灯座及卤素灯制造技术

技术编号:18445535 阅读:29 留言:0更新日期:2018-07-14 10:38
本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种灯座及卤素灯。所述灯座,包括用于容纳灯管的腔体,所述腔体的内壁形成有凹陷部,所述凹陷部与插入所述腔体的灯管之间具有一间隙,用以减少所述灯管与腔体内壁的接触面积。本实用新型专利技术减少灯管与灯座的接触面积,避免了灯管卡死于灯座中,确保晶圆的制造效率及制造质量,同时降低了晶圆的制造成本。

Lamp holder and halogen lamp

The utility model relates to the semiconductor manufacturing technology field, in particular to a lamp holder and a halogen lamp. The lamp holder comprises a cavity for holding a lamp, the inner wall of the cavity is formed with a depression, and the concave part has a gap between the lamp tube inserted into the cavity and the contact area of the lamp tube and the inner wall of the cavity is reduced. The utility model reduces the contact area between the lamp tube and the lamp holder, avoids the lamp tube card die in the lamp holder, ensures the manufacturing efficiency and the manufacturing quality of the wafer, and reduces the manufacturing cost of the wafer.

【技术实现步骤摘要】
灯座及卤素灯
本技术涉及半导体制造
,尤其涉及一种灯座及卤素灯。
技术介绍
目前,随着半导体产业的不断发展,半导体芯片的应用越来越广泛:太阳能电池芯片,将太阳光转换为电能,是当今清洁能源的热门产业方向;发光二极管(LightEmittingDiode,LED)和激光芯片,提供能耗更低、色彩更加绚烂的照明和显示技术;作为各种光电探测器,探测各种光信号,并反馈形成电流信号;更为重要的是作为通讯芯片中各种数据处理的核心,广泛应用于电脑、手机、空调、冰箱等电子产品中。目前,国内外各种高新技术取得了迅猛的发展。以太阳能电池、LED、低损耗开关、通信芯片等为代表的半导体芯片在能源和信息的获取、传输、使用过程中发挥了巨大的作用,成为解决发展问题的核心手段。但是,在半导体芯片的生成过程中,性能和良率都还有很大的提升空间,必须通过对工艺技术的改进、升级来进行优化。晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能之IC产品。在晶圆的制造过程中,需要经过多步复杂的工艺,例如要经过多次的快速升温、快速降温处理,卤素灯则是在晶圆的制造过程中经常用于热处理的装置。卤素灯包括灯座和灯管,所述灯座中形成有一中空的腔体,所述灯管插入所述腔体中,以实现对灯管的固定。但是,由于卤素灯是工作于高温环境下,灯座和/或灯管中的微小尺寸缺陷,都可能导致灯管卡死在灯座中,无法拆卸,影响卤素灯的热处理效果。当卡死的灯座中的灯管数量累积到一定程度时,就必须要停机、进行灯座更换工作。这不仅延长了晶圆的制程时间,而且还会增加额外的更换费用,导致晶圆的制造成本上升。因此,如何避免灯管卡死于灯座中,确保晶圆的制造效率及制造质量,是目前亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术提供一种灯座及卤素灯,用以解决现有技术中灯管易卡死于灯座中的问题,以确保晶圆的制造效率及制造质量,同时降低晶圆的制造成本。为了解决上述问题,本技术提供了一种灯座,包括用于容纳灯管的腔体,所述腔体的内壁形成有凹陷部,所述凹陷部与插入所述腔体的灯管之间具有一间隙,用以减少所述灯管与腔体内壁的接触面积。优选的,所述凹陷部包括多个环形凹槽,以形成环形凹槽与环形凸条交替排列的螺旋状结构;所述环形凸条用于固定所述灯管。优选的,所述环形凸条的内径与所述灯管的外径相等。优选的,所述腔体包括相对设置的第一开口和第二开口,多个所述环形凸条在所述第一开口与所述第二开口之间等间隔分布,且多个所述环形凹槽也在所述第一开口与所述第二开口之间等间隔分布。优选的,所述腔体包括相对设置的第一开口和第二开口;所述腔体的内壁还包括第一环形凸块和第二环形凸块,所述第一环形凸块、所述第二环形凸块一一对应设置于所述第一开口处、所述第二开口处,所述凹陷部位于所述第一环形凸块与所述第二环形凸块之间。优选的,所述第一环形凸块和/或所述第二环形凸块上形成有相互交替排列的环形凸条、环形凹槽。优选的,所述第一环形凸块、所述第二环形凸块的内径均与所述灯管的外径相等。优选的,所述第一环形凸块、所述第二环形凸块关于所述腔体的轴向对称设置。为了解决上述问题,本技术还提供了一种卤素灯,包括上述任一项所述的灯座。本技术提供的灯座及卤素灯,通过在灯座中用于容纳灯管的腔体内壁构建凹陷部,使得所述凹陷部与插入所述腔体的灯管之间具有一间隙,从而减少灯管与灯座的接触面积,避免了灯管卡死于灯座中,确保晶圆的制造效率及制造质量,同时降低了晶圆的制造成本。附图说明附图1是本技术第一具体实施方式的灯座的结构示意图;附图2是本技术第一具体实施方式中灯管安装于灯座中时的结构示意图;附图3是本技术第二具体实施方式的灯座的结构示意图;附图4是本技术第二具体实施方式中灯管安装在于灯座中时的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术提供的灯座及卤素灯的具体实施方式做详细说明。第一具体实施方式本具体实施方式提供了一种灯座,附图1是本技术第一具体实施方式的灯座的结构示意图,附图2是本技术第一具体实施方式中灯管安装于灯座中时的结构示意图。如图1、2所示,本具体实施方式提供的灯座11,包括用于容纳灯管21的腔体12,所述腔体12的内壁形成有凹陷部,所述凹陷部与插入所述灯座11的灯管21之间具有一间隙,用以减少所述灯管21与所述腔体12内壁的接触面积。现有技术中,灯管在插入灯座后,灯管的整个外壁与灯座腔体内壁直接接触,灯管与灯座腔体内壁的接触面积与灯管外壁的面积几乎相等,由于接触面积过大,灯管和/或灯座中的微小缺陷,都可能导致灯管卡死在灯座中,影响灯座的使用寿命以及晶圆的制造效率、制造质量。而本具体实施方式中,通过在所述腔体12的内壁形成凹陷部,当所述灯管21插入所述灯座11的腔体12中时,所述腔体12中的凹陷部与所述灯管21之间具有一间隙,即所述凹陷部与所述灯管21不接触;而所述腔体12内部除所述凹陷部之外的其他部分与所述灯管21接触,用以将所述灯管21固定于所述腔体12内部。这样,就减少了所述灯管21与所述腔体12内壁的接触面积,一方面减小了所述腔体12内壁与所述灯管21之间的摩擦力,便于将所述灯管21从所述腔体12中拆卸,避免了所述灯管21卡死于所述腔体12内部;另一方面,减小了所述灯管21上的微小缺陷与所述腔体12内壁接触的可能性或所述腔体12内壁上的微小缺陷与所述灯管21接触的可能性,从而在一定程度上避免了所述灯管21与所述腔体12之间发生卡死现象。本具体实施方式中的所述凹陷部,可以是对所述腔体12的内壁进行减薄处理构成的。在本具体实施方式中所述凹陷部包括多个环形凹槽14,相邻环形凹槽14之间形成有一环形凸条13,以形成环形凹槽14与环形凸条13交替排列的螺旋状结构;所述环形凸条13用于固定所述灯管。在该结构中,由所述环形凸条13与所述灯管21接触、并固定所述灯管21,所述环形凹槽14与所述灯管21不接触、而是与所述灯管21之间形成有一间隙,从而减小了所述腔体12的内壁与所述灯管21之间的接触面积,避免了灯管21卡死在所述灯座11中。在本具体实施方式中,应该要在能够稳定固定所述灯管21的基础上,尽量增大所述环形凹槽14的宽度,以增强防止灯管卡死的技术效果。其中,所述环形凹槽14宽度的具体数值,本领域技术人员可以根据实际需要进行设定,例如根据灯管的尺寸等,本具体实施方式对此不作限定。为了能够稳定的固定灯管,优选的,本具体实施方式中所述环形凸条13的内径与所述灯管21的外径相等。为了进一步增强防卡死效果,优选的,本具体实施方式中所述腔体12包括相对设置的第一开口和第二开口,多个环形凸条13在所述第一开口与所述第二开口之间等间隔分布,且多个环形凹槽14也在所述第一开口与所述第二开口之间等间隔分布。这样,通过在整个所述腔体12的内壁均设置环形凸条13和环形凹槽14,可以最大限度的减少所述灯管21与所述腔体12的内壁的接触面积,而且可以简化所述灯座11的制造工艺。其中,所述第一开口为所述灯管插入所述灯座的进口;所述第二开口为数据线进口,即所述数据线通过所述第二开口进入所述腔体12,并与所述腔体12内部的灯管实现电连接。为了解决上述问题,本具体实本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种灯座,包括用于容纳灯管的腔体,其特征在于,所述腔体的内壁形成有凹陷部,所述凹陷部与插入所述腔体的灯管之间具有一间隙,用以减少所述灯管与腔体内壁的接触面积。

【技术特征摘要】
1.一种灯座,包括用于容纳灯管的腔体,其特征在于,所述腔体的内壁形成有凹陷部,所述凹陷部与插入所述腔体的灯管之间具有一间隙,用以减少所述灯管与腔体内壁的接触面积。2.根据权利要求1所述的灯座,其特征在于,所述凹陷部包括多个环形凹槽,相邻环形凹槽之间形成有一环形凸条,以形成环形凹槽与环形凸条交替排列的螺旋状结构;所述环形凸条用于固定所述灯管。3.根据权利要求2所述的灯座,其特征在于,所述环形凸条的内径与所述灯管的外径相等。4.根据权利要求2所述的灯座,其特征在于,所述腔体包括相对设置的第一开口和第二开口,多个环形凸条在所述第一开口与所述第二开口之间等间隔分布,且多个环形凹槽也在所述第一开口与所述第二开口之间等间隔分布。5.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员:王磊喻泽锋孟宪宇吴宗祐林宗贤
申请(专利权)人:德淮半导体有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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