The utility model discloses a measuring microscope detection auxiliary device, which relates to the technical field of measurement microscope, and solves the problem that the sample can not be turned over when the sample is directly detected by the measurement microscope, and the measurement scope of the measuring microscope is limited. The sample fixing clamp, the two-dimensional linear moving platform, the rotating platform, the swing platform and the support frame are installed on the two-dimensional linear moving platform. The two-dimensional linear moving platform is fixed on the rotating platform. The rotation axis of the sample fixed clip and the rotation axis of the rotating platform are vertical to the translation of the two-dimensional linear moving platform. The rotary platform is installed on the swing platform, and the swing platform is fixed on the supporting frame. Through the coordination of two dimensional linear moving platform, rotating platform and swing platform, the sample space can be measured from various directions, which eliminates the limitation that the measurement microscope can only detect the inside dimension of the plane, and extends the application range.
【技术实现步骤摘要】
测量显微镜检测辅助装置
本技术涉及测量显微镜
,尤其是一种基于测量显微镜进行空间几何参数检测的辅助装置。
技术介绍
测量显微镜结合了光学显微成像与三维空间定位技术,兼备操作简单、工作稳定、测量精度高等优点,在工业生产、科学研究、计量检测等领域应用广泛。测量显微镜可对视场图像中的两点距离、线段长度、平行线距离、点线距离、角度、圆形直径、面积等平面几何参数进行测量,配备Z向自动聚焦功能后,还可实现对待测样品高度方向的尺寸进行检测。然而,通过测量显微镜对待测样品尺寸检测时,待测样品只能在垂直于物镜光轴的二维平面内平移或转动,不能翻转。这样,对于不在同一平面内的特征尺寸,如圆柱型工件沿径向分布的孔的角度关系、沿轴向分布的异面孔的距离等,应用测量显微镜就无法进行检测。
技术实现思路
本技术提供一种测量显微镜检测辅助装置,解决通过测量显微镜对直接样品检测时,无法对样品进行翻转,限制了测量显微镜检测范围的问题。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:测量显微镜检测辅助装置,包括样品固定夹、二维线性移动平台、转动平台、摆动平台和支撑架,所述样品固定夹安装于二维线性移动平台上,二维线性移动平台固定于转动平台上,样品固定夹的旋转轴、转动平台的旋转轴均垂直于二维线性移动平台的平移面;转动平台安装于摆动平台上,摆动平台可带动转动平台摆动,摆动平台固定于支撑架上。进一步的是:所述支撑架由两块平板件组成,两块平板件相互垂直,摆动平台固定安装于任意一块平板件的直角内侧。进一步的是:所述转动平台在摆动平台上的摆动方向所在平面与转动平台的旋转平面相互垂直。进一步的是:所述二维线性移动平台、转 ...
【技术保护点】
1.测量显微镜检测辅助装置,其特征在于:包括样品固定夹(1)、二维线性移动平台(2)、转动平台(3)、摆动平台(4)和支撑架(5),所述样品固定夹(1)安装于二维线性移动平台(2)上,二维线性移动平台(2)固定于转动平台(3)上,样品固定夹(1)的旋转轴、转动平台(3)的旋转轴均垂直于二维线性移动平台(2)的平移面;转动平台(3)安装于摆动平台(4)上,摆动平台(4)可带动转动平台(3)摆动,摆动平台(4)固定于支撑架(5)上。
【技术特征摘要】
1.测量显微镜检测辅助装置,其特征在于:包括样品固定夹(1)、二维线性移动平台(2)、转动平台(3)、摆动平台(4)和支撑架(5),所述样品固定夹(1)安装于二维线性移动平台(2)上,二维线性移动平台(2)固定于转动平台(3)上,样品固定夹(1)的旋转轴、转动平台(3)的旋转轴均垂直于二维线性移动平台(2)的平移面;转动平台(3)安装于摆动平台(4)上,摆动平台(4)可带动转动平台(3)摆动,摆动平台(4)固定于支撑架(5)上。2.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:王冰,胡勇,叶成钢,顾倩倩,孟婕,王琦,高党忠,
申请(专利权)人:中国工程物理研究院激光聚变研究中心,
类型:新型
国别省市:四川,51
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