一种光学真空镀膜系统技术方案

本实用新型专利技术涉及材料加工装置技术领域，目的在于提供一种镀膜均匀的光学真空镀膜系统。所采用的技术方案是：一种光学真空镀膜系统，包括真空室、真空泵和侧窗板，所述侧窗板的底边与真空室侧壁铰接；所述侧窗板内壁设置环形牵引链，所述牵引链的水平段设置导轨；所述牵引链远离侧窗板的一侧设置与侧窗板垂直的套筒，所述套筒一端与牵引链焊接、另一端与夹持机构连接；所述侧窗板内壁设置横隔板，所述横隔板将牵引链分隔成上方的第一镀膜部和下方的第二镀膜部，所述第一镀膜部和第二镀膜部均设置蒸镀装置；所述蒸镀装置包括固定在L型杆顶部的蒸镀喷头，所述L型杆底部远离其拐折部的一端与伺服电机的竖直转轴焊接。本实用新型专利技术镀膜均匀。

An optical vacuum coating system

The utility model relates to the technical field of material processing device, and aims at providing an optical vacuum coating system with uniform coating. The technical scheme adopted is: an optical vacuum coating system, including a vacuum chamber, a vacuum pump and a side window plate. The bottom edge of the side window plate is articulated with the side wall of the vacuum chamber; the inner wall of the side window plate is set with a ring traction chain, and the horizontal section of the traction chain is set on the guide rail; the traction chain is far away from side window side and side window. One end of the sleeve is welded with a traction chain and the other end is connected with a clamping mechanism; the inner wall of the side window plate is arranged by a diaphragm, which separates the traction chain into the first coating part and the second coating part below, and the first coating part and the second coating part are both evaporated and plating. The device comprises a steam spray nozzle fixed at the top of the L rod, and one end of the L rod far away from the crutch part is welded with the vertical shaft of the servo motor. The coating of the utility model is uniform.

【技术实现步骤摘要】
一种光学真空镀膜系统
本技术涉及材料加工装置
，具体涉及一种光学真空镀膜系统。
技术介绍
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程
的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段在固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射等许多优于固体材料本身的优越性能。现有的真空镀膜装置在对光学镜片进行镀膜时，在光学镜片上的蒸镀点大多固定，这会导致蒸镀在光学镜片表面的镀膜不均匀；因此，有必要研究一种镀膜均匀的光学真空镀膜系统。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种镀膜均匀的光学真空镀膜系统。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种光学真空镀膜系统，包括真空室，所述真空室设置真空泵和侧窗板，所述侧窗板的底边与真空室侧壁铰接；所述侧窗板内壁设置环形的牵引链，所述牵引链的水平段设置导轨；所述牵引链远离侧窗板的一侧设置与侧窗板垂直的套筒，所述套筒一端与牵引链焊接、另一端与夹持机构连接；所述侧窗板内壁设置横隔板，所述横隔板将牵引链分隔成上方的第一镀膜部和下方的第二镀膜部，所述第一镀膜部和第二镀膜部均设置有蒸镀装置；所述蒸镀装置包括固定在L型杆顶部的蒸镀喷头，所述L型杆底部远离其拐折部的一端与伺服电机的竖直转轴焊接。优选的，所述夹持机构包括对称设置的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和第二夹持部均呈弧形；所述第一夹持部与第二夹持部的两端对应设置有螺纹通孔，并通过穿设在螺纹通孔的螺栓连接；所述第一夹持部的中部设置连接杆，所述连接杆远离第一夹持部的一端设置外螺纹，所述套筒设置与连接杆外螺纹配合的内螺纹、并与连接杆螺纹连接。本技术的有益效果集中体现在，本技术在第一镀膜部和第二镀膜部均设置了蒸镀装置，蒸镀装置的蒸镀喷头固定在L型杆的顶部，L型杆底部远离其拐折部的一端与伺服电机的竖直转轴焊接，蒸镀喷头会在伺服电机的驱动下绕伺服电机的转轴作圆周运动，伺服电机的转轴会与光学镜片的中心对应，这样一来，蒸镀喷头会绕光学镜片的中心作圆周运动，均匀的对光学镜片的表面进行蒸镀，与通常的固定蒸镀点的镀膜装置相比，蒸镀效果更好、镀膜更均匀。此外，由于牵引链围绕成环形，当固定在夹持机构的光学镜片从第一镀膜部运送到第二镀膜部时，其朝上的一面会翻转到朝下，这样一来，光学镜片的两面就可以分别在第一镀膜部和第二镀膜部进行蒸镀，可以使光学镜片两面镀膜厚度一致，相比同时对光学镜片的两面进行蒸镀、避免了光学镜片镀膜朝下一面厚、朝上一面薄的情况的发生。且本技术通过设置环形的牵引链就实现了对光学镜片的两面的分次蒸镀，不需要加设额外的翻转设备，降低了生产成本。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是夹持机构与牵引链的连接示意图。具体实施方式下面结合附图1～2进一步阐述本技术。一种光学真空镀膜系统，包括真空室1，所述真空室1设置真空泵2和侧窗板3，所述侧窗板3的底边与真空室1侧壁铰接；应当理解的是，侧窗板3可以沿其底边朝外转动，从而打开侧窗板3。所述侧窗板3内壁设置环形的牵引链4，所述牵引链4的水平段设置导轨5；应当理解的是，导轨5可以使水平段的牵引链4的高度保持一致，防止水平段的牵引链4松弛下垂。所述牵引链4远离侧窗板3的一侧设置与侧窗板3垂直的套筒6，所述套筒6一端与牵引链4焊接、另一端与夹持机构7连接；应当理解的是，夹持机构7用于固定待镀膜的光学镜片。所述侧窗板3内壁设置横隔板8，所述横隔板8将牵引链4分隔成上方的第一镀膜部9和下方的第二镀膜部10，所述第一镀膜部9和第二镀膜部10均设置有蒸镀装置；应当理解的是，固定在夹持机构7的光学镜片从第一镀膜部9运送到第二镀膜部10时，其朝上的一面会翻转到朝下。所述蒸镀装置包括固定在L型杆11顶部的蒸镀喷头12，所述L型杆11底部远离其拐折部的一端与伺服电机13的竖直转轴焊接。进一步地，所述夹持机构7包括对称设置的第一夹持部14和第二夹持部15，所述第一夹持部14和第二夹持部15均呈弧形；所述第一夹持部14与第二夹持部15的两端对应设置有螺纹通孔，并通过穿设在螺纹通孔的螺栓连接；所述第一夹持部14的中部设置连接杆16，所述连接杆16远离第一夹持部14的一端设置外螺纹，所述套筒6设置与连接杆16外螺纹配合的内螺纹、并与连接杆16螺纹连接。应当理解的是，本技术的夹持机构7装卸镜片方便，光学镜片在镀膜之前的预处理和镀膜之后的后续加工都可以固定在夹持机构7上进行，每次进行不同的加工操作时，装卸夹持机构7即可，这样可以避免频繁装卸光学镜片、与光学镜片接触，对光学镜片造成污染或磨损。下面阐述本技术的实施方式，拧松夹持机构7的螺栓，向第一夹持部14和第二夹持部15之间放入光学镜片，然后拧紧螺栓，对光学镜片进行固定；放下真空室1的侧窗板3，将夹持机构7的连接杆16与牵引链4上的套筒6固接，并调整夹持机构7的角度、使夹持机构7位于第一镀膜部9和第二镀膜部10时光学镜片处于水平放置状态。接着关上侧窗板3，并启动真空泵2将真空室1内的空气抽出，然后启动牵引链4，夹持机构7会随牵引链4移动，当夹持机构7位于第一夹持部14或第二夹持部15时，蒸镀装置会对光学镜片进行蒸镀，由于蒸镀装置的蒸镀喷头12固定在L型杆11的顶部，L型杆11底部远离其拐折部的一端与伺服电机13的竖直转轴焊接，蒸镀喷头12会在伺服电机13的驱动下绕伺服电机13的转轴作圆周运动，伺服电机13的转轴会与光学镜片的中心对应，这样一来，蒸镀喷头12就可以均匀的对光学镜片的表面进行蒸镀；当固定在夹持机构7的光学镜片从第一镀膜部9运送到第二镀膜部10时，其朝上的一面会翻转到朝下，从而对光学镜片的另一面进行蒸镀。本技术在对光学镜片的蒸镀过程中，蒸镀喷头12会绕光学镜片的中心作圆周运动，均匀的对光学镜片的表面进行蒸镀，与通常的固定蒸镀点的镀膜装置相比，蒸镀效果更好、镀膜更均匀。此外，本技术分次对光学镜片的两面进行蒸镀，可以使光学镜片两面镀膜厚度一致，避免了光学镜片镀膜朝下一面厚、朝上一面薄的情况的发生；且本技术通过设置环形的牵引链4就实现了对光学镜片的两面的分次蒸镀，不需要加设额外的翻转设备，降低了生产成本。虽然以上描述了本技术的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，在不背离本技术的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学真空镀膜系统，其特征在于：包括真空室（1），所述真空室（1）设置真空泵（2）和侧窗板（3），所述侧窗板（3）的底边与真空室（1）侧壁铰接；所述侧窗板（3）内壁设置环形的牵引链（4），所述牵引链（4）的水平段设置导轨（5）；所述牵引链（4）远离侧窗板（3）的一侧设置与侧窗板（3）垂直的套筒（6），所述套筒（6）一端与牵引链（4）焊接、另一端与夹持机构（7）连接；所述侧窗板（3）内壁设置横隔板（8），所述横隔板（8）将牵引链（4）分隔成上方的第一镀膜部（9）和下方的第二镀膜部（10），所述第一镀膜部（9）和第二镀膜部（10）均设置有蒸镀装置；所述蒸镀装置包括固定在L型杆（11）顶部的蒸镀喷头（12），所述L型杆（11）底部远离其拐折部的一端与伺服电机（13）的竖直转轴焊接。

【技术特征摘要】
1.一种光学真空镀膜系统，其特征在于：包括真空室（1），所述真空室（1）设置真空泵（2）和侧窗板（3），所述侧窗板（3）的底边与真空室（1）侧壁铰接；所述侧窗板（3）内壁设置环形的牵引链（4），所述牵引链（4）的水平段设置导轨（5）；所述牵引链（4）远离侧窗板（3）的一侧设置与侧窗板（3）垂直的套筒（6），所述套筒（6）一端与牵引链（4）焊接、另一端与夹持机构（7）连接；所述侧窗板（3）内壁设置横隔板（8），所述横隔板（8）将牵引链（4）分隔成上方的第一镀膜部（9）和下方的第二镀膜部（10），所述第一镀膜部（9）和第二镀膜部（10）均设置有蒸镀装置；所述蒸镀装置包括固定在L...

【专利技术属性】
技术研发人员：王海龙，
申请(专利权)人：昆明沃特隆光学仪器制造有限公司，
类型：新型
国别省市：云南,53