颗粒状物质的测定装置用部件及其制造方法制造方法及图纸

颗粒状物质的测定装置用部件具备：由陶瓷构成且在内部具有供气体流动的流路的基部；以将所述流路分割成多个的方式设置在所述流路的内部且由多孔质陶瓷构成的过滤部；以及以夹着所述过滤部的方式设置于所述基部的静电电容形成用的一对电极，所述基部的所述流路的壁面比所述过滤部的表面致密。

Component and manufacturing method for measuring device of granular substance

A measuring device for a granular material is equipped with a basic part of a flow path composed of a ceramic and flowing in a gas supply inside; a filter set up inside the flow path and composed of porous ceramics by dividing the flow path into a plurality of ways; and the static state set at the base with the method of the filter. A pair of electrodes for forming electric capacitance, the wall surface of the flow path of the base is denser than the surface of the filter part.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】颗粒状物质的测定装置用部件及其制造方法
本专利技术涉及颗粒状物质的测定装置用部件及其制造方法。
技术介绍
作为为了测定从柴油发动机排出的废气中的颗粒状物质的量而使用的颗粒状物质的测定装置用部件，例如已知有日本特开2014-159783号公报(以下称为专利文献1)所记载的颗粒状物质的测定装置用部件。专利文献1所记载的颗粒状物质的测定装置用部件具备：由多孔质性的隔壁划分成多个单元的过滤器；以及在将至少一个单元设为测定用单元时夹着该单元而设置的一对电极。而且，在专利文献1所记载的颗粒状物质的测定装置用部件中，基于一对电极间的静电电容，算出被过滤器捕获到的废气中的颗粒状物质的堆积量。然而，在使用专利文献1所记载的颗粒状物质的测定装置用部件而测定出颗粒状物质的堆积量的情况下，难以提高实际的堆积量与测定值之间的线性度。作为难以提高线性度的原因，例如举出如下方面：在单元的隔壁中的与一对电极的排列方向垂直的面上堆积颗粒状物质的情况以及在单元的隔壁中的与一对电极的排列方向平行的面上堆积颗粒状物质的情况下，即便颗粒状物质的量相同，电极间的静电电容的变化也不同。
技术实现思路
颗粒状物质的测定装置用部件具有：由陶瓷构成且在内部具有供气体流动的流路的基部；以将所述流路分割成多个的方式设置在所述流路的内部且由多孔质陶瓷构成的过滤部；以及以夹着所述过滤部的方式设置于所述基部的静电电容形成用的一对电极，所述基部的所述流路的壁面比所述过滤部的表面致密。附图说明图1是颗粒状物质的测定装置用部件的立体图。图2是表示图1所示的颗粒状物质的测定装置用部件的纵剖面的剖视图。图3是表示图1所示的颗粒状物质的测定装置用部件的横剖面的剖视图。图4是表示图1所示的颗粒状物质的测定装置用部件中的电极的布线图案的示意图。图5是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例中的电极的布线图案的示意图。图6是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图7是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的横剖面的剖视图。图8是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图9是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图10是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图11是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例中的电极的布线图案的示意图。图12是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例中的电极的布线图案的示意图。图13是表示颗粒状物质的测定装置用部件的制造方法的示意图。图14是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图15是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图16是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图17是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图18是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图19是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图20是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图21是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图22是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图23是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图24是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图25的(a)是颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的立体图，图25的(b)是表示图25的(a)的C-C线剖面(纵剖面)的剖视图，图25的(c)是表示图25的(a)的D-D线剖面(纵剖面)的剖视图。图26是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图27是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图28是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图29是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的纵剖面的剖视图。图30是表示颗粒状物质的测定装置用部件的变形例的横剖面的剖视图。具体实施方式图1是表示颗粒状物质的测定装置用部件100的结构的立体图。如图1所示，颗粒状物质的测定装置用部件100具备：在内部具有流路11的基部1；以及在流路11的内部设置的过滤部2。颗粒状物质的测定装置用部件100还在基部1具备静电电容形成用的一对电极3。颗粒状物质的测定装置用部件100例如用于对从柴油发动机排出的废气中的颗粒状物质的量进行测定。基部1是用于形成供气体流动的流路11的构件。基部1例如由氧化铝等绝缘性的陶瓷构成。基部1例如在内部具有一个或多个流路11。在图1所示的颗粒状物质的测定装置用部件100中，基部1的外形为长方体形状，且基部1在内部具有两个流路11。流路11沿着基部1的主面的长边方向延伸。各个流路11由过滤部2分割为多个，分割后的一个一个的空间也被称为分割流路12。流路11在基部1的一个侧面和处于与该一个侧面对置的位置的侧面开口。两个流路11在基部1的厚度方向上排列。基部1例如能够设定为，主面的长边方向的长度为40mm，短边方向的长度(宽度)为10mm，厚度为5mm。另外，由过滤部2分割而形成的分割流路12(过滤部2之间的分割流路12)能够设定为，宽度为1.2mm，底面与顶面的间隔为1.2mm。流路11的长度与基部1的长度相等，能够设定为40mm。过滤部2是用于捕获气体中的颗粒状物质的构件。如图2所示，过滤部2设置在流路11的内部。如图3所示，在颗粒状物质的测定装置用部件100中，过滤部2为板状，且沿着基部1的长边方向(沿着流路11的长度方向)设置。过滤部2以将基部1的流路11分割为多个区域(分割流路12)的方式设置有多个。颗粒状物质的测定装置用部件100在一个流路11中设置有四个过滤部2。四个过滤部2分别并排地排列。过滤部2由多孔质陶瓷构成。作为多孔质陶瓷，例如举出多孔质氧化铝。通过由多孔质氧化铝构成过滤部2，从而能够使在流路11中流动的气体通过过滤部2。此时，过滤部2能够捕获气体中所含的颗粒状物质的一部分(使其堆积)。在此，在颗粒状物质的测定装置用部件100中，基部1的流路11的壁面比过滤部2的表面致密。由此，能够使颗粒状物质难以堆积于基部1的流路11的壁面，并且，能够使颗粒状物质容易堆积于过滤部2的表面。其结果是，能够使颗粒状物质的堆积容易集中于过滤部2，因此，能够提高颗粒状物质的堆积量与测定值之间的线性度。其结果是，能够提高颗粒状物质的测定装置用部件100的测定精度。基部1的流路11的壁面比过滤部2的表面致密这一情况例如可以通过以下的方法来确认。具体而言，使用扫描型电子显微镜(SEM)对基部1的流路11的壁面以及过滤部2的表面进行观察。而且，对得到的SEM图像进行图像处理，求出表面的气孔率。结果是，可以认为气孔率小的一方更为致密。基部1的流路11的壁面的气孔率例如能够设定为3％以下。过滤部2的表面的气孔率例如能够设定为40～70％。需要说明的是，在此所说的流路11的壁面是指，流路11中的与气体相面对的基部1的内表面的整体。即，在此所说的壁面不仅包含流路11的内侧面，也包含顶面以及底面。另外，在此所说的“基部1的流路11的壁面比过滤部2的表面致密”也包含流路11中的仅仅顶面以及底面比过滤部2的表面致密这一情况。该情况下，也能够使颗本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种颗粒状物质的测定装置用部件，其特征在于，具备：基部，所述基部由陶瓷构成，且在内部具有供气体流动的流路；过滤部，所述过滤部以将所述流路分割成多个的方式设置在所述流路的内部，且由多孔质陶瓷构成；以及静电电容形成用的一对电极，所述一对电极以夹着所述过滤部的方式设置于所述基部，所述基部的所述流路的壁面比所述过滤部的表面致密。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.26 JP 2015-230699;2015.12.25 JP 2015-254141.一种颗粒状物质的测定装置用部件，其特征在于，具备：基部，所述基部由陶瓷构成，且在内部具有供气体流动的流路；过滤部，所述过滤部以将所述流路分割成多个的方式设置在所述流路的内部，且由多孔质陶瓷构成；以及静电电容形成用的一对电极，所述一对电极以夹着所述过滤部的方式设置于所述基部，所述基部的所述流路的壁面比所述过滤部的表面致密。2.一种颗粒状物质的测定装置用部件，其特征在于，具备：一对基部，所述一对基部是由陶瓷构成的板状的构件，且以主面对置的方式并列设置；过滤部，所述过滤部以对所述一对基部间的空间进行分割而形成流路的方式设置，且由多孔质陶瓷构成；以及静电电容形成用的一对电极，所述一对电极分别设置于所述一对基部，且以夹着所述过滤部的方式设置，所述一对基部的对置的所述主面比所述过滤部的表面致密。3.根据权利要求1或2所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，所述电极埋设于所述基部。4.根据权利要求1至3中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，所述基部以及所述过滤部一体地形成。5.根据权利要求1至4中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，所述基部以及所述过滤部由相同的陶瓷构成。6.根据权利要求5所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，所述基部以及所述过滤部由氧化铝构成。7.根据权利要求1至6中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，所述电极具有线状的布线图案，并且所述电极沿着所述过滤部设置。8.根据权利要求1至7中任一项所述的颗粒状物质的测定装置用部件，其中，所述电极具有线状的布线图案，并且所述电极设置在所述基部中的夹着所述过滤部的区域以及未夹着所述过滤部的区域，在俯视时，所述电极中的位于...

【专利技术属性】
技术研发人员：村松大树，村元康人，井上将吾，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP