载置于在装载端口设置的载置台上的适配器、及装载端口制造技术

技术编号:18466524 阅读:81 留言:0更新日期:2018-07-18 16:17
适配器(20)所具备的匣尺寸检测传感器(41、42)具有用于在水平方向上照射检测波的作为辨别传感器照射部的发光部(41a、42a)和用于检测从该辨别传感器照射部照射来的检测波的作为辨别传感器检测部的受光部(41b、42b),通过从所述辨别传感器照射部朝向匣(51、52)的侧面照射检测波来辨别匣(51、52)的尺寸。

Adapter and loading port mounted on loading platform set on loading port

The cartridge size detection sensor (41, 42) equipped with the adapter (20) has the light part (41a, 42a) used to distinguish the sensor irradiation part (41a, 42a) and the detection wave used to detect the detection wave from the discrimination sensor irradiation part as the detection part of the sensor detection unit (41b, 42b). The side of the sensor irradiation part faces the cartridge (51, 52) to distinguish the size of the detection box (51, 52).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】载置于在装载端口设置的载置台上的适配器、及装载端口
本专利技术涉及载置于在半导体的制造等所采用的装载端口设置的载置台上的适配器、及装载端口。
技术介绍
作为关于上述的适配器的以往技术,例如有专利文献1所记载的内容。该以往技术如下地构成。在适配器(匣适配器)的上表面、即适配器的匣载置面设置由检测杆和光学传感器构成的匣识别部,根据来自该匣识别部的启闭信号来识别载置在适配器上的匣的种类(尺寸)。作为识别(检测)匣的尺寸的部件,也有专利文献2所记载的内容。在专利文献2中,针对要检测的每个匣在载置台安装作为匣尺寸检测部件的按压传感器,根据来自这些按压传感器的启闭信号来检测载置在载置台上的匣的尺寸。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2015-50410号公报专利文献2:日本特开2015-170689号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题专利文献1、2所记载的用于识别(检测)匣的种类(尺寸)的方法是基于匣的底面的形状·尺寸、即匣的底面信息进行的匣的种类(尺寸)的辨别方法。但是,例如在半导体的制造工序中使用的FFC(FilmFlameCarrier)用匣和箍环(HoopRing)用匣这样的匣并未根据由以半导体的制造设备厂商、材料厂商等为成员的国际行业团体即SEMI(SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational)制定的SEMI规格(SemiconductorEquipmentandMaterialsInternationalStandard)等充分地规格化,因此根据生产匣的公司的不同,有时匣的底面的形状·尺寸不同、或者匣底面的一部分缺失,根据匣的底面信息有时不能辨别匣的种类(尺寸)。本专利技术即是鉴于上述实际情况而完成的,其目的在于提供一种具有即便不依据匣(容器)的底面信息也能够辨别容器的尺寸的结构的适配器。用于解决问题的方案本专利技术的适配器载置于在装载端口设置的载置台上,能够载置分别适合被处理物的尺寸的、用于收纳所述被处理物的多个尺寸的容器,该适配器包括:容器定位部,其设于供所述容器载置的载置板的上表面;以及多个容器辨别传感器,其用于辨别所述容器的尺寸。所述容器辨别传感器具有用于在水平方向上照射检测波的辨别传感器照射部和用于检测从该辨别传感器照射部照射来的检测波的辨别传感器检测部,从所述辨别传感器照射部朝向所述容器的侧面照射检测波。采用该结构,由于能够通过朝向容器的侧面照射检测波来辨别容器的尺寸,因此即便不依据容器的底面信息,也能够辨别容器的尺寸。本专利技术还优选的是,该适配器还具备容器落位传感器,该容器落位传感器用于检测是否载置有所述容器,所述容器落位传感器具有用于在水平方向上照射检测波的落位传感器照射部和用于检测从该落位传感器照射部照射来的检测波的落位传感器检测部,从所述落位传感器照射部朝向所述容器的侧面照射检测波。采用该结构,能够确认容器载置于适配器的状况。此外,由于朝向容器的侧面照射检测波,因此即便不依据容器的底面信息,也能够确认容器载置于适配器的状况。本专利技术还优选的是,所述落位传感器照射部和所述落位传感器检测部以夹着所述容器的侧壁的下部部分的方式相对配置。采用该结构,能够更准确地确认容器载置于适配器的状况。本专利技术还优选的是,所述载置板构成为能够在上下方向上转动,以所述载置板向上方转动的方式对所述载置板施力的施力部件配置在所述载置板之下,所述载置板在未载置所述容器的情况下利用所述施力部件的上推力成为相对于水平方向倾斜的状态,在载置有所述容器时,该载置板克服所述施力部件的上推力向下方转动,成为水平姿势。采用该结构,由于作业人员易于将容器载置于适配器,因此作业效率上升。本专利技术还优选的是,在所述载置板之下配置有水平姿势的固定板,在所述固定板的上表面设有所述容器辨别传感器。采用该结构,易于布设容器辨别传感器的线缆。此外,本专利技术也是关于装载端口的专利技术。本专利技术的装载端口具备供所述适配器载置的所述载置台,其中,在所述载置台设有适配器落位传感器,该适配器落位传感器用于检测所述适配器是否载置在所述载置台上,该装载端口具备辨别部,该辨别部根据来自所述适配器落位传感器的信号和来自所述容器辨别传感器的信号来辨别所述被处理物的种类和尺寸。采用该结构,能够利用1个装载端口处理种类和尺寸不同的被处理物。专利技术的效果根据本专利技术,能够提供一种具有即便不依据匣(容器)的底面信息也能够辨别容器的尺寸的结构的适配器。附图说明图1是包含本专利技术的一个实施方式的装载端口的、半导体的制造所使用的装置整体的概略俯视图。图2是图1所示的装载端口的立体图。图3是从上方观察图2所示的装载端口的俯视图。图4是表示载置在图2所示的装载端口的载置台上的FFC用适配器的立体图。图5是从上方观察图4所示的FFC用适配器的俯视图。图6是图4所示的FFC用适配器的仰视图。图7是表示在图4所示的FFC用适配器上载置有150mmFFC用匣的状态的立体图。图8是表示在图4所示的FFC用适配器上载置有200mmFFC用匣的状态的立体图。图9是表示载置在图2所示的装载端口的载置台上的HoopRing用适配器的立体图。图10是图9所示的HoopRing用适配器的仰视图。图11是表示具有能够转动的载置板的晶圆用适配器的立体图。图12是图11所示的晶圆用适配器的右视图。图13是表示在图11所示的晶圆用适配器上载置有200mm晶圆用匣的状态的立体图。具体实施方式以下,参照附图说明用于实施本专利技术的方式。(包含装载端口的装置整体的结构)图1所示的装置可用于半导体的制造,该装置包括多个装载端口1(在本实施方式中是3个)、输送室2以及处理装置3。装载端口1是为了相对于输送室2中的空间(输送空间S)搬入搬出晶圆(Wafer)等被处理物而载置用于收纳该被处理物的容器(例如匣51、52、53(参照图7、图8、图13))的装置。另外,晶圆既有仅是晶圆(晶圆直接)收纳于容器的情况(图13所示的匣53的情况),也有以粘贴于在FFC(FilmFlameCarrier)、箍环(HoopRing)的上表面(或下表面)粘贴的胶带的状态收纳于容器的情况(图7所示的匣51和图8所示的匣52是FFC的情况)。以下简称作“FFC”的情况是指在粘贴于FFC(FilmFlameCarrier)的上表面(或下表面)的胶带粘贴有晶圆的状态的FFC。在输送室2中配置有输送机器人22,利用该输送机器人22在装载端口1和处理装置3之间进行被处理物的交接。输送机器人22从载置于装载端口1的容器中取出被处理物,经由输送空间S将被处理物供给到处理装置3。另外,输送空间S是由构成输送室2的外壁即分隔壁21划分该输送室2的侧方而成的空间。利用控制装置4来控制装载端口1的动作。另外,控制装置4也有不仅控制装载端口1还控制输送机器人22等输送室2内的设备的情况。图1中的控制装置4的图示是用于表示利用控制装置4控制装载端口1的情形的图示,并不表示控制装置4的配置位置。既有在装载端口1中组装控制装置4的情况,也有在输送室2中配置也包含输送机器人22等的控制的控制装置的情况。另外,将从输送室2(输送空间S)进行观察时连接有装载端口1的那一侧的方向定义为前方,将其相反方向定义为后方,并且将与前后方向和铅垂方向正交的方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适配器,其载置于在装载端口设置的载置台上,能够载置分别适合被处理物的尺寸的、用于收纳所述被处理物的多个尺寸的容器,该适配器的特征在于,该适配器包括:容器定位部,其设于供所述容器载置的载置板的上表面;以及多个容器辨别传感器,其用于辨别所述容器的尺寸,所述容器辨别传感器具有用于在水平方向上照射检测波的辨别传感器照射部和用于检测从该辨别传感器照射部照射来的检测波的辨别传感器检测部,从所述辨别传感器照射部朝向所述容器的侧面照射检测波。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.30 JP 2015-2334831.一种适配器,其载置于在装载端口设置的载置台上,能够载置分别适合被处理物的尺寸的、用于收纳所述被处理物的多个尺寸的容器,该适配器的特征在于,该适配器包括:容器定位部,其设于供所述容器载置的载置板的上表面;以及多个容器辨别传感器,其用于辨别所述容器的尺寸,所述容器辨别传感器具有用于在水平方向上照射检测波的辨别传感器照射部和用于检测从该辨别传感器照射部照射来的检测波的辨别传感器检测部,从所述辨别传感器照射部朝向所述容器的侧面照射检测波。2.根据权利要求1所述的适配器,其特征在于,该适配器还具备容器落位传感器,该容器落位传感器用于检测是否载置有所述容器,所述容器落位传感器具有用于在水平方向上照射检测波的落位传感器照射部和用于检测从该落位传感器照射部照射来的检测波的落位传感器检测部,从所述落位传感器照射部朝向所述容器的侧面照射检测波。3.根据权利要求2所述的适配器,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:森鼻俊光松本祐贵
申请(专利权)人:昕芙旎雅有限公司
类型:发明
国别省市:日本,JP

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