继电器制造技术

本申请提供一种继电器，包括基底、设置于基底表面的静触点、致动结构、支撑体、第二导电层。致动结构与基底间隔设置。致动结构包括支撑板、设置于支撑板并与静触点至少部分层叠的动触点、与支撑板连接的两个支撑臂、以及设置于支撑臂的第一导电层，两个支撑臂间隔设置。支撑体固定设置于基底表面，两个支撑臂远离支撑板的一端通过支撑体支撑，从而使得致动结构与基底间隔设置。第二导电层设置于基底靠近致动结构的表面，并与支撑板至少部分层叠。

Relay

The application provides a relay, including a base, a static contact, a actuating structure, a supporting body and a second conductive layer arranged on the surface of the substrate. The setting of the actuating structure and the base interval. The actuating structure includes a supporting plate, a movable contact set at the support plate, at least partially laminated with the static contact, two supporting arms connected to the support plate, the first conductive layer set at the support arm, and the two support arm spaced intervals. The supporting body is fixed on the surface of the base, and one end of the two supporting arms far away from the supporting plate is supported by the supporting body, so that the actuating structure and the base are spaced apart. The second conductive layer is arranged on the surface of the substrate close to the actuating structure and is laminated at least partially with the supporting plate.

【技术实现步骤摘要】
继电器
本申请涉及半导体器件领域，特别是涉及一种继电器。
技术介绍
微机电系统(MicroelectromechanicalSystems,MEMS)技术的发展促进了传统机电系统的微型化与集成化。继电器作为一种具有电路控制功能的电气元件，在工业生产、航空航天、日常生活与国防军事等领域有着广泛的应用。而随着现代电气系统对电子器件小型化、集成化要求的提高，继电器的微型化是其发展的主要趋势之一。按照驱动方式的不同，MEMS继电器可以分为：静电型、电磁型、电热型、压电型等。不同驱动方式有着其各自的特点。但是传统的继电器不能保证驱动力大的同时使用较低的驱动电压及能耗。
技术实现思路
基于此，有必要针对传统的继电器驱动电压大的问题，提供一种继电器。一种继电器，包括：基底；静触点，设置于所述基底的表面；致动结构，与所述基底间隔设置，所述致动结构包括支撑板、与所述支撑板连接的两个支撑臂、以及设置于所述支撑臂的第一导电层，所述两个支撑臂间隔设置；动触点，设置于所述支撑板，所述动触点与所述静触点至少部分层叠；支撑体，固定设置于所述基底表面，所述两个支撑臂远离所述支撑板的一端通过所述支撑体支撑，从而使得所述致动结构与所述基底间隔设置；第二导电层，设置于所述基底靠近所述致动结构的表面，并与所述支撑板至少部分层叠。在其中一个实施例中，所述支撑板与所述第二导电层完全层叠。在其中一个实施例中，所述静触点凸出于所述基底表面，所述动触点设置于所述支撑板靠近基底的表面，并靠近所述支撑板远离所述两个支撑臂的端部。在其中一个实施例中，所述静触点的数量为两个且间隔相邻设置，当所述致动结构弯曲靠近所述基底时，所述动触点与所述两个静触点接触。在其中一个实施例中，所述静触点设置于所述基底远离所述支撑体的一端。在其中一个实施例中，所述第一导电层设置于所述支撑臂远离所述基底的表面，且所述第一导电层的热膨胀系数大于所述支撑臂的热膨胀系数。在其中一个实施例中，所述支撑体为两个且间隔设置，并分别与所述两个支撑臂的一端固定连接。在其中一个实施例中，每个所述支撑体包括：第一支撑部，与一个所述支撑臂固定连接；第二支撑部，夹设于所述基底和所述第一支撑部之间，并与所述基底和所述第一支撑部固定连接。在其中一个实施例中，所述继电器还包括接电部，所述接电部设置于所述基底表面并与所述第一支撑部接触。在其中一个实施例中，所述继电器还包括绝缘层，设置于所述动触点与所述支撑板之间。本申请提供的所述继电器，包括基底、静触点、致动结构、支撑板、两个支撑臂、第一导电层、动触点、支撑体和第二导电层。使用致动结构通过电热驱动下弯，再利用所述支撑板和所述第二导电层之间的静电力驱动致动结构和基底进一步接近。从而使位于支撑板的动触点和位于第二导电层的静触点接触并保持接触，达到通电的目的。本申请中将支撑板和和第二导电层分别作为静电驱动的正负极板，有利于降低驱动电压。两种驱动方式的混合驱动方式降低了驱动电压，减小了能耗。附图说明图1为本申请一实施例提供的继电器的结构示意图；图2为本申请一实施例提供的继电器的致动结构靠近基底的表面的俯视示意图；图3为本申请一实施例提供的继电器的制备方法中第一阶段的制备流程示意图；图4为本申请一实施例提供的继电器的制备方法中第二阶段的制备流程示意图；图5为本申请一实施例提供的继电器的制备方法中第三阶段的制备流程示意图。标号说明：10继电器100基底110接电部120静触点200致动结构201硅片210支撑板212动触点220支撑臂230第一导电层300支撑体310第一支撑部320第二支撑部400第二导电层500绝缘层具体实施方式为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施的限制。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参见图1，本申请实施例提供一种继电器10，其包括基底100、静触点120、致动结构200、支撑板210、动触点212、两个支撑臂220、第一导电层230、支撑体300和第二导电层400。所述致动结构200与所述基底100间隔设置。所述静触点120设置于所述基底100表面。所述致动结构200包括所述支撑板210、所述动触点212、所述两个支撑臂220、以及所述第一导电层230。所述两个支撑臂220间隔设置。所述动触点212设置于所述支撑板210并与所述静触点120至少部分层叠。所述两个支撑臂220与所述支撑板210连接。所述支撑体300固定设置于所述基底100表面。所述两个支撑臂220远离所述支撑板210的一端通过所述支撑体300支撑，从而使得所述致动结构200与所述基底100间隔设置。所述第一导电层230设置于所述两个支撑臂220。所述第二导电层400设置于所述基底100靠近所述致动结构200的表面，并与所述支撑板210至少部分层叠。所述基底100的材料不限，可以采用绝缘材料也可以采用导电材料，只要能够保持形状即可。当所述基底100为绝缘材料时，所述第二导电层400与所述基底100之间可以设置一层绝缘层500。在一个实施例，所述基底100的材料为玻璃。所述致动结构200在电热驱动下可以弯曲，从而靠近所述基底100。所述致动结构200可以为导电材料，比如硅基材料或者半导体材料。在一个实施例中，所述致动结构200可以为单晶硅。在一个实施例中，所述致动结构200可以为一体结构也可以分体设置。所述两个支撑臂220间隔设置。所述两个支撑臂220可以平行设置，也可以不平行设置。在一个实施例中，所述两个支撑臂220与所述支撑板210形成一个U形。在一个实施例中，所述支撑体300与所述致动结构200可以一体成型设置成一个整体结构。所述支撑体300可以给所述致动结构200提供支撑，从而使得所述致动结构200与所述基底100间隔设置。在一个实施例中，所述致动结构200与所述基底100平行。所述第一导电层230可以为长条形，并覆盖所述支撑臂220。在一个实施例中，所述第一导电层230的形状为“门”形，所述支撑臂220的形状与所述第一导电层230相同。在一个实施例中，所述两个支撑臂220为两个长条，所述第一导电层230覆盖所述两个支撑臂220形成第一导电条和第二导电条，并在所述两个支撑臂220与所述支撑板210连接的端部设置有第三导电条，所述第三导电条用于连接所述第一导电条和所述第二导电条。在一个实施例中，所述两个支撑臂220在与所述支撑板210连接的端部设置有连接条，用于连接所述两个支撑臂220。所述支撑板210连接于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种继电器，其特征在于，包括：基底(100)；静触点(120)，设置于所述基底(100)的表面；致动结构(200)，与所述基底(100)间隔设置，所述致动结构(200)包括支撑板(210)、与所述支撑板(210)连接的两个支撑臂(220)、以及设置于所述支撑臂(220)的第一导电层(230)，所述两个支撑臂(220)间隔设置；动触点(212)，设置于所述支撑板(210)，所述动触点(212)与所述静触点(120)至少部分层叠；支撑体(300)，固定设置于所述基底(100)表面，所述两个支撑臂(220)远离所述支撑板(210)的一端通过所述支撑体(300)支撑，从而使得所述致动结构(200)与所述基底(100)间隔设置；第二导电层(400)，设置于所述基底(100)靠近所述致动结构(200)的表面，并与所述支撑板(210)至少部分层叠。

【技术特征摘要】
1.一种继电器，其特征在于，包括：基底(100)；静触点(120)，设置于所述基底(100)的表面；致动结构(200)，与所述基底(100)间隔设置，所述致动结构(200)包括支撑板(210)、与所述支撑板(210)连接的两个支撑臂(220)、以及设置于所述支撑臂(220)的第一导电层(230)，所述两个支撑臂(220)间隔设置；动触点(212)，设置于所述支撑板(210)，所述动触点(212)与所述静触点(120)至少部分层叠；支撑体(300)，固定设置于所述基底(100)表面，所述两个支撑臂(220)远离所述支撑板(210)的一端通过所述支撑体(300)支撑，从而使得所述致动结构(200)与所述基底(100)间隔设置；第二导电层(400)，设置于所述基底(100)靠近所述致动结构(200)的表面，并与所述支撑板(210)至少部分层叠。2.根据权利要求1所述的继电器，其特征在于，所述支撑板(210)与所述第二导电层(400)完全层叠。3.根据权利要求1所述的继电器，其特征在于，所述静触点(120)凸出于所述基底(100)表面，所述动触点(212)设置于所述支撑板(210)靠近基底(100)的表面，并靠近所述支撑板(210)远离所述两个支撑臂(220)的端部。4.根据权利要求3所述的继电器，其特征在于，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：阮勇，戚南剑，尤政，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京,11