A crosslinking composition containing a fluoropolymer containing a fluoro - copolymer is provided with excellent crosslinking properties, which can be inhibited by the particles produced by the plasma irradiation, and the crosslinking of the composition is crosslinked, and a seal material is used for the semiconductor manufacturing device containing the crosslink. A crosslinking composition characterized by at least one of the groups comprising the following copolymers (X), organic peroxides, crosslinking auxiliaries, and the selection of free quaternary ammonium salts and quaternary ammonium salts and organic amines. The copolymer (X) is an iodine atom with a structural unit based on tetrafluoroethylene and a structural unit based on propylene. The content of the structural unit based on vinylidene fluoride is less than 0.1 mole% of the total structural unit, and the content of the metal element is less than 1 parts compared to the previous copolymer (X) 100.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】含有含氟共聚物的交联性组合物、交联物及半导体制造装置用密封材料
本专利技术涉及交联反应性优异的含有含氟共聚物的交联性组合物、将该交联性组合物交联而成的交联物及半导体制造装置用密封材料。
技术介绍
将交联性的含氟共聚物交联而得到的交联物(弹性体)由于耐热性、耐化学药品性、耐油性、耐候性等优异,因此适于在烃系聚合物不能耐受的那样严酷的环境下的使用。含氟共聚物通常缺乏交联反应性,因此要求提高交联物的生产率。因此,对制备在含氟共聚物中配混作为交联剂的过氧化物、有机鎓化合物而成的交联性组合物、并促进交联反应的情况进行了研究。例如,专利文献1中提出了将在包含偏氟乙烯、四氟乙烯及丙烯的三元系共聚物中配混有机鎓化合物而成的组合物交联而得到的交联物。作为将交联性的含氟共聚物交联而得到的交联物(弹性体)在严酷的环境下使用的用途的一例,有半导体制造装置中的照射等离子体的腔室的密封材料。该密封材料存在从受到等离子体照射的部位产生所谓微粒(微细的粉尘)、损害腔室内的洁净性的问题。为了解决该问题,提出了在含氟共聚物中配混异吲哚啉酮系颜料、喹吖啶酮系颜料、二酮吡咯并吡咯系颜料、蒽醌系颜料等芳香族化合物而成的组合物(专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平5-155943号公报专利文献2:日本特许第4720501号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是,对于专利文献2中提出的组合物,有时含氟共聚物的交联反应性的控制、上述芳香族化合物的制备是困难的。因此,要求更简便、交联反应性优异、所得交联物受到等离子体照射时产生的微粒少的交联性组合物。本专利技术的目的在于,提供交联反应 ...
【技术保护点】
1.一种交联性组合物,其特征在于,包含下述共聚物(X)、有机过氧化物、交联助剂、及选自由季铵盐、季鏻盐及有机胺组成的组中的至少一种,相对于所述共聚物(X)100质量份,金属元素的含量不足1质量份,共聚物(X):具有碘原子并且具有基于四氟乙烯的结构单元及基于丙烯的结构单元、且基于偏氟乙烯的结构单元的含量相对于全部结构单元不足0.1摩尔%的共聚物。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.11.19 JP 2015-2267371.一种交联性组合物,其特征在于,包含下述共聚物(X)、有机过氧化物、交联助剂、及选自由季铵盐、季鏻盐及有机胺组成的组中的至少一种,相对于所述共聚物(X)100质量份,金属元素的含量不足1质量份,共聚物(X):具有碘原子并且具有基于四氟乙烯的结构单元及基于丙烯的结构单元、且基于偏氟乙烯的结构单元的含量相对于全部结构单元不足0.1摩尔%的共聚物。2.根据权利要求1所述的交联性组合物,其中,基于丙烯的结构单元和基于四氟乙烯的结构单元的合计含量相对于所述共聚物(X)的全部结构单元为90~100摩尔%。3.根据权利要求1或2所述的交联性组合物,其中,基于四氟乙烯的结构单元相对于所述基于丙烯的结构单元的摩尔比为30/70~99/1。4.根据权利要求1~3中任一项所述的交联性组合物,其中,所述共聚物(X)具有基于下述式(I)所示的单体的结构单元,CR1R2=CR3-R4-CR5=CR6R7···(I)式中,R1、R2、R3、R5、R6、及R7各自独立地表示氢原子、氟原子或甲基,R4表示碳原子数...
【专利技术属性】
技术研发人员:安田智子,长井宏树,八木启介,巨势丈裕,山田武志,
申请(专利权)人:旭硝子株式会社,
类型:发明
国别省市:日本,JP
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