检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种即使基板伸缩也容易准确地执行基板检查的检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法。检查辅具包括板状的固定板(31)和安装于固定板并配置有探针的第一及第二相对部件(30a、30b)，在固定板形成有用于贯穿插入定位销(36)的多个固定侧定位孔(211、217)，在第二相对部件形成有分别与多个固定侧定位孔对应而成对的移动侧定位孔(221、227)，在向固定侧定位孔和移动侧定位孔中插入定位销而将固定板和第二相对部件定位的状态下，固定侧定位孔与移动侧定位孔形成位于沿着X轴方向偏移的位置处的对。

Inspection assistive device, substrate inspection device and substrate inspection method

The invention provides a checking auxiliary device, a base plate checking device and a substrate checking method, even if the substrate is telescopic. The inspection accessories include a plate shaped fixed plate (31) and a first and two relative components (30a, 30b) equipped with a probe, and a plurality of fixed side positioning holes (211, 217) for the insertion positioning pin (36) in the fixed plate, and a pair formed by the second relative parts corresponding to a plurality of fixed side positioning holes respectively. The moving side positioning holes (221, 227) are positioned at the position of the fixed side positioning hole and the moving side positioning hole in the position of the fixed plate and the second relative parts, and the fixed side positioning hole and the moving side positioning hole are formed at a position located at a position in the direction of the X axis.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法
本专利技术涉及用于使探针与基板接触的检查辅具、包括该检查辅具的基板检查装置以及基板检查方法。
技术介绍
以往已知如下技术：将作为检查对象的多个单位基板形成为多行多列的矩阵状来作成集合基板，并对应于相邻的多个单位基板的检查点而配置多个检查辅具，一次性地对该集合基板内的多个单位基板进行检查(参照专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平8-21867号公报
技术实现思路
然而，在配置有多个单位基板并将该多个单位基板汇集于一张基板上而成的集合基板中，在集合基板的制造工序中，集合基板内的各单位基板的检查点相比于设计上的理想位置产生偏移。这是因为存在以下情况：通过增层结构制造的基板在层叠各层时，利用高温压焊进行固定，构成基板的基材收缩。尤其在由柔性基板构成的集合基板中，由于使用薄而富有柔软性的材料，因此在其制造时基板伸长的倾向明显。像这样，当基板收缩或伸长时，使得本来应该使探针接触的检查点的位置与安装于检查辅具的探针之间的位置关系产生偏移，导致无法准确地检查基板。尤其在为集合基板的情况下，由于包括多个单位基板，因此基板面积大。其结果是，存在如下缺陷：基板收缩或伸长的情况下的检查点的位置偏移量容易变大，从而无法准确地执行基板检查的可能性增大。本专利技术的目的在于提供一种即使在基板收缩或伸长的情况下也容易准确地执行基板检查的检查辅具、基板检查装置以及基板检查方法。根据本专利技术的一个方面的检查辅具安装于检查作为检查对象的被检查基板的检查装置主体，用于使探针分别与设置于所述被检查基板的多个检查点接触，所述检查辅具包括：板状的固定板，其具有第一面和第二面；以及第一相对部件及第二相对部件，该第一相对部件及第二相对部件安装于所述固定板，所述第一相对部件以与所述被检查基板的一部分的第一区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：用于与所述第一区域相对配置的第一相对面；以及第一安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述第二相对部件以与所述被检查基板的不同于所述第一区域的第二区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：第二相对面，其用于与所述第二区域相对配置；以及第二安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述固定板的所述第一面为用于安装于所述检查装置主体的面，在所述固定板中的所述第二相对部件安装于所述第二面的区域内形成有垂直地贯通所述固定板的多个固定侧定位孔，该多个固定侧定位孔用于贯穿插入用于定位的定位销，在所述第二相对部件上形成有定位用的移动侧定位孔，从而所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔构成多个对，其中，所述移动侧定位孔与所述多个固定侧定位孔分别对应而成对，并且能够接受所述定位销的末端侧，所述多个对包括如下的对：在向所述多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中的至少一对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入所述定位销来将所述固定板和所述第二相对部件定位的状态下，所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔位于沿着规定的第一方向偏移的位置的对。根据该结构，以与设置于被检查基板的检查点的配置对应的方式配置探针的第一及第二相对部件安装于固定板。而且，在固定板的供第二相对部件安装的区域内形成有多个固定侧定位孔。另一方面，在第二相对部件形成有与多个固定侧定位孔各自对应而成对并且能够接受定位销的末端侧的移动侧定位孔。并且，如果向多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中的至少一对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入定位销来将固定板与第二相对部件定位，则成对的固定侧定位孔与移动侧定位孔被设成以位于沿着规定的第一方向偏移的位置的方式配置的对。在此，当向位于所述偏移的位置的对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入定位销时，第二相对部件以位于该偏移的位置的固定侧定位孔的位置与移动侧定位孔位置一致的方式相对于固定板移动。如果第二相对部件相对于固定板移动，则第一相对部件与第二相对部件之间的位置关系发生变化。即，根据该结构，通过向具有恰当的偏移量的固定侧定位孔与移动侧定位孔的对中插入定位销，能够调节第一相对部件与第二相对部件之间的位置关系，即能够调节利用第一相对部件配置的探针与利用第二相对部件配置的探针之间的位置关系。因而，即使在被检查基板收缩或伸长的情况下，也容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触。其结果是，容易准确地执行基板检查。并且，优选所述第一方向为沿着所述第一相对部件与所述第二相对部件的排列方向的方向。根据该结构，当向位于所述偏移的位置的对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入定位销时，第二相对部件能够沿着第一相对部件与第二相对部件的排列方向移动，即能够调节利用第一相对部件配置的探针与利用第二相对部件配置的探针之间的间隔。因而，即使在被检查基板收缩或伸长的情况下，也容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触。其结果是，容易准确地执行基板检查。并且，优选位于所述偏移的位置的对为多个对，该多个对的沿着所述第一方向的偏移量彼此不同。根据该结构，通过恰当地选择将定位销插入的对，能够变更使第二相对部件移动的移动量。由此，第二相对部件的位置调整的自由度提高。其结果是，容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触，从而容易准确地执行基板检查。并且，优选所述至少一对为沿着所述第一方向的偏移量彼此相等的多个对，位于所述偏移的位置处的对为沿着所述第一方向的偏移量彼此相等的多个对。根据该结构，能够向第二相对部件的形成于彼此不同的位置处的多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入定位销。其结果是，能够对安装于固定板的第二相对部件的方向进行规定。因而，容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触。其结果是，容易准确地执行基板检查。并且，优选位于所述偏移的位置的对包含如下的多个组，所述多个组中的各个组包含沿着所述第一方向的偏移量彼此相等的多个对，所述多个组的沿着所述第一方向的偏移量彼此不同。根据该结构，通过恰当地选择多个将定位销插入的对，能够对安装于固定板的第二相对部件的方向进行规定，并且能够变更使第二相对部件移动的移动量。由此，能够对安装于固定板的第二相对部件的方向进行规定，并且能够提高第二相对部件的位置调整的自由度。其结果是，容易使探针恰当地与设置于被检查基板的检查点接触，从而容易准确地执行基板检查。并且，优选在所述定位销的末端部形成有从该定位销的外周朝向轴心倾斜并且相对于所述定位销的轴线所成的角度为45度以下的倾斜面，位于所述偏移的位置处的对的沿着所述第一方向的偏移量比所述倾斜面的沿着与所述轴线垂直的方向的宽度小。根据该结构，当向位于所述偏移的位置的对中插入定位销时，第二相对部件通过倾斜面向消除该被插入的对的固定侧定位孔与移动侧定位孔之间的偏移的方向移动。其结果是，通过将定位销插入，能够使第二相对部件移动。并且，优选所述定位销包括：螺纹部，其形成于后端侧；以及圆柱形的定位部，其直径比所述螺纹部的直径小且从所述螺纹部的末端沿着所述轴线延伸，所述倾斜面形成于所述定位部的末端部，在所述固定侧定位孔的所述第一面侧的开口部附近形成有用于与所述螺纹部螺合的内螺纹部，从所述定位部的后端到所述倾斜面的末端为止的所述轴线方向的长度比所述固定板的厚度短。根据该结构，当将定位销插入到固定侧定位孔中而使螺纹部与内螺纹部螺合本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查辅具，其安装于检查作为检查对象的被检查基板的检查装置主体，用于使探针分别与设置于所述被检查基板的多个检查点接触，所述检查辅具包括：板状的固定板，其具有第一面和第二面；以及第一相对部件及第二相对部件，该第一相对部件及第二相对部件安装于所述固定板，所述第一相对部件以与所述被检查基板的一部分的第一区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：第一相对面，其用于与所述第一区域相对配置；以及第一安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述第二相对部件以与所述被检查基板的不同于所述第一区域的第二区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：第二相对面，其用于与所述第二区域相对配置；以及第二安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述固定板的所述第一面为用于安装于所述检查装置主体的面，在所述固定板中的所述第二相对部件安装于所述第二面的区域内形成有垂直地贯通所述固定板的多个固定侧定位孔，该多个固定侧定位孔用于贯穿插入用于定位的定位销，在所述第二相对部件上形成有定位用的移动侧定位孔，从而所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔构成多个对，其中，所述移动侧定位孔与所述多个固定侧定位孔分别对应而成对，并且能够接受所述定位销的末端侧，所述多个对包括如下的对：在向所述多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中的至少一对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入所述定位销而将所述固定板和所述第二相对部件定位的状态下，所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔位于沿着规定的第一方向偏移的位置处。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.25 JP 2015-2295181.一种检查辅具，其安装于检查作为检查对象的被检查基板的检查装置主体，用于使探针分别与设置于所述被检查基板的多个检查点接触，所述检查辅具包括：板状的固定板，其具有第一面和第二面；以及第一相对部件及第二相对部件，该第一相对部件及第二相对部件安装于所述固定板，所述第一相对部件以与所述被检查基板的一部分的第一区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：第一相对面，其用于与所述第一区域相对配置；以及第一安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述第二相对部件以与所述被检查基板的不同于所述第一区域的第二区域中设置的检查点的配置对应的方式配置所述探针，并且具有：第二相对面，其用于与所述第二区域相对配置；以及第二安装面，其安装于所述固定板的所述第二面，所述固定板的所述第一面为用于安装于所述检查装置主体的面，在所述固定板中的所述第二相对部件安装于所述第二面的区域内形成有垂直地贯通所述固定板的多个固定侧定位孔，该多个固定侧定位孔用于贯穿插入用于定位的定位销，在所述第二相对部件上形成有定位用的移动侧定位孔，从而所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔构成多个对，其中，所述移动侧定位孔与所述多个固定侧定位孔分别对应而成对，并且能够接受所述定位销的末端侧，所述多个对包括如下的对：在向所述多个对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中的至少一对的固定侧定位孔与移动侧定位孔中插入所述定位销而将所述固定板和所述第二相对部件定位的状态下，所述固定侧定位孔与所述移动侧定位孔位于沿着规定的第一方向偏移的位置处。2.根据权利要求1所述的检查辅具，其中，所述第一方向为沿着所述第一相对部件与所述第二相对部件的排列方向的方向。3.根据权利要求1或2所述的检查辅具，其中，位于所述偏移的位置处的对为多个对，该多个对的沿着所述第一方向的偏移量彼此不同。4.根据权利要求1或2所述的检查辅具，其中，所述至少一对为沿着所述第一方向的偏移量彼此相等的多个对，位于所述偏移的位置处的对为沿着所述第一方向的偏移量彼此相等的多个对。5.根据权利要求4所述的检查辅具，其中，位于所述偏移的位置处的对包含如下的多个组，所述多个组中的各个组包含沿着所述第一方向的偏移量彼此相等的多个对，所述多个组的沿着所述第一方向的偏移量彼此不同。6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的检查辅具，其中，在所述定位销的末端部形成有从该定位销的外周朝向轴心倾斜并且相对于所述定位销的轴线所成的角度为45度以下的倾斜面，位于所述偏移的位置处的对的沿着所述第一方向的偏移量比所述倾斜面的沿着与所述轴线垂直的方向的宽度小。7.根据权利要求6所述的检查辅具，其中，所述定位销包括：螺纹部，其形成于后端侧；以及圆柱形的定位部，其直径比所述螺纹部的直径小且从所述螺纹部的末端沿着所述轴线延伸，所述倾斜面形成于所述定位部的末端部，在所述固定侧定...

【专利技术属性】
技术研发人员：加藤穰，冈本圭弘，林明生，山岸拓平，
申请(专利权)人：日本电产理德株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP