板状玻璃及其制造方法技术

在制造在周缘部(Ga)具有缺口部(Gb)的圆盘状的板状玻璃(G)的方法中，对缺口部(Gb)实施蚀刻处理。

Plate glass and its manufacturing method

Etching is performed on the notched part (Gb) in the manufacturing method of the disc like glass (G) with a notched part (Gb) in the peripheral part (Ga).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】板状玻璃及其制造方法
本专利技术涉及在周缘部具有缺口部的板状玻璃及其制造方法。
技术介绍
例如在半导体晶圆的制造工艺中，支承半导体晶圆的构件有时使用板状玻璃。此时，为了使半导体晶圆的结晶方位与规定的朝向吻合，通常在半导体晶圆设有被称作凹口的缺口部，并对该缺口部实施研磨加工。例如专利文献1公开有用于对半导体晶圆的缺口部实施研磨加工的方法。该研磨方法中，一边使由无纺布等形成的圆板状的研磨工具旋转一边将该研磨工具抵靠于成为研磨对象的半导体晶圆的缺口部，由此将该缺口部研磨成与研磨工具的凸状外周部对应的形状(参照段落0027、图2～图4)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2005-118903号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题然而，在半导体晶圆的支承用具使用板状玻璃的情况下，板状玻璃也需要设置对位用的缺口部。玻璃通常为脆性，因此在半导体制造工序中使用支承用板状玻璃时，该板状玻璃可能从缺口部破损。因此，为了提高该板状玻璃的强度，考虑也对板状玻璃的缺口部实施研磨加工。然而，在使用了研磨工具的研磨加工中，无法使缺口部的表面成为足够平滑的状态，作为支承用板状玻璃而有时无法获得足够的强度。即，当在现有的半导体制造工序中使用支承用板状玻璃时，该板状玻璃可能发生破损。另外，当板状玻璃的缺口部具有角部时，无论怎样都容易产生破裂，因此还考虑例如使角部成为圆角面等平滑的曲面形状。然而，在该情况下，由于缺口部的三维形状更为复杂化，因此凭借专利文献1所记载的如上方式的研磨工具则难以无遗漏地对缺口部的表面进行研磨。本专利技术是鉴于以上的情况而完成的，其要解决的技术课题为，通过无遗漏地对设于板状玻璃的缺口部实施稳定的加工，来使板状玻璃的强度提高。解决方案本专利技术用于解决上述的课题，在制造在周缘部具有缺口部的圆盘状的板状玻璃的方法中，其特征在于，对所述缺口部实施蚀刻处理。如此，通过对缺口部实施蚀刻处理，能够无遗漏地使缺口部的表面整体平滑化。因此，能够提高板状玻璃的强度。另外，能够无遗漏地对缺口部实施稳定的加工。在本专利技术所涉及的板状玻璃的制造方法中，优选地，将所述缺口部的位置对齐地层叠多个所述板状玻璃，并对所述缺口部实施蚀刻处理。如此，通过在将缺口部的位置对齐的状态下层叠多个板状玻璃，能够连续地或者同时地进行各缺口部的蚀刻处理，从而能够高效地制造板状玻璃。在本专利技术所涉及的板状玻璃的制造方法中，优选地，利用定位构件将多个所述板状玻璃中的所述缺口部的位置对齐。由此，通过使定位构件与多个缺口部接触，能够将多个板状玻璃的缺口部的位置高精度地对齐。在本专利技术所涉及的板状玻璃的制造方法中，优选地，将所述定位构件以装卸自如或者能够移动的方式安装于载置多个所述板状玻璃的载置台。如此，定位构件通过安装于载置台而能够在固定位置高效地进行缺口部的定位。当该定位结束时，定位构件被从载置台取下或者变更其位置，由此与缺口部分离。因此，定位构件不会成为障碍而能够对缺口部实施良好的蚀刻处理。在本专利技术所涉及的板状玻璃的制造方法中，优选地，所述载置台具有载置所述板状玻璃的支承面，所述支承面相对于水平方向呈倾斜状地配置。如此，通过将载置台的支承面呈倾斜状地配置，能够将板状玻璃容易地载置于该支承面，高效地进行板状玻璃相对于支承面的层叠作业。在本专利技术所涉及的板状玻璃的制造方法中，优选地，在多个所述板状玻璃之间形成保护层。如此，通过在板状玻璃之间形成保护层，能够防止板状玻璃的表面被蚀刻液侵蚀。另外，优选地，所述保护层由液体构成。若由液体构成保护层，则能够迅速地形成保护层，并且在蚀刻处理结束时，能够容易地剥离所层叠的板状玻璃。在本专利技术所涉及的板状玻璃的制造方法中，优选地，对所述板状玻璃的所述缺口部和所述板状玻璃的除所述缺口部以外的所述周缘部实施蚀刻处理。如此，不仅对板状玻璃的缺口部实施蚀刻处理，对其周缘部也实施蚀刻处理，由此能够提高板状玻璃的整体强度。本专利技术的板状玻璃是在周缘部具有缺口部的圆盘状的板状玻璃，其特征在于，主表面由非蚀刻面构成，缺口部由蚀刻面构成。根据上述那样的结构，例如，在将该板状玻璃用作半导体支承用途的情况下，能够抑制半导体制造工序中的破损。专利技术效果根据本专利技术，能够无遗漏地对设于板状玻璃的缺口部实施稳定的加工，由此能够提高板状玻璃的强度。附图说明图1是在板状玻璃的制造方法中使用的保持件的分解侧视图。图2是示出保持件的第一构件的俯视图。图3是示出保持件的第二构件的俯视图。图4是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图5是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图6是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图7A是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图7B是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图7C是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图8是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图9是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图10是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图11是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图12是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。图13是示出板状玻璃的制造方法所涉及的一工序的侧视图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的具体实施方式进行说明。图1至图13示出本专利技术所涉及的板状玻璃的制造方法的一实施方式。图1示出为了实施本方法而使用的板状玻璃的保持件。保持件1具备载置多个板状玻璃G的第一构件2和重叠于载置多个板状玻璃G的第一构件2的第二构件3。需要说明的是，如图2所示，板状玻璃G构成为圆盘状，并且在其周缘部Ga的一部分形成有被称作凹口的缺口部Gb。如图1以及图2所示，第一构件2具备载置板状玻璃G的主体部4、相对于载置于主体部4的板状玻璃G进行定位的定位部5、以及用于将第一构件2与第二构件3连结的连结部6。主体部4由长方形的板构件构成。主体部4具有供板状玻璃G装载的支承面7。支承面7以使板状玻璃G层叠为两列并支承板状玻璃G的方式构成为长方形。另外，支承面7具有将定位部5支承为装卸自如的多个(在本例中为三个)孔部8。定位部5包括在主体部4的支承面7上安装为装卸自如的多个定位销5a～5c。在本实施方式中，将三根定位销5a～5c设为一组，在支承面7上配置有合计两组定位销5a～5c。一组定位销5a～5c包括进行板状玻璃G的缺口部Gb的定位的第一定位销5a、以及进行板状玻璃G的周缘部Ga的定位的第二定位销5b及第三定位销5c。如图1所示，各定位销5a～5c的一端部插入支承面7的孔部8而成为竖立状态。如图1所示，连结部6具有从主体部4的支承面7突出的多个棒状构件6a。该棒状构件6a由螺纹构件构成，且在其全长具有外螺纹部。另外，连结部6具有嵌合于该棒状构件6a的外螺纹部的螺母6b。如图2所示，构成连结部6的多个棒状构件6a以包围载置于主体部4的支承面7的板状玻璃G的方式配置为环状。具体地说，连结部6与层叠为两列的板状玻璃G对应地呈环状配置于主体部4的支承面7的两个部位。由棒状构件6a构成的环的直径(与棒状构件6a内切的圆的直径)被设定为大于板状玻璃G的直径。由此，当在第一构件2装载有板状玻璃G时，各棒状构件6a位于与板状玻璃G的周缘部Ga分离的位置，在进行后述的蚀刻处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种板状玻璃的制造方法，其是制造在周缘部具有缺口部的圆盘状的板状玻璃的方法，其特征在于，对所述缺口部实施蚀刻处理。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.03.02 JP 2016-0401011.一种板状玻璃的制造方法，其是制造在周缘部具有缺口部的圆盘状的板状玻璃的方法，其特征在于，对所述缺口部实施蚀刻处理。2.根据权利要求1所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，将所述缺口部的位置对齐地层叠多个所述板状玻璃，并对所述缺口部实施蚀刻处理。3.根据权利要求2所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，利用定位构件将多个所述板状玻璃中的所述缺口部的位置对齐。4.根据权利要求3所述的板状玻璃的制造方法，其特征在于，将所述定位构件以装卸自如的方式或者以能够移动的方式安装于载置多个所述板状玻璃的...

【专利技术属性】
技术研发人员：片山裕贵，
申请(专利权)人：日本电气硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP