The wafer transmission sensing and sensing device comprises a fixed disc, a transparent disc, a sensor bracket and a sensor. The sensor is connected with the sensor bracket, and the sensor bracket is matched with the fixed disc, and the transparent disc is connected with the fixed disc. The sensor bracket has a bend at one end and a slot on the bending surface. It is used to fix the sensor signal connection joint; the other end of the sensor has two folding surfaces and a hole on the folding surface for fixing the fixed disc. The fixed disc is made of Teflon material and is circular. The utility model has the advantages of simple structure, easy assembly and accurate detection of wafer location.
【技术实现步骤摘要】
晶圆传送探测传感装置
本技术涉及半导体晶圆制造领域，尤其涉及晶圆传送探测传感装置。
技术介绍
半导体集成电路制造领域是国家近年来大力发展的行业，是国家未来经济支柱产业。半导体生产设备一般拥有一个传输腔和多个反应腔，晶圆生产经过多个步骤，需要在反应腔之间进行多次传送，如何探测判断晶圆在传送过程中是否到达指定位置尤为重要。本技术将设计一款晶圆探测传感装置，检测晶圆是否到达指定传送位置。
技术实现思路
为实现上述目的，本技术所提供的技术方案是：晶圆传送探测传感装置，包括固定圆盘、透光圆盘、传感器支架和传感器。所述的传感器与传感器支架相连，传感器支架与固定圆盘配合，所述的透光圆盘与固定圆盘相连;所述的传感器，与传感器支架相连，光发射端朝向透光圆盘;所述的传感器支架，一端有折弯，折弯面上有槽口，用于固定传感器信号连接线接头；传感器另一端有两个折面，折面上有孔洞，用于与固定圆盘固定;所述的固定圆盘，采用特氟龙材料，呈圆环状，内径小于透光圆盘直径；固定圆盘上有多个螺纹孔，分别与传感器支架和半导体腔体固定;所述的透光圆盘，材料采用石英玻璃，硬度高，且材料致密性好，可保持较高真空度；透光圆盘外形呈圆形，直径大于固定圆盘内径;使用时，先将传感器通过传感器支架中间两个孔洞固定，传感器信号线接头固定在传感器支架折弯面槽口；然后，通过螺钉将传感器与固定圆盘锁紧；最后，将透光圆盘放置在固定圆盘下方。将组装好的探测传感器装置固定在腔体上，进行晶圆探测工作;本技术的优点是：结构简单，易于组装，晶圆位置探测准确。附图说明图1为晶圆传送探测传感装置整体装配示意图；图2为晶圆传送探测传感装置固定圆...
【技术保护点】
1.晶圆传送探测传感装置，包括固定圆盘、透光圆盘、传感器支架和传感器；所述的传感器与传感器支架相连，传感器支架与固定圆盘配合，所述的透光圆盘与固定圆盘相连。
【技术特征摘要】
1.晶圆传送探测传感装置，包括固定圆盘、透光圆盘、传感器支架和传感器；所述的传感器与传感器支架相连，传感器支架与固定圆盘配合，所述的透光圆盘与固定圆盘相连。2.根据权利要求1所述的晶圆传送探测传感装置，其特征在于：所述的传感器支架，一端有折弯，折弯面上有槽口；传感器另一端有两个折面，折面上有孔洞，用于与固定圆盘...
【专利技术属性】
技术研发人员：张德培，
申请(专利权)人：上海陛通半导体能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。