轴平行的方向上移动,所述多个第二部分以包围所述第一部分的方式配置,在所述规定面内所述工作台呈矩形,所述第二导向装置与所述工作台的四个角部分别连接,四个所述第二导向装置分别连接于在所述规定面内与所述工作台的重心在放射方向上距离相等的所述第二部分。2.根据权利要求1所述的工作台装置,其特征在于:所述第一部分在所述规定面内包含所述工作台的中央部,所述第二部分在所述规定面内配置于所述工作台的边缘部。3.根据权利要求1所述的工作台装置,其特征在于:所述第一部分包含所述工作台的所述重心,所述第一部分与规定于...

【专利技术属性】
技术研发人员:佐藤俊德
申请(专利权)人:日本精工株式会社
类型:新型
国别省市:日本,JP

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