一种光刻设备的涂胶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种光刻设备的涂胶装置，包括同步滚轮、胶剂喷口、添加口、控制旋钮、减压弹簧和移动轮，所述同步滚轮下方开设有胶剂喷口，所述添加口下方设置有控制旋钮，所述减压弹簧下方设置有移动轮，本实用新型专利技术结构科学合理，使用安全方便，设置有同步滚轮能够使设备在涂胶时匀速进行运动，提高对其涂胶的质量；设置有胶剂喷口能够使设备外表面均覆有均匀胶剂；设置有添加口便于对胶剂的补充；设置有控制旋钮能够便于调节胶剂加入的速度和剂量，用以改变覆胶层的厚度；设置有减压弹簧能够使装置在运行时使其内部更加稳定；设置有移动轮使装置在移动搬运等过程中变得简单方便。

A coating device for photolithography equipment

The utility model discloses a coating device for a photolithography device, which includes a synchronous roller, a glue spray nozzle, an adding mouth, a control knob, a decompression spring and a moving wheel. The spray mouth is provided under the synchronous roller, and a control knob is arranged under the added mouth. The pressure spring is provided with a moving wheel under the pressure relief spring. The new structure is scientific and reasonable, and it is safe and convenient to use. Setting the synchronous roller can make the equipment move at a constant speed and improve the quality of the coating. The speed and dose of the adhesive are added to change the thickness of the coating. Setting a pressure relief spring makes the device more stable in operation, and it is easy to set up a moving wheel in the process of moving moving and so on.

【技术实现步骤摘要】
一种光刻设备的涂胶装置
本技术涉及光刻设备涂胶装置
，具体为一种光刻设备的涂胶装置。
技术介绍
涂胶装置主要用于将光刻设备等外表面进行均匀平整的涂胶处理，使其外表面包覆有一层均匀的胶膜，在对其进行激光雕刻，但是现有的涂胶装置由于其在涂胶过程中经常由于其对设备的涂胶不平整导致设备外表面覆胶不均匀，因此影响设备的雕刻效果，而且现有的涂胶设备其底部不具备承压减压的装置，导致其内部构件在工作时其稳定性较差，同时现有的雕刻装置其底部不具备移动设备，导致装置在移动搬运等过程中变得十分麻烦。
技术实现思路
本技术提供一种光刻设备的涂胶装置，可以有效解决上述
技术介绍
中提出的现有涂胶装置由于其涂胶不均匀导致影响光刻效果，缺少承压减压设备导致装置内部稳定性较差，缺少移动设备导致装置在移动搬运等过程中变得十分麻烦等问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种光刻设备的涂胶装置，包括涂胶机箱、设备进口、同步滚轮、联结轴承、联轴杆、集胶管、胶剂瓶、胶剂喷口、涂胶槽孔、胶剂管道、添加口、控制旋钮、设备出口、承重板、减压弹簧、电机、固定板、控制开关、支撑柱、移动轮和制动器，所述涂胶机箱左侧上方开设置有设备进口，所述涂胶机箱内部设置有同步滚轮，所述同步滚轮内部中端设置有联结轴承，所述联结轴承外侧设置有联轴杆，所述同步滚轮下方设置有集胶管，所述集胶管右侧上方设置有胶剂瓶，所述集胶管下方设置有胶剂喷口，所述胶剂喷口下方设置有涂胶槽孔，所述胶剂瓶右侧中部设置有胶剂管道，所述胶剂管道上方开设有添加口，所述添加口右侧下方设置有控制旋钮，所述涂胶机箱右侧中部开设有设备出口，所述涂胶机箱内部底端设置有承重板，所述承重板内部设置有减压弹簧，所述涂胶机箱外部左侧下方设置有电机，所述电机下方设置有固定板，所述涂胶机箱外部右侧下方设置有控制开关，所述涂胶机箱底部两侧均设置有支撑柱，所述支撑柱下方设置有移动轮，所述控制开关的输入端与市电的输出端电性连接，所述电机的输入端与控制开关的输出端电性连接。优选的，所述同步滚轮与联轴杆之间通过联结轴承连接。优选的，所述电机下方设置有固定板。优选的，所述移动轮外侧设置有制动器。优选的，所述支撑柱为一种优质钢材质的构件。与现有技术相比，本技术的有益效果：本技术结构科学合理，使用安全方便，设置有同步滚轮能够使设备在涂胶时匀速进行运动，提高对其涂胶的质量；设置有胶剂喷口能够使设备外表面均覆有均匀胶剂；设置有添加口便于对胶剂的补充；设置有控制旋钮能够便于调节胶剂加入的速度和剂量，用以改变覆胶层的厚度；设置有减压弹簧能够使装置在运行时使其内部更加稳定；设置有移动轮使装置在移动搬运等过程中变得简单方便。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术的结构示意图；图2是本技术同步滚轮的安装结构示意图；图3是本技术移动轮的安装结构示意图；图中标号：1、涂胶机箱；2、设备进口；3、同步滚轮；4、联结轴承；5、联轴杆；6、集胶管；7、胶剂瓶；8、胶剂喷口；9、涂胶槽孔；10、胶剂管道；11、添加口；12、控制旋钮；13、设备出口；14、承重板；15、减压弹簧；16、电机；17、固定板；18、控制开关；19、支撑柱；20、移动轮；21、制动器。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本技术，并不用于限定本技术。实施例：如图1-3所示，本技术提供一种技术方案，一种光刻设备的涂胶装置，包括涂胶机箱1、设备进口2、同步滚轮3、联结轴承4、联轴杆5、集胶管6、胶剂瓶7、胶剂喷口8、涂胶槽孔9、胶剂管道10、添加口11、控制旋钮12、设备出口13、承重板14、减压弹簧15、电机16、固定板17、控制开关18、支撑柱19、移动轮20和制动器21，涂胶机箱1左侧上方开设置有设备进口2，涂胶机箱1内部设置有同步滚轮3，同步滚轮3内部中端设置有联结轴承4，联结轴承4外侧设置有联轴杆5，同步滚轮3下方设置有集胶管6，集胶管6右侧上方设置有胶剂瓶7，集胶管6下方设置有胶剂喷口8，胶剂喷口8下方设置有涂胶槽孔9，胶剂瓶7右侧中部设置有胶剂管道10，胶剂管道10上方开设有添加口11，添加口11右侧下方设置有控制旋钮12，涂胶机箱1右侧中部开设有设备出口13，涂胶机箱1内部底端设置有承重板14，承重板14内部设置有减压弹簧15，涂胶机箱1外部左侧下方设置有电机16，电机16下方设置有固定板17，涂胶机箱1外部右侧下方设置有控制开关18，涂胶机箱1底部两侧均设置有支撑柱19，支撑柱19下方设置有移动轮20，控制开关18的输入端与市电的输出端电性连接，电机16的输入端与控制开关18的输出端电性连接。为了使联轴杆5能够带动同步滚轮3进行转动，本实施例中，优选的，同步滚轮3与联轴杆5之间通过联结轴承4连接。为了便于电机16的安装与固定，本实施例中，优选的，电机16下方设置有固定板17。为了使移动轮20在装置运行时，其底部能保持稳定的状态，本实施例中，优选的，移动轮20外侧设置有制动器21。为了提高支撑柱19的支撑效果，本实施例中，优选的，支撑柱19为一种优质钢材质的构件。本技术的工作原理及使用流程：首先打开控制开关18，电机16便会立即带动同步滚轮3和与其连接的联结轴承4间转动，然后将光刻设备通过设备进口2使其进入到涂胶槽孔9内，通过同步滚轮3和联轴杆5的作用使光刻设备在涂胶槽孔9内部缓缓的向右侧进行移动，在光刻设备进行移动的过程中，集胶管6下方的胶剂喷口8会将所要涂覆的胶剂均匀的喷涂在设备的外表面上，胶剂会通过添加口11进入胶剂管道10，并向集胶管6内持续不断的提供胶剂，通过控制旋钮12可以来调节胶剂补给量和补给的速度，以此来改变对设备外表面所需要涂覆胶剂的厚度，装置在运行过程中内内部底部的承重板14和其内部的减压弹簧15可以使装置内部持续保持平定稳固的状态，提高涂胶效果降低噪音等，涂胶装置在使用结束后可通过移动轮20将其进行移动。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻设备的涂胶装置，包括涂胶机箱(1)、设备进口(2)、同步滚轮(3)、联结轴承(4)、联轴杆(5)、集胶管(6)、胶剂瓶(7)、胶剂喷口(8)、涂胶槽孔(9)、胶剂管道(10)、添加口(11)、控制旋钮(12)、设备出口(13)、承重板(14)、减压弹簧(15)、电机(16)、固定板(17)、控制开关(18)、支撑柱(19)、移动轮(20)和制动器(21)，其特征在于：所述涂胶机箱(1)左侧上方开设置有设备进口(2)，所述涂胶机箱(1)内部设置有同步滚轮(3)，所述同步滚轮(3)内部中端设置有联结轴承(4)，所述联结轴承(4)外侧设置有联轴杆(5)，所述同步滚轮(3)下方设置有集胶管(6)，所述集胶管(6)右侧上方设置有胶剂瓶(7)，所述集胶管(6)下方设置有胶剂喷口(8)，所述胶剂喷口(8)下方设置有涂胶槽孔(9)，所述胶剂瓶(7)右侧中部设置有胶剂管道(10)，所述胶剂管道(10)上方开设有添加口(11)，所述添加口(11)右侧下方设置有控制旋钮(12)，所述涂胶机箱(1)右侧中部开设有设备出口(13)，所述涂胶机箱(1)内部底端设置有承重板(14)，所述承重板(14)内部设置有减压弹簧(15)，所述涂胶机箱(1)外部左侧下方设置有电机(16)，所述电机(16)下方设置有固定板(17)，所述涂胶机箱(1)外部右侧下方设置有控制开关(18)，所述涂胶机箱(1)底部两侧均设置有支撑柱(19)，所述支撑柱(19)下方设置有移动轮(20)，所述控制开关(18)的输入端与市电的输出端电性连接，所述电机(16)的输入端与控制开关(18)的输出端电性连接。...

【技术特征摘要】
1.一种光刻设备的涂胶装置，包括涂胶机箱(1)、设备进口(2)、同步滚轮(3)、联结轴承(4)、联轴杆(5)、集胶管(6)、胶剂瓶(7)、胶剂喷口(8)、涂胶槽孔(9)、胶剂管道(10)、添加口(11)、控制旋钮(12)、设备出口(13)、承重板(14)、减压弹簧(15)、电机(16)、固定板(17)、控制开关(18)、支撑柱(19)、移动轮(20)和制动器(21)，其特征在于：所述涂胶机箱(1)左侧上方开设置有设备进口(2)，所述涂胶机箱(1)内部设置有同步滚轮(3)，所述同步滚轮(3)内部中端设置有联结轴承(4)，所述联结轴承(4)外侧设置有联轴杆(5)，所述同步滚轮(3)下方设置有集胶管(6)，所述集胶管(6)右侧上方设置有胶剂瓶(7)，所述集胶管(6)下方设置有胶剂喷口(8)，所述胶剂喷口(8)下方设置有涂胶槽孔(9)，所述胶剂瓶(7)右侧中部设置有胶剂管道(10)，所述胶剂管道(10)上方开设有添加口(11)，所述添加口(11)右侧下方设置有控制旋钮(12)，所述涂胶机箱(1)右...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海明，杨红，
申请(专利权)人：深圳市国科光印科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44