蒸汽释放装置及成膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术目的在于提供一种能够在真空中基体材料膜上形成有机化合物膜时使有机化合物单体的蒸汽按一定的比例产生并使成膜速率稳定的技术。本发明专利技术是一种在真空中释放有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放装置，具有：将液体状的有机化合物单体气化的气化部21；以及与气化部21连通并释放气化部21中气化的有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放部22。在气化部21内设有中空的蒸发器40。该蒸发器40构成为使液体状的有机化合物单体成为雾状而导入，并加热雾状的有机化合物单体34而使之蒸发，将有机化合物单体的蒸汽向气化部21内导出。

Steam release device and film forming device

The aim of the present invention is to provide a technique for producing an organic compound film in a certain proportion and making the film forming rate stable when an organic compound film is formed on the film of a matrix material in a vacuum. The invention is a steam release device that releases the steam of an organic compound in a vacuum, which has a gasification unit 21 to vaporized a liquid organic compound of an organic compound, and a steam release unit 22 that is connected with the gasification unit 21 and releases the vapors of the organic compound monomer in the gasification unit 21. A hollow evaporator 40 is provided within 21 of the gasification unit. The evaporator 40 is made up of a liquid organic compound monomer into a fog and is introduced, and the vaporized organic compound monomer 34 is heated to evaporate, and the vapors of the organic compound monomer are derived from the gasification unit 21.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸汽释放装置及成膜装置
本专利技术涉及用于在真空中基体材料膜上形成有机化合物膜的成膜装置的技术。
技术介绍
近年来，有想在基体材料膜上有效率地形成电子部件等要求，因此，提出了在真空中输送长条的基体材料膜而在基体材料膜上形成由高分子有机化合物构成的膜的技术。一直以来，在真空中基体材料膜上形成高分子有机化合物膜的情况下，例如进行如下步骤：使有机化合物单体蒸发，并将该蒸汽喷涂到基体材料膜上而形成有机化合物层，通过对该有机化合物层进行加热或者照射能量线来使之硬化，从而形成高分子有机化合物膜。然而，在真空中利用这样的方法在基体材料膜上形成高分子有机化合物膜的情况下存在各种课题。即，难以在真空中以均匀的膜厚在基体材料膜上形成有机化合物的单体的膜，特别是，使有机化合物单体的蒸汽按一定的比例产生并使成膜速率稳定是非常困难的。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004－169144号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术是考虑了这样的现有技术的课题而作出的，其目的在于提供一种能够在真空中基体材料膜上形成有机化合物膜时使有机化合物单体的蒸汽按一定量产生并使成膜速率稳定的技术。用于解决课题的方案为了达成上述目的而作出的本专利技术，是一种在真空中释放有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放装置，具有：气化部，其将液体状的有机化合物单体气化；以及蒸汽释放部，其与前述气化部连通，释放前述气化部中气化的有机化合物单体的蒸汽，在前述气化部内设有中空的蒸发器，该蒸发器构成为使前述液体状的有机化合物单体成为雾状而导入，并加热该雾状的有机化合物单体而使之蒸发，将该有机化合物单体的蒸汽向前述气化部内导出。在本专利技术中，具有将前述气化部及前述蒸汽释放部分别整体加热的加热单元的情况下也有效。在本专利技术中，具有向前述蒸发器供给液体状的有机化合物单体的单体供给管、和冷却该单体供给管的冷却单元的情况下也有效。在本专利技术中，用于使前述液体状的有机化合物单体成为雾状而向前述蒸发器内导入的喷嘴部设于前述单体供给管的前端部，该喷嘴部的前端部以相对于前述蒸发器的内壁面不会向该蒸发器的内方突出的方式配置并构成的情况下也有效。另一方面，本专利技术为一种成膜装置，具有：真空槽；以及设置在前述真空槽内的上述任一种蒸汽释放装置，该成膜装置构成为在前述真空槽内从前述蒸汽释放装置的蒸汽释放部对于输送的基体材料膜喷涂有机化合物单体的蒸汽。在本专利技术中，前述蒸汽释放装置的气化部设置在前述真空槽的外侧的情况下也有效。专利技术效果在本专利技术的蒸汽释放装置中，在气化部内设置中空的蒸发器，使得液体状的有机化合物单体成为雾状而向蒸发器内导入，加热该雾状的有机化合物单体而使之蒸发，将有机化合物单体的蒸汽向气化部内导出而从蒸汽释放部释放。在具有这样的结构的本专利技术的蒸汽释放装置中，通过使加热雾状的有机化合物单体并使之蒸发的蒸发器和将利用该蒸发器生成的有机化合物单体的蒸汽向蒸汽释放部引导的气化部为独立结构，能够做成使蒸发有机化合物单体的部分和释放有机化合物单体的蒸汽的部分不直接连通的结构，其结果，能够防止微小液滴和蒸汽混合在一起的状态的有机化合物单体直接导入蒸汽释放部而用于成膜。即，通过构成为使蒸发有机化合物单体的部分和释放有机化合物单体的蒸汽的部分之间的路径变长，能够抑制有机化合物单体的夹带雾沫(飛沫同伴)。另外，通过将有机化合物单体的蒸汽暂且储存在与蒸发无关系的空间，即气化部的内部且蒸发器的外侧的空间，能够稳定地保持向蒸汽释放部输送的有机化合物单体的蒸汽量。基于以上，依据本专利技术的蒸汽释放装置，能够产生始终一定量的有机化合物单体的蒸汽并从气化部送给蒸汽释放部。其结果，能够释放始终一定量的有机化合物单体的蒸汽，因此能够使成膜速率稳定。本专利技术中，在具有将蒸汽释放装置的气化部及蒸汽释放部分别整体加热的加热单元的情况下，能够可靠地防止气化部及蒸汽释放部内有机化合物单体的蒸汽的冷凝，因此能够使成膜速率更加稳定。本专利技术中，在具有冷却向蒸发器供给液体状的有机化合物单体的单体供给管的冷却单元的情况下，能够更加可靠地防止单体供给管内的有机化合物单体因热而进行的聚合反应。本专利技术中，用于使液体状的有机化合物成为雾状而向蒸发器内导入的喷嘴部设于单体供给管的前端部，该喷嘴部的前端部以相对于蒸发器的内壁面不会向该蒸发器的内方侧突出的方式配置并构成的情况下，具有如以下的效果。即，该喷嘴部设于具有冷却单元的单体供给管的前端部，温度会比蒸发器的内壁面低。因此，若喷嘴部成为比蒸发器的内壁面更向蒸发器的内方侧突出的状态，则温度比蒸发器的内壁面低的喷嘴部会曝露于在蒸发器内被加热并蒸发的有机化合物单体的蒸汽中，担心有机化合物单体的蒸汽冷凝。相对于此，在本专利技术中，以使喷嘴部的前端部不会向蒸发器的内方侧突出的方式配置并构成，因此无需担心有机化合物单体的蒸汽附着到喷嘴部而冷凝，进而，在蒸发器内被加热并蒸发的有机化合物单体的蒸汽会仅与例如用加热器加热的蒸发器的内壁面相接，因此防止蒸发器的内壁面上的冷凝而能够可靠地产生一定量的蒸汽。另一方面，依据具有真空槽和设于该真空槽内的上述任一种蒸汽释放装置，构成为在真空槽内从蒸汽释放装置的蒸汽释放部对于输送的基体材料膜喷涂有机化合物单体的蒸汽的成膜装置，能够提供一种能够始终以一定的比例产生有机化合物单体的蒸汽并释放且使成膜速率稳定的成膜装置。本专利技术中，在蒸汽释放装置的气化部设于真空槽的外侧的情况下，不仅能够容易进行气化部内的蒸发器等的维护，而且能够充分地确保气化部内的蒸发器与蒸汽释放部之间的距离而谋求有机化合物单体的蒸汽浓度的均匀。附图说明图1是利用本专利技术所涉及的蒸汽释放装置的成膜装置的实施方式的整体结构图；图2是本专利技术所涉及的蒸汽释放装置的实施方式的内部结构图；图3是示出本实施方式中的蒸汽释放装置的蒸发器的单体导入部的主要部分结构的截面图；图4的(a)是示出该蒸汽释放装置的蒸汽释放部的前视图，(b)是示出该蒸汽释放装置的蒸汽释放部的侧面图；图5的(a)(b)是示意性地示出在基体材料膜上形成有机化合物层的工序的说明图。具体实施方式以下，参照附图，对本专利技术的优选实施方式进行详细说明。图1是利用本专利技术所涉及的蒸汽释放装置的成膜装置的实施方式的整体结构图，图2是本专利技术所涉及的蒸汽释放装置的实施方式的内部结构图。如图1所示，本实施方式的成膜装置1用于在与真空排气装置17连接的真空槽2内基体材料膜10上形成有机化合物膜，具有后述的蒸汽释放装置20(参照图2)。在此，在真空槽2内部的中央部分附近，设有用于与基体材料膜10接触并将它输送的圆柱形状的中央辊3，在该中央辊3的周围，后述的蒸汽释放装置20的蒸汽释放部22和能量线射出装置9以分别与中央辊3对置的方式配置。构成为：在真空槽2内的例如上部，配置有基体材料膜10的基材辊(原反ロール)4a，从该基材辊4a放出的基体材料膜10以与中央辊3的表面密合的方式转换方向而围上，由设于真空槽2内的例如上部的卷绕辊4b卷上。如图2所示，本实施方式的蒸汽释放装置20具有：例如将丙烯树脂等的液体状的有机化合物单体气化的气化部21；以及释放该气化部21中气化的有机化合物单体的蒸汽的蒸汽释放部22。蒸汽释放装置20的气化部21例如形成为圆筒形状，在该气化部21，以同心状连通的状态连接有例如形成为直径小于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1. 一种蒸汽释放装置，在真空中释放有机化合物单体的蒸汽，具有：气化部，其将液体状的有机化合物单体气化；以及蒸汽释放部，其与所述气化部连通，释放所述气化部中气化的有机化合物单体的蒸汽，在所述气化部内设有中空的蒸发器，该蒸发器构成为使所述液体状的有机化合物单体成为雾状而导入，并加热该雾状的有机化合物单体而使之蒸发，将该有机化合物单体的蒸汽向所述气化部内导出。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.30 JP 2015-2328931.一种蒸汽释放装置，在真空中释放有机化合物单体的蒸汽，具有：气化部，其将液体状的有机化合物单体气化；以及蒸汽释放部，其与所述气化部连通，释放所述气化部中气化的有机化合物单体的蒸汽，在所述气化部内设有中空的蒸发器，该蒸发器构成为使所述液体状的有机化合物单体成为雾状而导入，并加热该雾状的有机化合物单体而使之蒸发，将该有机化合物单体的蒸汽向所述气化部内导出。2.根据权利要求1所述的蒸汽释放装置，其特征在于，具有将所述气化部及所述蒸汽释放部分别整体加热的加热单元。3.根据权利要求1或2的任一项所述的蒸汽释放装置，其特征在于，具有向所述蒸发器供给液体状的有机化合物单体的单体供给管、和冷却该单体供给管的冷却单元。4.根据权利要求3所述的蒸汽释放装置，其特征在于，用于使所述液体状的...

【专利技术属性】
技术研发人员：斋藤和彦，林信博，广野贵启，岩桥照明，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本,JP