一种用于瞬态热阻测试的夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，一种用于瞬态热阻测试的夹持装置,竖直连接杆底端固定设置在底座上，竖直连接杆顶端通过第一旋转轴与竖直支撑杆底端转动连接，竖直支撑杆顶端与水平支撑杆一端通过第二旋转轴转动连接，水平支撑杆另一端通过第三旋转轴与水平连接杆一端转动连接，下夹持板与水平连接杆另一端焊接固定，下夹持板与上夹持板上均设有螺纹穿孔，带帽螺栓穿过螺纹穿孔后与螺母旋紧，缓冲弹簧竖直设置在上夹持板的下表面与下夹持板的上表面，绝缘片设置在缓冲弹簧的端部。本实用新型专利技术所述的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，可以避免夹持力过大或者过小对待测元件造成损坏，结构简单，拆卸方便，稳定可靠。

A clamping device for transient thermal resistance test

The utility model provides a clamping device for transient thermal resistance test, a clamping device for transient thermal resistance test. The bottom end of the vertical connecting rod is fixed on the base, the top of the vertical connecting rod is connected to the bottom of the vertical support rod through the first rotating shaft, and the top of the vertical support rod is passed through one end of the horizontal support bar. Second rotating shaft is connected, the other end of the horizontal support rod is connected to one end of the horizontal connecting rod by the third rotating shaft. The lower clamping plate and the other end of the horizontal connecting rod are welded and fixed. The lower clamping plate and the upper clamp board are perforated with thread, and the cap bolt is tightened with the nut after the thread perforation, and the buffer spring is vertically set. On the upper surface of the upper clamping plate and the upper surface of the lower clamping plate, the insulating piece is arranged at the end part of the buffer spring. The clamping device used in the transient thermal resistance test described by the utility model can avoid excessive clamping force or too small to cause damage to measuring components, simple structure, convenient dismantling and reliable stability.

【技术实现步骤摘要】
一种用于瞬态热阻测试的夹持装置
本技术属于试验测试设备领域，尤其是涉及一种用于瞬态热阻测试的夹持装置。
技术介绍
在半导体器件工艺生产过程中，为快速、有效地检验器件芯片和外壳之间的烧结质量(热阻)，一般采用瞬态热阻测试的筛选方法。该方法是向待测半导体器件施加单一功率脉冲，并在脉冲结束后测量热敏参数，推断器件芯片的温升，进而推断器件烧结质量(烧结热阻)的好坏。瞬态热阻的测试能够满足半导体器件工艺生产中的100％筛选，主要剔除那些因芯片烧结质量不合格而导致热阻偏大的器件。在对半导体器件进行瞬态热阻测试时需要对其进行夹持固定，为了保证该半导体器件能够正常工作，需要严格控制夹持装置对半导体器件的夹持力，现有夹持装置往往夹持力过大，压碎芯片，或者夹持力过小，增加接触热阻和电阻，影响测试结果。
技术实现思路
有鉴于此，本技术旨在提出一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，以解决现有用于瞬态热阻测试的装置夹持力过大或者过小的问题。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的：一种用于瞬态热阻测试的夹持装置,包括底座、支撑部和夹持部，支撑部与底座固定连接，支撑部与夹持部转动连接；支撑部包括竖直连接杆、第一旋转轴、竖直支撑杆、与第一旋转轴结构相同的第二旋转轴、水平支撑杆、第三旋转轴以及水平连接杆，竖直连接杆底端固定设置在底座上，竖直连接杆顶端通过第一旋转轴与竖直支撑杆底端转动连接，竖直支撑杆相对于连接杆绕第一旋转轴左右转动，竖直支撑杆顶端与水平支撑杆一端通过第二旋转轴转动连接，水平支撑杆相对于竖直支撑杆绕第二旋转轴上下转动，水平支撑杆另一端通过第三旋转轴与水平连接杆一端转动连接，水平连接杆相对于水平支撑杆绕第三旋转轴上下转动；夹持部包括上夹持板、下夹持板、带帽螺栓、螺母、缓冲弹簧以及绝缘片，下夹持板与水平连接杆另一端焊接固定，下夹持板与上夹持板同侧设置有螺纹穿孔，带帽螺栓自下向上依次穿过下夹持板的螺纹穿孔与上夹持板的螺纹穿孔后与螺母旋紧，缓冲弹簧对称竖直设置在上夹持板的下表面与下夹持板的上表面，绝缘片固定设置在缓冲弹簧的端部。进一步的，所述竖直连接杆、竖直支撑杆的底端以及第一旋转轴上均设置有第一穿孔，第一调节螺栓依次穿过第一穿孔将连接杆、竖直支撑杆的底端与第一旋转轴上的第二穿孔后由第一调节螺母旋紧连接。进一步的，所述水平支撑杆的一端、第二旋转轴以及水平连接杆上均设置有第三穿孔，第三调节螺栓穿过第三穿孔后由第三调节螺母将水平支撑杆的一端、第三旋转轴以及水平连接杆旋紧连接。进一步的，所述下夹持板与上夹持板均为绝缘材质。进一步的，所述绝缘片的表面设置有绝缘突起。进一步的，所述绝缘突起为半球状突起。相对于现有技术，本技术所述的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置具有以下优势：本技术所述的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置,第一旋转轴、第二旋转轴以及第三旋转轴的设置方便在对待测半导体元件进行瞬态测试时调整角度，缓冲弹簧可以避免夹持力过大或者过小对待测元件造成损坏，保证测试结果的准确性，本装置结构简单，拆卸方便，稳定可靠。附图说明构成本技术的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：图1为本技术实施例所述的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置示意图。附图标记说明：1-上夹持板；2-绝缘片；3-缓冲弹簧；4-螺母；5-带帽螺栓；6-下夹持板；7-水平连接杆；8-第三旋转轴；9-水平支撑杆；10-第二旋转轴；11-竖直支撑杆；12-第一旋转轴；13-竖直连接杆；14-底座。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本技术旨在提出一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，以解决现有用于瞬态热阻测试的装置夹持力过大或者过小的问题。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。一种用于瞬态热阻测试的夹持装置,包括底座14、支撑部和夹持部，支撑部与底座14固定连接，支撑部与夹持部转动连接，支撑部包括竖直连接杆13、第一旋转轴12、竖直支撑杆11、第二旋转轴10、水平支撑杆9、第三旋转轴8以及水平连接杆7，竖直连接杆13底端固定设置在底座14上，竖直连接杆13、竖直支撑杆11的底端以及第一旋转轴12上均设置有第一穿孔，第一调节螺栓穿过第一穿孔由第一调节螺母将连接杆、竖直支撑杆11的底端与第一旋转轴12旋紧连接，竖直支撑杆11相对于连接杆绕第一旋转轴12左右转动，水平支撑杆9的一端、第二旋转轴10以及水平连接杆7上均设置有第三穿孔，第三调节螺栓穿过第三穿孔后由第三调节螺母将水平支撑杆9的一端、第二旋转轴10以及水平连接杆7旋紧连接，水平支撑杆9相对于竖直支撑杆11绕第二旋转轴10上下转动，水平支撑杆9另一端通过第三旋转轴8与水平连接杆7一端转动连接，水平连接杆7相对于水平支撑杆9绕第三旋转轴8上下转动，夹持部包括上夹持板1、下夹持板6、带帽螺栓5、螺母4、缓冲弹簧3以及绝缘片2，下夹持板6与水平连接杆7另一端焊接固定，下夹持板6与上夹持板1均为绝缘材质，下夹持板6与上夹持板1同侧设置有螺纹穿孔，带帽螺栓5自下向上依次穿过下夹持板6的螺纹穿孔与上夹持板1的螺纹穿孔后与螺母4旋紧，缓冲弹簧3对称竖直设置在上夹持板1的下表面与下夹持板6的上表面，绝缘片2固定设置在缓冲弹簧3的端部，绝缘片2的表面设置有半球状绝缘突起。本技术所述的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置具有以下优势：本技术所述的一种用于瞬态热阻测试的夹持装置,第一旋转轴、第二旋转轴以及第三旋转轴的设置方便在对待测半导体元件进行瞬态测试时调整角度，缓冲弹簧可以避免夹持力过大或者过小对待测元件造成损坏，保证测试结果的准确性，本装置结构简单，拆卸方便，稳定可靠。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，其特征在于：包括底座、支撑部和夹持部，支撑部与底座固定连接，支撑部与夹持部转动连接；支撑部包括竖直连接杆、第一旋转轴、竖直支撑杆、与第一旋转轴结构相同的第二旋转轴、水平支撑杆、第三旋转轴以及水平连接杆，竖直连接杆底端固定设置在底座上，竖直连接杆顶端通过第一旋转轴与竖直支撑杆底端转动连接，竖直支撑杆相对于连接杆绕第一旋转轴左右转动，竖直支撑杆顶端与水平支撑杆一端通过第二旋转轴转动连接，水平支撑杆相对于竖直支撑杆绕第二旋转轴上下转动，水平支撑杆另一端通过第三旋转轴与水平连接杆一端转动连接，水平连接杆相对于水平支撑杆绕第三旋转轴上下转动；夹持部包括上夹持板、下夹持板、带帽螺栓、螺母、缓冲弹簧以及绝缘片，下夹持板与水平连接杆另一端焊接固定，下夹持板与上夹持板同侧设置有螺纹穿孔，带帽螺栓自下向上依次穿过下夹持板的螺纹穿孔与上夹持板的螺纹穿孔后与螺母旋紧，缓冲弹簧对称竖直设置在上夹持板的下表面与下夹持板的上表面，绝缘片固定设置在缓冲弹簧的端部。

【技术特征摘要】
1.一种用于瞬态热阻测试的夹持装置，其特征在于：包括底座、支撑部和夹持部，支撑部与底座固定连接，支撑部与夹持部转动连接；支撑部包括竖直连接杆、第一旋转轴、竖直支撑杆、与第一旋转轴结构相同的第二旋转轴、水平支撑杆、第三旋转轴以及水平连接杆，竖直连接杆底端固定设置在底座上，竖直连接杆顶端通过第一旋转轴与竖直支撑杆底端转动连接，竖直支撑杆相对于连接杆绕第一旋转轴左右转动，竖直支撑杆顶端与水平支撑杆一端通过第二旋转轴转动连接，水平支撑杆相对于竖直支撑杆绕第二旋转轴上下转动，水平支撑杆另一端通过第三旋转轴与水平连接杆一端转动连接，水平连接杆相对于水平支撑杆绕第三旋转轴上下转动；夹持部包括上夹持板、下夹持板、带帽螺栓、螺母、缓冲弹簧以及绝缘片，下夹持板与水平连接杆另一端焊接固定，下夹持板与上夹持板同侧设置有螺纹穿孔，带帽螺栓自下向上依次穿过下夹持板的螺纹穿孔与上夹持板的螺纹穿孔后与螺母旋紧，缓冲弹簧对称竖直设置在上...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯新用，马云祥，范金龙，谢磊，
申请(专利权)人：中科瑞测天津科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12