The present invention provides a system, method and computer program product for selecting a signal to be measured with a measuring tool, and the measuring tool optimizes the accuracy of the measurement. The technology includes the steps of simulating a set of signals for measuring one or more parameters of a measurement target. A normalized Jacobi matrix corresponding to the set of said signals is generated, based on the normalized Jacobi matrix to select a subset of the signals in the set of analog signals, which optimizes the performance measure associated with one or more parameters of the measured target, and uses a metering tool to collect the meter. The measurement of each signal in the signal subset of a quantity target. This technique optimizes the accuracy of such a measurement for a given number of signals collected by the measuring tool and a conventional technique for collecting signals distributed uniformly throughout a series of process parameters.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于快速自动确定用于高效计量的信号的系统、方法及计算机程序产品相关申请案本申请案主张2015年12月8日申请的第61/264,482号美国临时专利申请案的权益,所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。
本专利技术涉及计量工具,且更特定来说,本专利技术涉及计量工具的配置。
技术介绍
计量通常涉及测量目标组件的各种物理特征。举例来说,可使用计量工具来测量目标组件的结构及材料特性(例如,材料组成物、结构的尺寸特性及/或结构的临界尺寸等等)。在半导体计量的实例中,可使用计量工具来测量已制造的半导体组件的各种物理特征。一旦获得计量测量,就可分析所述测量。此分析通常涉及如下算法:推断目标组件的参数模型的参数值,使得与所述值相关联的测量的模拟紧密匹配实际测量。此类算法通常属于被称为“逆问题”的一类数学问题。一个此类实施例是最小化实际测量与从参数模型导出的模拟测量之间的赋范误差的回归。往往,为了缩减解决逆问题所需的总时间量,由库替换测量的严格模拟,所述库是针对特定于目标组件的模型参数化的模拟的快速且足够准确的数学近似。通常,由在大模拟测量集合上训练的内插器计算库,所述库的参数属于目标组件的参数的预期范围。在一些情况下,期望使用多个不同计量工具来测量目标组件。此技术通常被称为“混合计量”。可能存在采用多个不同计量工具的许多原因,例如个别计量工具的不足测量性能。接着,期望是可组合使用不同测量技术的两个或多于两个计量工具,其中每一技术是根据其特定优势而使用,以关于目标组件的全部临界尺寸及组成物参数产生符合稳定性及过程跟踪的规范的总测量。在SPIEProc.、第7971卷(2 ...
【技术保护点】
1.一种方法,其包括:经由执行模拟器模块的处理器来模拟用于测量计量目标的一或多个参数的信号集合;产生对应于所述信号集合的正规化雅可比矩阵;基于所述正规化雅可比矩阵来选择所述模拟信号集合中的信号子集,所述信号子集优化与测量所述计量目标的所述一或多个参数相关联的性能度量;及利用计量工具来收集所述计量目标的所述信号子集中的每一信号的测量。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.12.08 US 62/264,842;2016.11.28 US 15/362,7411.一种方法,其包括:经由执行模拟器模块的处理器来模拟用于测量计量目标的一或多个参数的信号集合;产生对应于所述信号集合的正规化雅可比矩阵;基于所述正规化雅可比矩阵来选择所述模拟信号集合中的信号子集,所述信号子集优化与测量所述计量目标的所述一或多个参数相关联的性能度量;及利用计量工具来收集所述计量目标的所述信号子集中的每一信号的测量。2.根据权利要求1所述的方法,其中选择所述信号子集包括:产生所述计量目标的所述一或多个参数的协方差矩阵;通过将所述正规化雅可比矩阵的每一行投影到所述协方差矩阵的一或多个特征向量上来计算所述行的赋范投影值;及选择所述模拟信号集合中与具有最大赋范投影值的所述正规化雅可比矩阵的所述行对应的数个信号作为所述信号子集。3.根据权利要求2所述的方法,其中计算每一行的所述赋范投影值包括乘以权重。4.根据权利要求3所述的方法,其中根据包含以下各者中的至少一者的准则来设置所述权重:所述计量工具的选择、波长、入射角、方位角、偏光、焦距、积分时间,及/或与所述测量相关联的其它参数。5.根据权利要求1所述的方法,其中所述一或多个参数包含所述计量目标的临界尺寸及材料特性中的至少一者。6.根据权利要求1所述的方法,其中所述性能度量是基于每一参数的所述测量的精度。7.根据权利要求1所述的方法,其中所述性能度量是利用权重系数组合多个性能度量的统一性能度量。8.根据权利要求1所述的方法,其中所述模拟器模块包括基于系统的模型来产生所述信号集合的指令,所述系统包含所述计量工具及由建模参数集合定义的晶片上的一或多个计量目标。9.根据权利要求1所述的方法,其中所述计量工具是选自以下各者中的一者:光谱椭偏仪SE;具有多个照明角度的SE;测量米勒矩阵元素的SE;单波长椭偏仪;光束轮廓椭偏仪;光束轮廓反射计;宽带反射式光谱仪;单波长反射计;角分辨反射计;成像系统;散射计;小角x射线散射SAXS装置;x射线粉末衍射XRD装置;x射线荧光XRF装置;x射线光电子光谱XPS装置;x射线反射率XRR装置;拉曼光谱装置;扫描电子显微术SEM装置;隧穿电子显微镜TEM装置;及原子力显微镜AFM装置。10.根据权利要求1所述的方法,其进一步包括:利用所述计量工具来收集一或多个额外计量目标的所述信号子集中的每一信号的测量;及分析针对所述计量目标及所述一或多个额外计量目标所收集的所述测量,以确定所述计量目标中的每一者的所述一或多个参数,其中确定特定计量目标的所述一或多个参数包含分析与至少一个其它计量目标相关联的测量。11.根据权利要求10所述的方法,其中利用针对所述计量目标及所述一或多个额外计量目标的所述信号子集中的每一信号所收集的所述测量作为参考信号集合,以校准高处理量计量工具。12.根据权利要求10所述的方法,其中所述计量工具是x射线计量工具。13.一种被体现于非暂时性计算机可读媒体上的计算机程序产品,所述计算机程序产品包含适应于由计算机执行以执行方法的代码,所述方法包括:经由执行模拟器模块的处理器来模拟用于测量计量目标的一或多个参数的信号集合;产生对应于所述信号集合的正规化雅可比矩阵;基于所述正规化雅可比矩阵来选择所述模拟信号集合中的信号子集,所述信号子集优化与测量所述计量目标的所述一或多个参数相关联的性能度量;及利用计量工具来收集所述计量目标的所述信号子集中的每一信号的测量。14.根据权利要求13所述的计算机程序产品,其中选择所述信号子集包括:产生所述计量目标的所述一或多个参数的协方差矩阵;通过将所述正规化雅可比矩阵的每一行投影到所述协方差矩阵的一或多...
【专利技术属性】
技术研发人员:A·吉里纽,A·库兹涅佐夫,J·亨奇,
申请(专利权)人:科磊股份有限公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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