光设备的制造方法、激光装置的制造方法、激光装置的光束质量的调整方法制造方法及图纸

光设备(30)具有：GRIN透镜(35)、使光入射至GRIN透镜(35)的前段光纤(31)、以及供从GRIN透镜(35)射出的光入射的后段光纤(32)。在光束质量的调整的方法中，具备：测量工序(P2)，在该工序中，使光入射至前段光纤(31)，对经由GRIN透镜(35)而从后段光纤(32)射出的光的光束质量进行测量；和调整工序(P3)，在该工序中，基于测量工序(P2)的结果，对GRIN透镜(35)的长度进行调整。

Manufacturing method of optical device, manufacturing method of laser device, and adjusting method of laser beam quality of laser device

An optical device (30) has a GRIN lens (35), a front segment optical fiber (31) that causes light to be incident to a GRIN lens (35), and a rear segment optical fiber (32) for incident light emitted from the GRIN lens (35). In the method of adjusting beam quality, there is a measurement process (P2), in which light is incident to the front optical fiber (31), the beam quality of light emitted from the rear segment optical fiber (32) via the GRIN lens (35), and the adjustment procedure (P3), in this process, based on the result of the measurement process (P2), the GRIN lens (35) The length is adjusted.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光设备的制造方法、激光装置的制造方法、激光装置的光束质量的调整方法
本专利技术涉及光设备的制造方法、激光装置的制造方法、激光装置的光束质量的调整方法。
技术介绍
光纤激光装置可获得聚光性优秀、功率密度高、形成为较小的光束点的光，因此在激光加工领域、医疗领域等各种领域中使用。从光纤激光装置射出的光在BPP(BeamParameterProducts)等示出的光束质量好的情况下聚光性优秀。在光束质量好的情况下，BPP的值变小。下述专利文献1记载有聚光性优秀的光纤激光装置。在该光纤激光装置中，在对射出光进行导波的光纤的中途配置有GRIN透镜。专利文献1:日本特开2009-271528号公报然而，根据光纤激光装置的使用用途，有时适度地调整光束质量较好。
技术实现思路
因此，本专利技术欲提供能够使射出的光成为规定的光束质量的光设备的制造方法、激光装置的制造方法、激光装置的光束质量的调整方法。本专利技术是具有GRIN透镜、使光入射至上述GRIN透镜的前段光纤、以及供从上述GRIN透镜射出的光入射的后段光纤的光设备的制造方法，该光设备的制造方法的特征在于，具备：测量工序，在该工序中，使光入射至上述前段光纤，对经由上述GRIN透镜从上述后段光纤射出的光的光束质量进行测量；和调整工序，在该工序中，基于上述测量工序的结果，对上述GRIN透镜的长度进行调整。另外，本专利技术是具备：具有GRIN透镜、使光入射至上述GRIN透镜的前段光纤、以及供从上述GRIN透镜射出的光入射的后段光纤的光设备；和射出用于朝向上述前段光纤入射的光的光源的激光装置的制造方法，该激光装置的制造方法的特征在于，具备：测量工序，在该工序中，使光从上述光源入射至上述前段光纤，对经由上述GRIN透镜从上述后段光纤射出的光的光束质量进行测量；和调整工序，在该工序中，基于上述测量工序的结果，对上述GRIN透镜的长度进行调整。另外，本专利技术是具备：具有GRIN透镜、使光入射至上述GRIN透镜的前段光纤、以及供从上述GRIN透镜射出的光入射的后段光纤的光设备；和射出用于朝向上述前段光纤入射的光的光源的激光装置的光束质量的调整方法，该激光装置的光束质量的调整方法的特征在于，具备：测量工序，在该工序中，使光从上述光源入射至上述前段光纤，对经由上述GRIN透镜从上述后段光纤射出的光的光束质量进行测量；和调整工序，在该工序中，基于上述测量工序的结果，对上述GRIN透镜的长度进行调整。根据上述光设备的制造方法、激光装置的制造方法以及激光装置的光束质量的调整方法，基于测量光束质量的测量工序的结果来调整GRIN透镜的长度，因此能够适当地调整GRIN透镜的长度，以使得从后段光纤射出的光成为规定的光束质量。因此，能够使射出的光成为规定的光束质量。此外，在测量工序中测量的光可以是从后段光纤直接射出的光，也可以是经由连接于后段光纤的光学部件而射出的光。另外，在上述的专利技术中，优选上述后段光纤的纤芯的直径大于从上述GRIN透镜射出的光的直径。通过成为这样的结构，能够抑制从GRIN透镜射出的光从后段光纤的纤芯泄漏。此外，从GRIN透镜射出的光的直径在前段光纤的纤芯的直径以上，因此后段光纤的纤芯的直径在前段光纤的纤芯的直径以上。另外，优选通过将上述GRIN透镜沿长度方向切削来进行上述调整工序。通过切削GRIN透镜来调整长度，从而不需要准备多个GRIN透镜，能够廉价地进行调整工序。或者，优选通过将上述GRIN透镜更换为长度不同的其他GRIN透镜来进行上述调整工序。通过更换GRIN透镜，能够较快地调整GRIN透镜的长度。此外，在更换GRIN透镜时，能够在连接有前段光纤以及后段光纤的至少一方的一部分的状态下更换GRIN透镜。该情况下，优选在所更换的其他GRIN透镜也连接有前段光纤以及后段光纤的至少一方的一部分。另外，优选上述GRIN透镜的长度小于1/2节距。若GRIN透镜的长度超过1/2节距则有时射出的光的光束质量变差。因此，通过如上述那样使GRIN透镜的长度小于1/2节距，从而能够使射出的光的光束质量良好。另外，优选上述GRIN透镜的长度为1/4节距以上。通过使GRIN透镜的长度成为1/4节距以上，从而能够容易地将GRIN透镜与光纤熔合。如以上那样，根据本专利技术，可提供能够使射出的光成为规定的光束质量的光设备的制造方法、激光装置的制造方法、激光装置的光束质量的调整方法。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式的激光装置的概念图。图2是表示图1的光设备的图。图3是表示光束质量的调整方法的流程图。图4是表示光束质量与GRIN透镜的长度的关系的图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的光设备的制造方法、激光装置的制造方法、激光装置的光束质量的调整方法的优选的实施方式详细地进行说明。＜激光装置＞首先，对本实施方式的激光装置的结构进行说明。图1是表示本专利技术的实施方式的激光装置的图。如图1所示，在本实施方式的激光装置1中，多个光源10、光合成器20、光设备30以及输出部40成为主要的结构。各个光源10形成为射出规定的波长的光的激光装置，例如形成为光纤激光装置、固体激光装置。在光源10形成为光纤激光装置的情况下，为谐振器型的光纤激光装置，或为MO-PA(MasterOscillatorPowerAmplifier)型的光纤激光装置。从各个光源10射出的光例如形成为1050nm的波长的光。在各个光源10连接有使从光源10射出的光传播的光纤11。各个光纤11例如形成为纤芯的直径为20μm左右的少模光纤。因此，从各个光源10射出的光为2～4左右的LP模，并在各个光纤11传播。光合成器20是将各个光纤11的纤芯与光纤21的纤芯光学地连接的部件，例如是将各个光纤11、与比光纤11直径大的光纤21端面连接而成的。光纤21例如形成为纤芯的直径为50μm～100μm左右的多模光纤。光设备30连接于光纤21。图2是表示图1的光设备的图。如图2所示，光设备30由前段光纤31、GRIN透镜35以及后段光纤32构成。前段光纤31具有纤芯31a和包层31b，例如成为与光纤21相同的结构。前段光纤31的一端熔合于光纤21，另一端熔合于GRIN透镜35的一端。此外，前段光纤31和光纤21也可以形成为不具有熔合点的一体的光纤。GRIN透镜35是在径向上折射率产生变化的部件，且越靠中心折射率越高。因此，对于在GRIN透镜35传播的光而言，光的直径以规定的周期变化。例如，对于从GRIN透镜的一端入射的光而言，光的直径变大，在扩张至规定的直径后，再次变小至入射至GRIN透镜35时的直径，其后直径再次变大。GRIN透镜的节距一般通过透镜的长度相对于在GRIN透镜传播的光的蜿蜒周期的比例来定义。因此，光入射而直径变为最大且再次变成与入射的光相同的直径为止的长度为1/2节距。另外，光入射而直径变为最大为止的长度为1/4节距，距入射端1/4节距的光成为成像无限远等的准直光。另外，在GRIN透镜内传播的光的直径成为入射的光的直径以上，在GRIN透镜内传播的光的扩散角成为入射的光的扩散角以下。在本实施方式中，GRIN透镜35的长度为从各个光源10射出而在GRIN透镜35传播的光的1/4节距以上且小于1/2节距。另外，GRIN透镜35的直径大于距入射端1/4节距的准直光的直径。在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光设备的制造方法，该光设备具有GRIN透镜、使光入射至所述GRIN透镜的前段光纤、以及供从所述GRIN透镜射出的光入射的后段光纤，所述光设备的制造方法的特征在于，具备：测量工序，在该工序中，使光入射至所述前段光纤，对经由所述GRIN透镜而从所述后段光纤射出的光的光束质量进行测量；和调整工序，在该工序中，基于所述测量工序的结果，对所述GRIN透镜的长度进行调整。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.19 JP 2016-0836781.一种光设备的制造方法，该光设备具有GRIN透镜、使光入射至所述GRIN透镜的前段光纤、以及供从所述GRIN透镜射出的光入射的后段光纤，所述光设备的制造方法的特征在于，具备：测量工序，在该工序中，使光入射至所述前段光纤，对经由所述GRIN透镜而从所述后段光纤射出的光的光束质量进行测量；和调整工序，在该工序中，基于所述测量工序的结果，对所述GRIN透镜的长度进行调整。2.根据权利要求1所述的光设备的制造方法，其特征在于，所述后段光纤的纤芯的直径大于从所述GRIN透镜射出的光的直径。3.根据权利要求1或2所述的光设备的制造方法，其特征在于，通过将所述GRIN透镜沿长度方向切削来进行所述调整工序。4.根据权利要求1或2所述的光设备的制造方法，其特征在于，通过将所述GRIN透镜更换为长度不同的其他GRIN透镜来进行所述调整工序。5.根据权利要求1～4中任一项所述的光设备的制造方法，其特征在于，所述GRIN透镜的长度小于1/2节距。6.根据权利要求5所述的光设备的制造方法，其特征在于，所述GRIN透镜的长度在1/4节距以上。7.一种激光装置的制造方法，该激光装置具备：具有GRIN透镜、使光入射至所述GRIN透镜的前段光纤、以及供从所述GRIN透镜射出的光入射的后段光纤的光设备；和射出用于朝向所述前段光纤入射的光的光源，所述激光装置的制造方法的特...

【专利技术属性】
技术研发人员：毛利俊男，柏木正浩，
申请(专利权)人：株式会社藤仓，
类型：发明
国别省市：日本,JP