一种振动辅助研抛装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种振动辅助研抛装置，属于超精密研抛技术领域，所述的压电叠堆一和压电叠堆二用压电预紧螺钉预紧在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量挡板一和电容式位移测量挡板二由挡板螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量传感器一和电容式位移测量传感器二紧固在传感器夹座一和传感器夹座二上，传感器夹座一和传感器夹座二由夹座螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，研抛头夹座由研抛螺钉安装在柔性铰链研抛平台，研抛头装在研抛头夹座内，本装置的优点是装置结构简单，拆卸方便，易于实现，优化后柔性铰链研抛平台做有规则的研抛运动，提高了加工精度，造价低，该装置大大提高了以难加工材料作为被加工工件的表面精度。

A kind of vibration auxiliary polishing device

The utility model relates to a vibration auxiliary polishing device, which belongs to the field of ultra precision polishing technology. The piezoelectric stack one and the piezoelectric stack two are pre tight on the flexible hinge polishing platform, the capacitive displacement measuring baffle one and the capacitive displacement measuring baffle two are installed on the flexible hinges by the baffle screws. On the platform, the capacitive displacement sensor one and the capacitive displacement sensor two are fastened to the sensor clip seat one and the sensor clip seat two. The sensor clamp seat and the sensor clip seat two are mounted on the flexible hinge polishing platform by the clamping screw, and the polishing head clip is installed on the flexible hinge polishing platform by the polishing screw pin. The device has the advantages of simple structure, easy disassembly and easy realization. After optimization, the flexible hinge lapping platform has a regular polishing motion, which improves the machining precision and low cost. The device greatly improves the surface precision of the machined workpiece with difficult to be machined.

【技术实现步骤摘要】
一种振动辅助研抛装置
本技术属于超精密研抛加工领域，尤指一种振动辅助研抛装置。
技术介绍
随着科技的发展，工业发展迅速，随之对精密加工的要求也日益严苛并渗透到各个行业例如机械行业、电子制造、冶金行业等，其中有些特殊材料对其表面的加工精度要求更为严格。研抛作为一种超精密的加工方法也被广泛应用，尤其在加工难加工材料时优势更为突出。振动辅助研抛可以克服传统研抛方法中的一些不足，该方法利用压电驱动器激励获得规则的振动轨迹，并在松散磨料和研抛工具的共同作用下完成对精密模具表面的材料去除。在现有的振动辅助研抛方法中，研抛头是无需高速转动的，这不仅有利于在研抛过程中保证研抛力的恒定，而且能够用于具有更小尺寸结构的模具。现有研究表明：在保证较高研抛效率的情况下，振动辅助研抛能够提高研抛工件的表面粗糙度和面形精度。
技术实现思路
本新型提供一种振动辅助研抛装置，用以解决难加工材料的表面的加工精度问题，装置结构简单，拆卸方便，易于实现，优化后柔性铰链研抛平台做有规则的研抛运动，提高了加工精度，造价低，该装置大大提高了以难加工材料作为被加工工件的表面精度。所述的一种振动辅助研抛装置，其特征在于，包括压电叠堆一、压电叠堆二、压电预紧螺钉、柔性铰链研抛平台、电容式位移测量挡板一、电容式位移测量挡板二、挡板螺钉、电容式位移测量传感器一、电容式位移测量传感器二、传感器夹座一、传感器夹座二、夹座螺钉、研抛头夹座、研抛螺钉、研抛头，其中压电叠堆一和压电叠堆二用压电预紧螺钉预紧在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量挡板一和电容式位移测量挡板二由挡板螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量传感器一和电容式位移测量传感器二紧固在传感器夹座一和传感器夹座二上，传感器夹座一和传感器夹座二由夹座螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，研抛头夹座由研抛螺钉安装在柔性铰链研抛平台，研抛头卡在研抛头夹座内。所述的一种振动辅助研抛装置，其特征在于所述的柔性铰链研抛平台包括直板形柔性铰链组，直圆形柔性铰链组，柔性铰链研抛平台主体，柔性铰链研抛平台头，加强板，深孔螺钉，固定螺钉所述的柔性铰链研抛平台通过深孔螺钉安装在五轴气浮平台的主轴上，前端上下对称布置有优化后的直板形柔性铰链组，柔性铰链研抛平台头与柔性铰链研抛平台主体通过直圆形柔性铰链相连，加强板通过固定螺钉安装在柔性铰链研抛平台上。所述的一种振动辅助研抛装置，其特征在于所述的研抛头夹座包括研抛头夹座帽、研抛头夹座体、卡簧，研抛头夹座体通过研抛螺钉预紧在柔性铰链研抛平台头上，研抛头夹座帽和研抛头夹座体螺纹配合，卡簧装在研抛头夹座体内，靠研抛头夹座帽预紧力将研抛头紧固在研抛头夹座内。附图说明图1：本技术的整体轴侧图；图2：本技术的整体轴侧图；图3：柔性铰链研抛平台的轴侧图；图4：柔性铰链研抛平台的俯视图；图5：本技术的研抛头夹座剖视图。附图标记：柔性铰链研抛平台1、研抛头夹座2、压电叠堆一3、压电预紧螺钉4、电容式位移测量挡板一5、电容式位移测量挡板二6、挡板螺钉7、电容式位移测量传感器一8、电容式位移测量传感器二9、传感器夹座一10、传感器夹座二11、夹座螺钉12、研抛螺钉13、研抛头14、压电叠堆二15、直板形柔性铰链组101、直圆形柔性铰链组102、柔性铰链研抛平台主体103、柔性铰链研抛平台头104、加强板105、深孔螺钉106、固定螺钉107、研抛头夹座帽201、研抛头夹座体202、卡簧203。具体实施方式如图1、2所示一种振动辅助研抛装置，其特征在于，包括压电叠堆一3、压电叠堆二15、压电预紧螺钉4、柔性铰链研抛平台1、电容式位移测量挡板一5、电容式位移测量挡板二6、挡板螺钉7、电容式位移测量传感器一8、电容式位移测量传感器二9、传感器夹座一10、传感器夹座二11、夹座螺钉12、研抛头夹座2、研抛螺钉13、研抛头14，其中压电叠堆一3和压电叠堆二15压电预紧螺钉4预紧在柔性铰链研抛平台1上，提供装置加工的动力，电容式位移测量挡板一5和电容式位移测量挡板二6由挡板螺钉7安装在柔性铰链研抛平台1上，电容式位移测量传感器一8和电容式位移测量传感器二9紧固在传感器夹座一10和传感器夹座二11上，电容式位移测量传感器一8和电容式位移测量传感器二9用于测量研抛头14进给的实时位移，传感器夹座一10和传感器夹座二11由夹座螺钉12安装在柔性铰链研抛平台1上，研抛头夹座2由研抛螺钉13安装在柔性铰链研抛平台1，研抛头14卡在研抛头夹座2内。如图3、4所述的一种振动辅助研抛装置，其特征在于所述的柔性铰链研抛平台1包括直板形柔性铰链组101，直圆形柔性铰链组102，柔性铰链研抛平台主体103，柔性铰链研抛平台头104，加强板105，深孔螺钉106，固定螺钉107，所述的柔性铰链研抛平台1通过深孔螺钉106安装在五轴气浮平台的主轴上，前端上下对称布置有优化后的直板形柔性铰链组101，柔性铰链研抛平台头104与柔性铰链研抛平台主体103通过直圆形柔性铰链102相连，在压电叠堆的推动下直板形柔性铰链组101发生变形带动直圆形柔性铰链102使在柔性铰链研抛平台头104的凹槽内的研抛头14做一定加工轨迹的振动研抛加工，加强板105通过固定螺钉107安装在柔性铰链研抛平台1上，增加装置的整体刚度。如图5所述的一种振动辅助研抛装置，其特征在于所述的研抛头夹座2包括研抛头夹座帽201、研抛头夹座体202、卡簧203，研抛头夹座体202通过研抛螺钉13预紧在柔性铰链研抛平台1头上，研抛头夹座帽201和研抛头夹座体202螺纹配合，将研抛头14插入研抛头夹座帽201中，并套上卡簧203，然后装在研抛头夹座体202的凹槽内，将研抛头夹座帽201拧在研抛头夹座2上，靠研抛头夹座帽201预紧力将研抛头14紧固在研抛头夹座2内，随着压电叠堆电信号的输入变化，使研抛头14做规则的振动辅助加工。将刀架安装在五轴气浮平台的气浮主轴上，将压电叠堆一3和压电叠堆二15预紧在装置上，并对压电叠堆施加一定的电信号，压电叠堆通过推动直板形柔性铰链间接推动直圆形柔性铰链，使研抛头在压电叠堆的推动下做规则的振动加工轨迹，使被加工工件达到加工要求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种振动辅助研抛装置，其特征在于，包括压电叠堆一、压电叠堆二、压电预紧螺钉、柔性铰链研抛平台、电容式位移测量挡板一、电容式位移测量挡板二、挡板螺钉、电容式位移测量传感器一、电容式位移测量传感器二、传感器夹座一、传感器夹座二、夹座螺钉、研抛头夹座、研抛螺钉、研抛头，其中压电叠堆一和压电叠堆二用压电预紧螺钉预紧在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量挡板一和电容式位移测量挡板二由挡板螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量传感器一和电容式位移测量传感器二紧固在传感器夹座一和传感器夹座二上，传感器夹座一和传感器夹座二由夹座螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，研抛头夹座由研抛螺钉安装在柔性铰链研抛平台，研抛头卡在研抛头夹座内。

【技术特征摘要】
1.一种振动辅助研抛装置，其特征在于，包括压电叠堆一、压电叠堆二、压电预紧螺钉、柔性铰链研抛平台、电容式位移测量挡板一、电容式位移测量挡板二、挡板螺钉、电容式位移测量传感器一、电容式位移测量传感器二、传感器夹座一、传感器夹座二、夹座螺钉、研抛头夹座、研抛螺钉、研抛头，其中压电叠堆一和压电叠堆二用压电预紧螺钉预紧在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量挡板一和电容式位移测量挡板二由挡板螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，电容式位移测量传感器一和电容式位移测量传感器二紧固在传感器夹座一和传感器夹座二上，传感器夹座一和传感器夹座二由夹座螺钉安装在柔性铰链研抛平台上，研抛头夹座由研抛螺钉安装在柔性铰链研抛平台，研抛头卡在研抛头夹座内。2.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷岩，周岩，孙慧岩，董青青，田旭，康洺硕，张成龙，杨继犇，王点正，张哲名，苍新宇，徐梓苏，付斌，彭俊棋，张晋，
申请(专利权)人：长春工业大学，
类型：新型
国别省市：吉林,22