掩膜板装载系统技术方案

本发明专利技术涉及一种掩膜板装载系统，该方法包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。扫描模块透过存放盒的识别窗口，对掩膜板上识别部进行扫描，获得掩膜板上的识别码，进而反馈至控制模块，使得曝光机能够准确获取对应型号的掩膜板，使得曝光显影效率更高，且能够有效避免曝光错误，提高产品良率。

Masking board loading system

The invention relates to a mask board loading system, which comprises a storage frame, a plurality of storage boxes, a scanning module and a control module; each of the storage boxes is arranged on the storage rack respectively, each of the scanning modules is respectively set on the storage rack, and each of the scanning modules is corresponding to the storage box; Each of the storage boxes is used to accommodate a mask. Each of the storage boxes is provided with an identification window, and each of the identification windows is used to align with the identification section of the mask, each of the scanning modules is aligned with the identification window; each of the scanning modules is electrically connected with the control module. The scanning module can scan the recognition section on the mask through the identification window of the storage box, obtain the recognition code on the mask board, and then feed back to the control module, so that the exposure machine can accurately obtain the corresponding mask plate, which makes the exposure developing efficiency higher, and can effectively avoid exposure errors and improve the product yield.

【技术实现步骤摘要】
掩膜板装载系统
本专利技术涉及有机发光显示制造
，特别是涉及掩膜板装载系统。
技术介绍
集成电路自诞生以来，就以十分突飞猛进的速度在蓬勃的发展。现在，人们的工作和生活与集成电路器件密切相关，作为集成电路器件的半导体制作工艺是十分关键和重要的，其中微光刻技术又是精密半导体工艺的核心工序，其经过几十年的发展和创新，使得半导体工艺线宽越来越精细，远远超出人们的预期。在精密微光刻加工技术下，大尺寸、细线宽、高精度、高效率以及低成本的集成电路器件才得以实现。微光刻技术就是把掩膜板上的图形转移到需要加工的基板上，一般需要先在基板上涂覆光刻胶，然后曝光和显影，必要时还需要刻蚀，最后固化干燥，从而完成一道微光刻技术工序，也即是黄光制程。这里曝光是决定性的工序，它是半导体工艺精细线宽制作的关键。曝光工序需要更换掩膜板，尤其是不同的产品型号的图形结构不同，就要求对应的掩膜板不同，这样在曝光机台附近会存放许多不同型号的掩膜板，不同型号的掩膜板存放在不相同的存放盒子里，在产品更换型号时需要人工确认所需型号的掩膜板所在的盒子，随后控制曝光机对掩膜板进行更换。在掩膜板的型号切换较为频繁的时候，人工确认掩膜板的位置并进行操作的方式较为耗时，且消耗较多的劳动力，严重影响生产的效率；并且可能存在掩膜板存放的盒子错误，导致曝光时采用了错误型号的掩膜板，使得产品曝光错误，进而影响了产品良率。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种掩膜板装载系统。一种掩膜板装载系统，包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。在其中一个实施例中，所述扫描模块包括扫描仪。在其中一个实施例中，每一所述存放盒上设置有一鉴别部。在其中一个实施例中，还包括多个读取模块，每一所述读取模块与一所述存放盒的所述鉴别部对齐。在其中一个实施例中，所述识别窗口具有矩形截面。在其中一个实施例中，所述识别窗口设置有玻璃层。在其中一个实施例中，所述存放盒具有矩形截面。在其中一个实施例中，所述存放架上设置有多个支撑导轨，每一所述存放盒设置于至少两个支撑导轨上。在其中一个实施例中，还包括多个掩膜板，每一所述掩膜板设置于一所述存放盒内，每一所述掩膜板上设置有识别部，每一所述识别窗口与一所述识别部对齐。在其中一个实施例中，所述识别窗口的宽度大于所述识别部的宽度。上述掩膜板装载系统，扫描模块透过存放盒的识别窗口，对掩膜板上识别部进行扫描，获得掩膜板上的识别码，进而反馈至控制模块，使得曝光机能够准确获取对应型号的掩膜板，使得曝光显影效率更高，且能够有效避免曝光错误，提高产品良率。附图说明图1为一个实施例的掩膜板装载系统的结构示意图；图2为一个实施例的存放盒的透视结构示意图；图3为一个实施例的掩膜板的一方向结构示意图；图4为一个实施例的掩膜框架的局部剖面结构示意图；图5为另一个实施例的掩膜框架的局部剖面结构示意图；图6为又一个实施例的掩膜框架的局部剖面结构示意图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施方式。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本专利技术的公开内容理解的更加透彻全面。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。例如，一种掩膜板装载系统，包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。本实施例中，扫描模块透过存放盒的识别窗口，对掩膜板上识别部进行扫描，获得掩膜板上的识别码，进而反馈至控制模块，使得曝光机能够准确获取对应型号的掩膜板，使得曝光显影效率更高，且能够有效避免曝光错误，提高产品良率。在一个实施例中，如图1和图2所示，提供一种掩膜板装载系统10，包括：存放架300、多个存放盒400、扫描模块500和控制模块600；各所述存放盒400分别活动设置于所述存放架300上，各所述扫描模块500分别设置于所述存放架300上，且每一所述扫描模块500与一所述存放盒400对应；每一所述存放盒400用于容置一掩膜板20，每一所述存放盒400分别开设有一识别窗口410，每一所述识别窗口410用于与一所述掩膜板20的识别部110对齐，每一所述扫描模块500与一所述识别窗口410对齐；各所述扫描模块500与所述控制模块600电连接。例如，该存放架300用于放置存放盒400，例如，该存放架300上设置有多个存放位310，每一所述存放位310活动设置一存放盒400。本实施例中，存放盒400可以放置在存放架300上，也可以从存放架300上取出，当需要曝光时，曝光机通过输送装置在存放架300上取出对应的存放盒400，使得存放盒400内的掩膜板20能够被取出进行曝光显影，当完成曝光显影后，将装载有掩膜板20的存放盒400放置在存放架300上进行存放。具体地，每一掩膜板20上分别设置有一识别部110，识别部110上设置有识别码，该识别码记录了掩膜板20的型号信息，例如，该识别码记录了掩膜板20的ID(identification)信息。例如，该识别码记录了掩膜板20的识别信息，各所述识别码记录的识别信息相异设置，该识别信息为该识别码的唯一识别信息，用于区分不同型号的掩膜板20。例如，该识别码为二维码，例如，该识别码为条码。例如，该存放盒400用于放置掩膜板20，每一存放盒400存放一掩膜板20，例如，该存放盒400的截面为矩形，例如，所述存放盒400为矩形体，例如，该识别窗口410开设于存放盒400的侧面，例如，识别窗口410开设于存放盒400的长度较长的侧面。本实施例中，每一扫描模块500设置于一存放位310上，使得每一扫描模块500与一存放盒400对应，并且对齐该存放盒400的识别窗口410。该扫描模块500用于扫描读取掩膜板20上的识别码，并将识别码发送至控制模块600。具体地，由于存放盒400上开设有识别窗口410，使得掩膜板20上的识别部110能够被扫描模块500扫描，进而使得识别部110上的识别码能够被扫描模块500扫描读取，扫描模块500读取了识别码后，将识别码反馈至控制模块600。例如，所述扫描模块500包括扫描仪，例如，所述扫描模块500为扫描仪，例如，所述扫描模块500为二维码扫描仪，例如，所述扫描模块500为条码扫描仪，例如，所述扫描模块500为摄像头本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板装载系统，其特征在于，包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板装载系统，其特征在于，包括：存放架、多个存放盒、扫描模块和控制模块；各所述存放盒分别活动设置于所述存放架上，各所述扫描模块分别设置于所述存放架上，且每一所述扫描模块与一所述存放盒对应；每一所述存放盒用于容置一掩膜板，每一所述存放盒分别开设有一识别窗口，每一所述识别窗口用于与一所述掩膜板的识别部对齐，每一所述扫描模块与一所述识别窗口对齐；各所述扫描模块与所述控制模块电连接。2.根据权利要求1所述的掩膜板装载系统，其特征在于，所述扫描模块包括扫描仪。3.根据权利要求1所述的掩膜板装载系统，其特征在于，每一所述存放盒上设置有一鉴别部。4.根据权利要求3所述的掩膜板装载系统，其特征在于，还包括多个读取模块，每一所述读取模块与一所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈世喜，王学雷，欧阳昊，仝建军，李伟界，黄伟东，李建华，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44