用于测量沉积率的测量组件、蒸发源、沉积设备及其方法技术

描述一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件(100)。测量组件(100)包括：第一振荡晶体(110)，用于测量沉积率；第二振荡晶体(120)，用于测量沉积率；和可移动遮板(140)。可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第一测量出口(151)提供的已蒸发材料，第一测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第一振荡晶体(110)。另外，可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第二测量出口(152)提供的已蒸发材料，第二测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供至第二振荡晶体(120)。

Measurement assembly for measuring deposition rate, evaporation source, deposition device and method thereof

A measuring component (100) for measuring the deposition rate of an evaporated material is described. Measurement components (100) include: first oscillating crystal (110) for measuring deposition rate; second oscillating crystal (120) for measuring deposition rate; and removable panel (140). The movable cover plate (140) is constructed to block the evaporated material provided from the first measurement exit (151), and the first measurement exit is guided to provide the evaporated material to the first oscillating crystal (110). In addition, the movable cover plate (140) is constructed to block the evaporated material provided from the second measuring exit (152), and the second measurement exit is guided to provide the evaporated material to the second oscillating crystal (120).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于测量沉积率的测量组件、蒸发源、沉积设备及其方法
本公开内容涉及一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件、一种用于材料的蒸发的蒸发源、一种用于将材料供应到基板的沉积设备、和一种用于测量已蒸发材料的沉积率的方法。本公开内容特别涉及一种用于测量已蒸发有机材料的沉积率的测量组件及其方法。另外，本公开内容特别涉及包括有机材料于其中的装置，例如，蒸发源和用于有机材料的沉积设备。
技术介绍
有机蒸发器为用于制造有机发光二极管(organiclight-emittingdiodes，OLED)的工具。OLED为发光二极管的一种特殊形式，在所述OLED中，发光层包括特定的有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用来制造用于显示信息的电视屏幕、计算机屏幕、移动电话、其他手持装置等。OLED也可用作一般空间照明。OLED显示器的可能的颜色、亮度和视角的范围大于传统的LCD的这些特性，因为OLED像素直接地发光而不涉及背光。因此，相较于传统的LCD显示器的能耗，OLED显示器的能耗相当地少。另外，可制造于柔性基板上的OLED产生其他应用。OLED的功能取决于有机材料的涂层厚度。此厚度必须在预定范围中。在OLED的生产中，受影响的具有有机材料的涂层的沉积率被控制为落在预定的公差范围中。也就是说，有机蒸发器的沉积率必须在生产工艺中被充分地控制。因此，对于OLED应用以及对于其他蒸发工艺来说，需要在相当长时间内高准确性的沉积率。现有用于测量蒸发器的沉积率的多个测量系统可用。然而，这些测量系统在所需的时间段内面临准确性不足和/或稳定性不足的情况。因此，一直需要提供改良的沉积率测量系统、沉积率测量方法、蒸发器和沉积设备。
技术实现思路
鉴于上述，提供根据独立权利要求的一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件、一种蒸发源、一种沉积设备、和一种用于测量已蒸发材料的沉积率的方法。根据本公开内容的一方面，提出一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件。测量组件包括：第一振荡晶体，用于测量沉积率；第二振荡晶体，用于测量沉积率；和可移动遮板。可移动遮板经构造以用于阻挡从第一测量出口提供的已蒸发材料，第一测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供到第一振荡晶体。另外，可移动遮板经构造以用于阻挡从第二测量出口提供的已蒸发材料，第二测量出口被引导以用于将已蒸发材料提供到第二振荡晶体。根据本公开内容的另一方面，提出一种用于材料的蒸发的蒸发源。蒸发源包括：蒸发坩锅，其中蒸发坩锅经构造以蒸发材料；分配组件，具有一个或多个出口，用于提供已蒸发材料。分配组件与蒸发坩锅流体连通。另外，蒸发源包括如本文所述的任何实施方式的测量组件。根据本公开内容的其他方面，提出一种沉积设备，用于在真空腔室中以一沉积率将材料提供至基板。沉积设备包括如本文所述的任何实施方式的至少一个蒸发源。根据本公开内容的另一方面，提出一种用于测量已蒸发材料的沉积率的方法。方法包括蒸发材料；将已蒸发材料的第一部分供应至基板；将已蒸发材料的第二部分转向至第一振荡晶体和/或第二振荡晶体；和通过使用如本文所述的任何实施方式的测量组件测量沉积率。其他优点、特征、方面和细节从从属权利要求、说明书和附图更加清楚。附图说明为了可详细地了解本公开内容的上述特征，在上文简要概述的本公开内容的更特定的描述可参照实施方式来进行。所附附图涉及本公开内容的实施方式并描述于下文。图1A至图1C示出根据本文所述的实施方式的在不同状态中的用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件的示意图；图2A至图2D示出根据本文所述的其他实施方式的在不同状态中的用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件的示意图；图3示出根据本文所述的其他实施方式的测量组件的部分的示意图；图4A和图4B示出根据本文所述的实施方式的蒸发源的示意性侧视图；图5示出根据本文所述的实施方式的蒸发源的透视图；图6示出根据本文所述的实施方式的用于在真空腔室中将材料供应到基板上的沉积设备的示意性俯视图；和图7A和图7B示出说明如本文所述的用于测量已蒸发材料的沉积率的方法的实施方式的方框图。具体实施方式将详细地参照本公开内容的数种实施方式，本公开内容的数种实施方式的一个或多个示例示出于附图中。在以下对附图的描述中，相同附图标记是指相同部件。在下文中，一般仅有关于个别实施方式的相异之处进行说明。各示例以解释本公开内容的方式提供而不表示本公开内容的限制。另外，描述或叙述为一个实施方式的部分的特征可用于其他实施方式或与其他实施方式结合以产生另一实施方式。本说明书旨在包括这样的修改和变化。在更详细地描述本公开内容的数种实施方式前，有关于本文使用的一些术语的数个方面进行解释。在本公开内容中，“用于测量沉积率的振荡晶体”可理解为，通过测量振荡晶体谐振器的频率的改变，用于测量在每个单位面积的振荡晶体上的已沉积材料的质量变化的振荡晶体。特别地，在本公开内容中，振荡晶体可理解为石英晶体谐振器(quartzcrystalresonator)。更特别地，“用于测量沉积率的振荡晶体”可理解为石英晶体微天平(quartzcrystalmicrobalance，QCM)。在本公开内容中，“可移动遮板(movableshutter)”可理解为布置在测量组件与测量出口之间的可移动元件，所述测量出口用于提供已蒸发材料至测量组件。特别地，“可移动遮板”可理解为经构造以于测量组件与测量出口之间的空间中移动的元件。例如，可移动遮板可经构造以沿着横向方向为可移动的。根据另一示例，可移动遮板可经构造以为可旋转的。一般来说，于可移动遮板的第一状态中，可移动遮板经构造以用于阻挡经由测量出口提供的已蒸发材料的流动，并且于可移动遮板的第二状态中，可移动遮板经构造以用于开放(unblocking)经由测量出口提供的已蒸发材料的流动。因此，可移动遮板经构造以用于控制已蒸发材料至测量组件的通路。在本公开内容中，“用于材料的蒸发的蒸发源”可理解为一种经构造以用于提供将沉积于基板上的材料的布置。特别地，蒸发源可经构造以用于在真空腔室中提供将沉积于基板上的材料，真空腔室例如是真空沉积设备的真空沉积腔室。根据一些实施方式，蒸发源可包括蒸发器或坩锅以及分配组件，所述蒸发器或坩锅蒸发将沉积于基板上的材料，所述分配组件例如是分配管道或一个或多个点源，可沿着竖直轴线布置。例如，分配组件可经构造以在朝向基板的方向中例如是经由出口或喷嘴释放已蒸发材料。在本公开内容中，“坩锅”可理解为提供或容纳将沉积的材料的装置或贮槽。一般来说，坩锅可加热以用于蒸发将沉积于基板上的材料。坩锅可处于与分配组件流体连通的状态，由坩锅蒸发的材料可递送至所述分配组件。在一个示例中，坩锅可为用于蒸发有机材料的坩锅，有机材料例如是具有约100℃至约600℃的蒸发温度的有机材料。在本公开内容中，术语“流体连通”可理解为流体连通的两个元件可经由连接来交换流体以允许流体在两个元件之间流动。在一个示例中，被流体连通的元件可以包括中空结构，流体可经由中空结构而流动。根据一些实施方式，被流体连通的至少一个元件可为管状元件。在本公开内容中，“分配组件”可理解为用于导引和分配已蒸发材料的分配管道，或可沿着竖直轴线布置的一个或多个点源。特别地，分配管道或一个或多个点源可经构造以用于在分配管道或一个或多个点本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件(100)，包括：第一振荡晶体(110)，用于测量所述沉积率；第二振荡晶体(120)，用于测量所述沉积率；和可移动遮板(140)，其中所述可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第一测量出口(151)提供的所述已蒸发材料，所述第一测量出口(151)被引导以用于将已蒸发材料提供至所述第一振荡晶体(110)；并且其中所述可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第二测量出口(152)提供的所述已蒸发材料，所述第二测量出口(152)被引导以用于将所述已蒸发材料提供至所述第二振荡晶体(120)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于测量已蒸发材料的沉积率的测量组件(100)，包括：第一振荡晶体(110)，用于测量所述沉积率；第二振荡晶体(120)，用于测量所述沉积率；和可移动遮板(140)，其中所述可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第一测量出口(151)提供的所述已蒸发材料，所述第一测量出口(151)被引导以用于将已蒸发材料提供至所述第一振荡晶体(110)；并且其中所述可移动遮板(140)经构造以用于阻挡从第二测量出口(152)提供的所述已蒸发材料，所述第二测量出口(152)被引导以用于将所述已蒸发材料提供至所述第二振荡晶体(120)。2.如权利要求1所述的测量组件(100)，其中所述可移动遮板为可旋转元件，具有至少一个孔(160)，所述可旋转元件特别为可旋转盘，其中所述至少一个孔(160)经构造以用于在所述可旋转元件为第一状态中时，提供所述已蒸发材料从所述第一测量出口(151)至所述第一振荡晶体(110)的通路。3.如权利要求2所述的测量组件(100)，其中所述至少一个孔(160)经构造以用于在所述可旋转元件为第二状态中时，提供所述已蒸发材料从所述第二测量出口(152)至所述第二振荡晶体(120)的通路。4.如权利要求2或3所述的测量组件(100)，其中所述至少一个孔(160)包括第一孔(161)和第二孔(162)，所述第一孔(161)和所述第二孔(162)完全地相对于彼此布置。5.如权利要求4所述的测量组件(100)，其中所述至少一个孔(160)包括第三孔(163)和第四孔(164)，所述第三孔(163)和所述第四孔(164)布置在所述第一孔(161)和/或所述第二孔(162)的相反侧上，其中所述第三孔(163)和所述第四孔(164)布置在径向位置，所述径向位置实质上对应于所述第一孔(161)的径向位置和/或所述第二孔(162)的径向位置。6.如权利要求1至5的任一项所述的测量组件(100)，进一步包括加热器(114)，经构造以用于将热提供至所述第一振荡晶体(110)和/或所述第二振荡晶体(120)，使得沉积于所述第一振荡晶体(110)和/或所述第二振荡晶体(120)上的材料可蒸发。7.如权利要求1至6的任一项所述的测量组件(100)，进一步包括另一加热器(115)，所述另一加热器提供在所述可移动遮板(140)中，所述其他加热器经构造以...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔斯·曼纽尔·迭格斯坎波，斯蒂芬·班格特，尤韦·斯库尤勒，海克·兰格拉夫，安德烈亚斯·洛普，汉斯·斯塔夫，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国,US